TW202317953A - 熱電偶構造 - Google Patents

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TW202317953A
TW202317953A TW111138610A TW111138610A TW202317953A TW 202317953 A TW202317953 A TW 202317953A TW 111138610 A TW111138610 A TW 111138610A TW 111138610 A TW111138610 A TW 111138610A TW 202317953 A TW202317953 A TW 202317953A
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quartz glass
hole
glass tube
thermocouple
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TW111138610A
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角前智也
森田健介
渡部恵一
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日商古屋金屬股份有限公司
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    • G01K7/02Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
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Abstract

本揭示之目的在於提供一種熱電偶構造,其不易產生因高溫下之熱電偶素線之熱膨脹及使用時之振動引起之測溫位置之偏移,可實現對測定對象之接觸測溫,容易細徑化。 本實施形態之熱電偶構造具有:熱電偶9;多孔石英玻璃管1,其於柱狀之長度方向,至少具有第1貫通孔6a及第2貫通孔6b;石英玻璃蓋2;配線構造,其係正極素線3a通過第1貫通孔6a,負極素線3b通過第2貫通孔6b,於多孔石英玻璃管1之一端1a側配置接合部4,將正極素線3a及負極素線3b自多孔石英玻璃管1之另一端1e側引出至多孔石英玻璃管1之外側;及密封部8,其使多孔石英玻璃管1之一端1a與石英玻璃蓋之一端2a對接而密封第1貫通孔6a及第2貫通孔6b之一端側,且被覆接合部4。

Description

熱電偶構造
本揭示係關於一種熱電偶構造,例如關於一種抑制由熱電偶素線之熱膨脹及振動等引起之測溫位置之偏移之熱電偶構造。
本申請人提案有一種熱電偶構造,該熱電偶構造不易產生因漂移現象引起之測定溫度之偏移,不易產生因於保護管或保護膜之表面附著之堆積物引起之保護管或保護膜之割裂破壞,進而,具有防止因熱電偶之振動等引起之測溫接點之移動之構造(例如,參照專利文獻1)。專利文獻1揭示有一種熱電偶構造,具體而言,該熱電偶構造具有正極素線之一端與負極素線之一端接合之熱電偶、與1根柱狀玻璃體,且包含熱電偶之接點之正極素線與負極素線成為除熱電偶之接點以外,不相互接觸而並列地沿柱狀玻璃體之長度方向埋入之狀態,且,正極素線之另一端側與負極素線之另一端側被引出至柱狀玻璃體之外側。
又,有揭示一種熱電偶,該熱電偶由具有5.0×10 -6/℃~40×10 -6/℃之範圍之熱膨脹係數之玻璃被覆素線部(例如,參照專利文獻2)。
再者,有揭示一種熱電偶,該熱電偶由熔融軟化之玻璃密封熱電偶之溫接點(例如,參照專利文獻3~5)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利再表2019‐150622號公報 [專利文獻2]日本專利特開昭59-58882號公報 [專利文獻3]日本專利特開昭58-15132號公報 [專利文獻4]日本專利實開昭53‐147187號公報 [專利文獻5]日本專利實開昭53‐118682號公報
