JPH11148872A - 温度計 - Google Patents
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- JPH11148872A JPH11148872A JP31667897A JP31667897A JPH11148872A JP H11148872 A JPH11148872 A JP H11148872A JP 31667897 A JP31667897 A JP 31667897A JP 31667897 A JP31667897 A JP 31667897A JP H11148872 A JPH11148872 A JP H11148872A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高温のガス雰囲気、特に高温腐食性ガス雰囲
気でも損傷を受けないようなＰｉｎ型熱電対を備えた温
度計を提供する。 【解決手段】 本温度計の要部３０は、Ｐｉｎ型熱電対
１２と、熱電対を内部に収容して保護する石英本管１４
と、石英本管から突出した熱電対を保護する石英細管３
２と、石英本管１４の基端延長部３４とを備える。石英
細管は、その先端部が熱電対の先端の異種金属接点１３
より外方に突出し、異種金属接点１３の先で、炭化珪素
部３６を外方にして石英細管内にアルミナ製のボンド部
３８と炭化珪素部とを収容している。石英本管の基端部
は、石英本管と熱電対とをアルミナ製ボンドにより封止
する封止部４０を備え、かつ石英本管の基端部側で熱電
対の形状に沿って所定の長さにわたって熱電対を保護す
るように石英本管の基端部から外方に延長する基端延長
部３４を備えている。
気でも損傷を受けないようなＰｉｎ型熱電対を備えた温
度計を提供する。 【解決手段】 本温度計の要部３０は、Ｐｉｎ型熱電対
１２と、熱電対を内部に収容して保護する石英本管１４
と、石英本管から突出した熱電対を保護する石英細管３
２と、石英本管１４の基端延長部３４とを備える。石英
細管は、その先端部が熱電対の先端の異種金属接点１３
より外方に突出し、異種金属接点１３の先で、炭化珪素
部３６を外方にして石英細管内にアルミナ製のボンド部
３８と炭化珪素部とを収容している。石英本管の基端部
は、石英本管と熱電対とをアルミナ製ボンドにより封止
する封止部４０を備え、かつ石英本管の基端部側で熱電
対の形状に沿って所定の長さにわたって熱電対を保護す
るように石英本管の基端部から外方に延長する基端延長
部３４を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、温度計、特に温度
計の温度検出端を構成する熱電対に関し、更に詳細に
は、例えばウエハ処理装置内のウエハの温度を測定する
際、ウエハ周辺の高温腐食性ガスにより損傷を受け難い
保護管を熱電対に設けた温度計に関するものである。
計の温度検出端を構成する熱電対に関し、更に詳細に
は、例えばウエハ処理装置内のウエハの温度を測定する
際、ウエハ周辺の高温腐食性ガスにより損傷を受け難い
保護管を熱電対に設けた温度計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、枚葉式拡散装置（ＲＴＰ）では、
プロセスチャンバ内に載置したウエハの温度を測定する
際、その温度検出端として、図４に示したようなＰｉｎ
型熱電対を使っている。ここで、図４を参照して従来の
Ｐｉｎ型熱電対の構成を説明する。図４（ａ）はＰｉｎ
型熱電対の斜視図であり、図４（ｂ）はＰｉｎ型熱電対
の先端のＣ部分の拡大図である。Ｐｉｎ型熱電対を使っ
た従来の温度計は、Ｐｉｎ型熱電対（以下、簡単に熱電
対と言う）からなる温度計の要部１０と熱電対の起電力
を計測して温度に変換する変換部（図示せず）とから構
成されている。
プロセスチャンバ内に載置したウエハの温度を測定する
際、その温度検出端として、図４に示したようなＰｉｎ
型熱電対を使っている。ここで、図４を参照して従来の
Ｐｉｎ型熱電対の構成を説明する。図４（ａ）はＰｉｎ
型熱電対の斜視図であり、図４（ｂ）はＰｉｎ型熱電対
の先端のＣ部分の拡大図である。Ｐｉｎ型熱電対を使っ
た従来の温度計は、Ｐｉｎ型熱電対（以下、簡単に熱電
対と言う）からなる温度計の要部１０と熱電対の起電力
を計測して温度に変換する変換部（図示せず）とから構
成されている。
【０００３】Ｐｉｎ型熱電対からなる温度計の要部１０
は、図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、熱電対１２
と、熱電対１２を内部に収容して保護する石英本管１４