[發明所欲解決之問題]
專利文獻1所記載之熱電偶雖於可防止測溫接點之移動之點上優異,但為了滿足使柱狀玻璃柱體細徑化、欲更接近測定對象之要求,於製造加工花費工夫,花費成本。
專利文獻2所記載之熱電偶雖於可防止測溫接點之移動之點上優異,但仍難以細徑化、難以接近測定對象。
於專利文獻3所記載之製法中,雖採取使密封一端之石英直管之密封部熔融、將插通保持測溫接點之石英細管快速插入之方法,但如該文獻所寫,加工後之測溫接點埋設於石英直管與石英細管之間,或成為與密封部之內表面接觸之狀態,難以減小測溫接點位置之每個製品之偏差。又,於埋設粗徑之熱電偶線之情形時,因於埋設部附近,石英與熱電偶素線之線膨脹係數之差異,而有產生裂紋之虞。
於專利文獻4或5所記載之製法中,為了將素線埋入熔融之石英,而為於石英之軟化點以上、熱電偶素線(Pt線)之熔點以下之製法,故有斷線之虞,難度高。又與專利文獻3同樣,於埋設粗徑之熱電偶線之情形時,因於埋設部附近,石英與熱電偶素線之線膨脹係數之差異,而有產生裂紋之虞。
本揭示之目的在於提供一種熱電偶構造,其不易產生因高溫下之熱電偶素線之熱膨脹及使用時之振動引起之測溫位置之偏移,可實現對測定對象之接觸測溫,容易細徑化。 [解決問題之技術手段]
本發明人等積極討論之結果發現,藉由利用2個石英玻璃構件、即多孔石英玻璃管與石英玻璃蓋,被覆成為熱電偶素線之溫接點之接合部,可解決上述問題,從而完成本發明。即,本發明之熱電偶構造之特徵在於具有:熱電偶,其具有將線徑為0.01~1.0 mm之正極素線之一端與線徑為0.01~1.0 mm之負極素線之一端接合之接合部;多孔石英玻璃管,其於柱狀之長度方向,至少具有用於使上述正極素線通過之第1貫通孔及用於使上述負極素線通過之第2貫通孔;石英玻璃蓋;配線構造,其係上述正極素線通過上述第1貫通孔,上述負極素線通過上述第2貫通孔,於上述多孔石英玻璃管之一端側配置上述接合部,將上述正極素線及上述負極素線自上述多孔石英玻璃管之另一端側引出至上述多孔石英玻璃管之外側;及密封部,其使上述多孔石英玻璃管之一端與上述石英玻璃蓋之一端對接而密封上述第1貫通孔及第2貫通孔之一端側,且被覆上述接合部。
於本發明之熱電偶構造中,較佳為上述密封部於由上述多孔石英玻璃管之一端側之端面與上述石英玻璃蓋之一端側之端面夾持上述接合部之狀態下,被覆上述接合部。因可使接合部更接近石英玻璃蓋之前端,故可更接近測定對象進行溫度測定。
於本發明之熱電偶構造中,較佳為上述接合部係最大厚度為100 μm以下之薄型接合部。接合部與石英玻璃之線膨脹係數之差可導致於石英玻璃產生微裂紋,藉由形成薄型接合部,可藉由其展性緩和線膨脹係數之差異,預防微裂紋之產生。
於本發明之熱電偶構造中,較佳為上述多孔石英玻璃管於上述一端側之端面具有收容上述接合部之孔,上述接合部收納於上述孔,上述密封部由上述石英玻璃蓋被覆收納於上述孔之上述接合部。可提供一種以接合部不發生位置偏移之方式固定、且不易產生石英玻璃之微裂紋之熱電偶構造。
於本發明之熱電偶構造中,較佳為上述孔係將沉孔或上述第1貫通孔之邊緣與上述第2貫通孔之邊緣切取連接之槽。接合部變得更不易發生位置偏移。
於本發明之熱電偶構造中,較佳為上述多孔石英玻璃管之管徑為1~10 mm。無需由石英玻璃保護管進一步覆蓋多孔石英玻璃管及石英玻璃蓋,多孔石英玻璃管之管徑直接成為熱電偶構造之徑,成為細徑型之熱電偶構造。
於本發明之熱電偶構造中,較佳為上述多孔石英玻璃管之管徑為1~5 mm,且上述多孔石英玻璃管具有彎曲加工部。根據測定對象之狀況對多孔石英玻璃管進行彎曲加工變得更容易。
於本發明之熱電偶構造中,較佳為石英玻璃製之溫度測定對象物兼作上述石英玻璃蓋,對上述溫度測定對象物之溫度進行測溫。藉由測定對象物兼作蓋,可進一步提高測定精度,且亦防止接合部相對於測定對象物之位置偏移。
於本發明之熱電偶構造中,較佳為上述溫度測定對象物之表面與上述多孔石英玻璃管之一端對接地熔接。因可使接合部接觸於測定對象物自身,且固定位置,故測定精度進一步提高。 [發明之效果]
本揭示可提供一種熱電偶構造,其不易產生因高溫下之熱電偶素線之熱膨脹及使用時之振動引起之測溫位置之偏移,可實現對測定對象之接觸測溫,容易細徑化。
以下,顯示實施形態對本發明詳細地進行說明,但本發明並非限定於該等記載而進行解釋。只要發揮本發明之效果,實施形態亦可進行各種變化。於本說明書中,顯示複數形態之熱電偶構造而說明本實施形態,但於圖式中,對相同構件標注相同符號進行說明。
如圖1~圖9所示,本實施形態之熱電偶構造100、200、300之特徵在於具有:熱電偶9,其具有將線徑為0.01~1.0 mm之正極素線3a之一端與線徑為0.01~1.0 mm之負極素線3b之一端接合之接合部4;多孔石英玻璃管1,其於柱狀之長度方向,至少具有用於使正極素線3a通過之第1貫通孔6a及用於使負極素線3b通過之第2貫通孔6b;石英玻璃蓋2;配線構造,其係正極素線3a通過第1貫通孔6a,負極素線3b通過第2貫通孔6b,於多孔石英玻璃管1之一端側配置上述接合部4,將正極素線3a及負極素線3b自多孔石英玻璃管1之另一端1e側引出至多孔石英玻璃管1之外側;及密封部8,其使多孔石英玻璃管1之一端1a與石英玻璃蓋之一端2a對接而密封第1貫通孔6a及第2貫通孔6b之一端側,且被覆接合部4。本實施形態之熱電偶構造100、200、300藉由密封部8之形態,例如可例示3個形態。
(第1熱電偶構造100) 參照圖1~圖4,對第1熱電偶構造100進行說明。熱電偶9作為素線3,具有正極素線3a與負極素線3b,進而具有將正極素線3a之一端與負極素線3b之一端接合之接合部4。熱電偶9較佳為包含鉑或鉑合金。例如,(正極素線3a,負極素線3b)之組合為(PtRh13%,Pt)、(PtRh10%,Pt)、(PtRh30%,PtRh6%)、(PtRh40%,PtRh20%)。正極素線3a之線徑為0.01~1.0 mm,較佳為0.1~0.5 mm。負極素線3b之線徑為0.01~1.0 mm,較佳為0.1~0.5 mm。若正極素線3a之線徑及負極素線3b之線徑未達0.01 mm,則於被覆加工時有因熱導致素線斷線之虞。若正極素線3a之線徑及負極素線3b之線徑超過1.0 mm,則於使石英玻璃製之柱狀體細徑化、欲更接近測定對象進行測定之狀況下,必須根據線徑之粗細使石英玻璃製之柱狀體變粗,且因素線非細徑,故有熱電偶之製造成本變高之虞。
多孔石英玻璃管1至少具有沿長度方向貫通石英玻璃製之柱狀體之內部、用於使正極素線3a通過之第1貫通孔6a與用於使負極素線3b通過之第2貫通孔6b,且第1貫通孔6a之開口部位於石英玻璃製之柱狀體之兩端面,第2貫通孔6b之開口部位於石英玻璃製之柱狀體之兩端面。多孔石英玻璃管之外形可採用各種形態而無特別限制,作為柱狀,例如有圓柱、橢圓柱、多角柱等。
於本實施形態之熱電偶構造中,多孔石英玻璃管1之管徑較佳為1~10 mm。無需由石英玻璃保護管進一步覆蓋多孔石英玻璃管及石英玻璃蓋,多孔石英玻璃管之管徑直接成為熱電偶構造之徑,成為細徑型之熱電偶構造。於本實施形態之熱電偶構造中,多孔石英玻璃管1之管徑較佳為1~5 mm,且多孔石英玻璃管1具有彎曲加工部。根據測定對象之狀況對多孔石英玻璃管進行彎曲加工變得更容易。於組裝熱電偶構造後,彎曲加工部藉由火焰燃燒器等之加熱,使多孔石英玻璃管1之石英玻璃軟化,使形狀變形為L型等。
為了可自外氣環境充分保護熱電偶之保護功能及熱電偶之電動勢之穩定,期望構成多孔石英玻璃管1之玻璃之電性絕緣功能高。具體而言,非晶質石英玻璃於自外部環境保護熱電偶之能力高、電性絕緣功能高、室溫及高溫下之機械可靠性高之點上被選擇。非晶質石英玻璃之線膨脹係數為約4.5×10 -7/℃~約6.0×10 -7/℃,於玻璃中屬於較低之部類。又,電阻率例如於室溫為約1×10 -16~5×10 -17(Ω·m),軟化點為約1720℃。
石英玻璃蓋2只要為熔接於多孔石英玻璃管1之一端面、堵塞位於端面之第1貫通孔6a之開口部與第2貫通孔6b之開口部之形狀即可,可取任何形狀。若舉例,則為石英玻璃片,例如為圓柱、橢圓柱、多角柱。於多角柱中4角柱之情形時為板狀。若使多孔石英玻璃管1之外徑及外形一致,則於多孔石英玻璃管1與石英玻璃蓋2之邊界部形成階差較少之形狀。因多孔石英玻璃管1與石英玻璃蓋2均為石英玻璃製,故線膨脹係數無差異,藉由熔接成為一體。於熔接時,較佳為以不剩餘殘留應力之方式進行退火等。熔接係藉由火焰燃燒器等之加熱使石英玻璃軟化而進行。
其次,對熱電偶構造100之配線構造進行說明。如圖1所示,正極素線3a通過第1貫通孔6a、負極素線3b通過第2貫通孔6b,於多孔石英玻璃管1之一端1a側配置接合部4,將正極素線3a及負極素線3b自多孔石英玻璃管1之另一端1e側引出至多孔石英玻璃管1之外側。正極素線3a與負極素線3b並列配置,除接合部4以外不相互接觸。自多孔石英玻璃管1之另一端1e側引出之正極素線3a及負極素線3b分別通過石英玻璃管、陶瓷管、絕緣陶瓷纖維管、樹脂管等之絕緣管5(5a,5b)。
正極素線3a與負極素線3b之另一端側有於多孔石英玻璃管1之另一端1e側不固定而引出之形態與固定而引出之形態。於不固定之情形時,即使於正極素線3a或負極素線3b與多孔石英玻璃管1之間線膨脹係數之差大,對正極素線3a或負極素線3b之伸縮施加應力之情形亦少,較佳。另一方面,於固定之情形時,例如以絕緣帶、絕緣膠合劑等之固定方法進行固定。此時,即使於第1貫通孔6a或第2貫通孔6b之孔內產生正極素線3a或負極素線3b之伸縮,如圖4所示,亦可藉由使第1貫通孔6a或第2貫通孔6b之孔徑大於正極素線3a或負極素線3b之線徑而吸收撓曲。或,亦可接合徑粗之異徑管而作為撓曲吸收部。
其次對密封部8進行說明。如圖1~圖3所示,密封部8使多孔石英玻璃管1之一端1a與石英玻璃蓋之一端2a對接而密封第1貫通孔6a及第2貫通孔6b之一端側,且被覆接合部4。於熱電偶構造100中,較佳為多孔石英玻璃管1於一端1a側之端面具有收容接合部4之孔1b,接合部4收納於孔1b,密封部8由石英玻璃蓋2被覆收納於孔1b之接合部4。可提供一種以接合部4不發生位置偏移之方式固定、且不易產生石英玻璃之微裂紋之熱電偶構造。更具體而言,於熱電偶構造100中,孔1b較佳為沉孔。接合部4變得更不易發生位置偏移。如圖2所示,於多孔石英玻璃管1之一端1a之端面設置有沉孔作為孔1b。沉孔具有用於放入接合部4之收容空間。如圖1所示,接合部4可與石英玻璃蓋之一端2a之端面接觸,但接合部4之頂部與石英玻璃蓋之一端2a之端面之間亦可有微小之間隙。因多孔石英玻璃管1之柱狀之長度方向上之接合部4之移動範圍限定於沉孔中之狹窄範圍,故可防止測溫位置偏移。
沉孔例如由金剛石電沉積磨石、或金屬結合金剛石磨石等之研削工具形成。
(第2熱電偶構造200) 第2熱電偶構造200與第1熱電偶構造100相比較,密封部8之構造不同,除此以外具有同樣之構造。對密封部8進行說明。如圖5~圖7所示,密封部8使多孔石英玻璃管1之一端1a與石英玻璃蓋之一端2a對接而密封第1貫通孔6a及第2貫通孔6b之一端側,且被覆接合部4。於熱電偶構造200中,較佳為多孔石英玻璃管1於一端1a側之端面具有收容接合部4之孔1d,接合部4收納於孔1d,密封部8由石英玻璃蓋2被覆收納於孔1d之接合部4。可提供一種以接合部4不發生位置偏移之方式固定、且不易產生石英玻璃之微裂紋之熱電偶構造。更具體而言,於熱電偶構造200中,孔1d較佳為將第1貫通孔6a之邊緣與第2貫通孔6b之邊緣切取連接之槽。接合部4變得更不易發生位置偏移。如圖6所示,於多孔石英玻璃管1之一端1a之端面,設置有將第1貫通孔6a之邊緣與第2貫通孔6b之邊緣切取連接之槽作為孔1d。槽具有用於放入接合部4之收容空間。如圖5所示,接合部4可與石英玻璃蓋之一端2a之端面接觸,但接合部4之頂部與石英玻璃蓋之一端2a之端面之間亦可有微小之間隙。因多孔石英玻璃管1之柱狀之長度方向上之接合部4之移動範圍限定於槽中之狹窄範圍,故可防止測溫位置偏移。接合部4亦可形成為較第1熱電偶構造100之接合部4小。將第1貫通孔6a之邊緣與第2貫通孔6b之邊緣切取連接之槽之寬度,依賴於第1貫通孔6a之孔徑或第2貫通孔6b之孔徑,較佳設為第1貫通孔6a之孔徑或第2貫通孔6b之孔徑以下。於該情形時,較佳為接合部4之最大寬度為第1貫通孔6a之孔徑或第2貫通孔6b之孔徑以下。可容易地將接合部4放入上述槽中。此時,可使測溫接點之位置精度更穩定。再者,接合部4亦可形成為相當於素線3之線徑之大小。於該情形時,因素線3之線徑為第1貫通孔6a之孔徑或第2貫通孔6b之孔徑以下,故可容易地放入上述槽中。於該形態中,亦可使測溫接點之位置精度更穩定。另,圖5之C-C剖視圖與圖4相同。
將第1貫通孔6a之邊緣與第2貫通孔6b之邊緣切取連接之槽,例如由金剛石電沉積磨石、或金屬結合金剛石磨石等之研削工具形成。
(第3熱電偶構造300) 第3熱電偶構造300與第1熱電偶構造100相比較,密封部8之構造不同,除此以外具有同樣之構造。對密封部8進行說明。如圖8~圖9所示,較佳為密封部8於由多孔石英玻璃管1之一端1a側之端面與石英玻璃蓋2之一端2a側之端面夾持接合部4之狀態下,被覆接合部4。因可使接合部更接近石英玻璃蓋之前端,故可更接近測定對象進行溫度測定。更具體而言,接合部4較佳為最大厚度為100 μm以下之薄型接合部。接合部4更佳為最大厚度為80 μm以下之薄型接合部。接合部與石英玻璃之線膨脹係數之差可導致於石英玻璃產生微裂紋,藉由形成最大厚度為100 μm以下之薄型接合部,可藉由其展性緩和線膨脹係數之差異,預防微裂紋之產生。考慮斷線風險,接合部4之厚度之下限例如為20 μm。接合部4於配置於多孔石英玻璃管1之一端1a側之端面前或配置後,藉由壓潰使接合部4薄壁化。接合部4藉由壓潰而薄壁化且擴展,但如圖9所示,使多孔石英玻璃管1之一端1a側之端面以包圍接合部4之周圍之方式露出。於接合部4超出多孔石英玻璃管1之一端1a側之端面之情形時,進行切斷。若使多孔石英玻璃管1之一端1a側之端面與石英玻璃蓋2之一端2a側之端面熔接,則可完全封閉接合部4。又,若接合部4之最大厚度為100 μm以下,則於使上述端面彼此熔接時,上述端面以納入接合部4之方式軟化變形,因此若不剩餘殘留應力地於石英玻璃進行熱處理,則可抑制因接合部4而於石英玻璃產生龜裂。另,圖8之C-C剖視圖與圖4相同。
(石英玻璃製之溫度測定對象物兼作石英玻璃蓋之形態) 於本實施形態中,石英玻璃蓋2不僅可為石英玻璃片,亦可為某種石英玻璃構件。例如,於本實施形態之熱電偶構造中,較佳為石英玻璃製之溫度測定對象物兼作石英玻璃蓋2,對溫度測定對象物之溫度進行測溫。藉由測定對象物兼作蓋,可進一步提高測定精度,且亦防止接合部相對於測定對象物之位置偏移。該形態可應用於第1熱電偶構造~第3熱電偶構造中之任一者。石英玻璃製之溫度測定對象物兼作石英玻璃蓋之形態之具體例如下述。例如,於圖10所示之熱電偶構造400中,溫度測定對象物即石英玻璃製環狀構件12兼作石英玻璃蓋2,石英玻璃製環狀構件12之側面與多孔石英玻璃管1之一端面熔接。又,於圖11所示之熱電偶構造500中,溫度測定對象物即石英玻璃製台座22兼作石英玻璃蓋2,石英玻璃製台座22之頂板面與多孔石英玻璃管1之一端面熔接。如圖10或圖11所示,於熱電偶構造400、500中,較佳為溫度測定對象物之表面與多孔石英玻璃管1之一端1a對接地熔接。因可使接合部4接觸於測定對象物自身,且固定位置,故測定精度進一步提高。
即使於石英玻璃製之溫度測定對象物兼作石英玻璃蓋之形態中,亦可於多孔石英玻璃管1設置彎曲加工部。於組裝熱電偶構造後,彎曲加工部藉由火焰燃燒器等之加熱,使多孔石英玻璃管之石英玻璃軟化,使形狀變形為L型等。
1:多孔石英玻璃管 1a:多孔石英玻璃管之一端 1b:孔(沉孔) 1c:孔之底面(沉孔之底面) 1d:孔(槽) 1e:多孔石英玻璃管之另一端 2:石英玻璃蓋 2a:石英玻璃蓋之一端 3:素線 3a:正極素線 3b:負極素線 4:接合部 5,5a,5b:絕緣管 6:貫通孔 6a:第1貫通孔 6b:第2貫通孔 8:密封部 9:熱電偶 12:石英玻璃製環狀構件 22:石英玻璃製台座 100,200,300,400,500:熱電偶構造
圖1係用於說明第1熱電偶構造之概略圖,顯示多孔石英玻璃管及石英玻璃蓋之縱剖面概略圖。 圖2係A-A剖視圖。 圖3係B-B剖視圖。 圖4係C-C剖視圖。 圖5係用於說明第2熱電偶構造之概略圖,顯示多孔石英玻璃管及石英玻璃蓋之縱剖面概略圖。 圖6係D-D剖視圖。 圖7係E-E剖視圖。 圖8係用於說明第3熱電偶構造之概略圖,顯示多孔石英玻璃管及石英玻璃蓋之縱剖面概略圖。 圖9係F-F剖視圖。 圖10係用於對石英玻璃製環狀構件兼作石英玻璃蓋之熱電偶構造進行說明之概略圖。 圖11係用於對石英玻璃製台座兼作石英玻璃蓋之熱電偶構造進行說明之概略圖。
1:多孔石英玻璃管
1a:多孔石英玻璃管之一端
1b:孔(沉孔)
1c:孔之底面(沉孔之底面)
1e:多孔石英玻璃管之另一端
2:石英玻璃蓋
2a:石英玻璃蓋之一端
3:素線
3a:正極素線
3b:負極素線
4:接合部
5,5a,5b:絕緣管
6:貫通孔
6a:第1貫通孔
6b:第2貫通孔
8:密封部
9:熱電偶
100:熱電偶構造

Claims (9)

  1. 一種熱電偶構造,其特徵在於具有: 熱電偶,其具有將線徑為0.01~1.0 mm之正極素線之一端與線徑為0.01~1.0 mm之負極素線之一端接合之接合部; 多孔石英玻璃管,其於柱狀之長度方向,至少具有用於使上述正極素線通過之第1貫通孔及用於使上述負極素線通過之第2貫通孔; 石英玻璃蓋; 配線構造,其係上述正極素線通過上述第1貫通孔,上述負極素線通過上述第2貫通孔,於上述多孔石英玻璃管之一端側配置上述接合部,將上述正極素線及上述負極素線自上述多孔石英玻璃管之另一端側引出至上述多孔石英玻璃管之外側;及 密封部,其使上述多孔石英玻璃管之一端與上述石英玻璃蓋之一端對接而密封上述第1貫通孔及第2貫通孔之一端側,且被覆上述接合部。
  2. 如請求項1之熱電偶構造,其中上述密封部於由上述多孔石英玻璃管之一端側之端面與上述石英玻璃蓋之一端側之端面夾持上述接合部之狀態下,被覆上述接合部。
  3. 如請求項2之熱電偶構造,其中上述接合部係最大厚度為100 μm以下之薄型接合部。
  4. 如請求項1之熱電偶構造,其中上述多孔石英玻璃管於上述一端側之端面具有收容上述接合部之孔; 上述接合部收納於上述孔; 上述密封部由上述石英玻璃蓋被覆收納於上述孔之上述接合部。
  5. 如請求項4之熱電偶構造,其中上述孔係將沉孔或上述第1貫通孔之邊緣與上述第2貫通孔之邊緣切取連接之槽。
  6. 如請求項1至5中任一項之熱電偶構造,其中上述多孔石英玻璃管之管徑為1~10 mm。
  7. 如請求項1至6中任一項之熱電偶構造,其中上述多孔石英玻璃管之管徑為1~5 mm,且上述多孔石英玻璃管具有彎曲加工部。
  8. 如請求項1至7中任一項之熱電偶構造,其中石英玻璃製之溫度測定對象物兼作上述石英玻璃蓋,對上述溫度測定對象物之溫度進行測溫。
  9. 如請求項8之熱電偶構造,其中上述溫度測定對象物之表面與上述多孔石英玻璃管之一端對接地熔接。
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