と、石英本管１４から突出して、熱電対１２を保護する
石英本管１４より径の細い石英細管１６と、石英細管１
６から突出した熱電対１２の先端の異種金属接点１３を
保護する炭化珪素部１８と、炭化珪素部１８と石英細管
１６とを接合し、かつ異種金属接点１３を埋め込んで保
護するアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）製ボンド部２０と、石英
管１４の基端部で熱電対１２を封止するアルミナ（Ａｌ
2 Ｏ3 ）製の基端ボンド部２２とから構成されている。
ボンド部２０及び２２は、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を主
成分とする接着剤であって、石英細管１６と炭化珪素部
１８とを接合する機能を有する。
は、図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、熱電対１２
と、熱電対１２を内部に収容して保護する石英本管１４
と、石英本管１４から突出して、熱電対１２を保護する
石英本管１４より径の細い石英細管１６と、石英細管１
６から突出した熱電対１２の先端の異種金属接点１３を
保護する炭化珪素部１８と、炭化珪素部１８と石英細管
１６とを接合し、かつ異種金属接点１３を埋め込んで保
護するアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）製ボンド部２０と、石英
管１４の基端部で熱電対１２を封止するアルミナ（Ａｌ
2 Ｏ3 ）製の基端ボンド部２２とから構成されている。
ボンド部２０及び２２は、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を主
成分とする接着剤であって、石英細管１６と炭化珪素部
１８とを接合する機能を有する。
【０００４】熱電対１２は、熱起電力を利用して温度を
計測するセンサであって、それぞれ異なる金属からなる
２本の金属線の一端を互いに溶接などで接合して第１の
接合点（上述の例では、熱電対１２の先端の異種金属接
点１３）を作り、他端をそれぞれ２本の導線に接続して
２個の第２の接合点にしたものである。第１の接合点と
第２の接合点との間に温度差が生じると、第２の接合点
の２個の接点間に電位差が生じる。上述の変換部によ
り、この電位差を測定して温度として検出するものであ
る。従って、第１の接合点、即ち先端の異種金属接点が
熱電対のなかで最も重要な部位である。
計測するセンサであって、それぞれ異なる金属からなる
２本の金属線の一端を互いに溶接などで接合して第１の
接合点（上述の例では、熱電対１２の先端の異種金属接
点１３）を作り、他端をそれぞれ２本の導線に接続して
２個の第２の接合点にしたものである。第１の接合点と
第２の接合点との間に温度差が生じると、第２の接合点
の２個の接点間に電位差が生じる。上述の変換部によ
り、この電位差を測定して温度として検出するものであ
る。従って、第１の接合点、即ち先端の異種金属接点が
熱電対のなかで最も重要な部位である。
【０００５】枚葉式拡散装置では、Ｐｉｎ型熱電対以外
に光学式温度計（Ｐｙｒｏメーター）を使ってもウエハ
温度を測定できるものの、光学式温度計による温度測定
では、プロセス処理中のウエハの温度を正確に測定する
ことが難しいために、通常、使用されていない。言い換
えれば、プロセス処理中のウエハの温度を測定するに
は、どうしても、Ｐｉｎ型熱電対を使わざるを得ない。
に光学式温度計（Ｐｙｒｏメーター）を使ってもウエハ
温度を測定できるものの、光学式温度計による温度測定
では、プロセス処理中のウエハの温度を正確に測定する
ことが難しいために、通常、使用されていない。言い換
えれば、プロセス処理中のウエハの温度を測定するに
は、どうしても、Ｐｉｎ型熱電対を使わざるを得ない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図４に示し
たＰｉｎ型熱電対によりウエハ温度を測定する拡散装置
を使って、ウエハに窒化プロセス（Rapid Thermal Nitr
idation,ＲＴＮ）を施すと、高温領域では、例えば８０
０℃〜９００℃の温度領域では、ＮＨ3ガスの影響によ
りボンド部が破壊され、更に熱電対の先端の異種金属接
点が高温腐食性ガス雰囲気に直接曝されて損傷し、ウエ
ハの温度測定が不可能になるという問題があった。プロ
セス処理中にＰｉｎ型熱電対が破壊されて、温度測定が
できなくなると、ウエハの処理温度が不明であるため
に、処理中のウエハは不合格品として除外され、製品歩
留りが低下する。更に、場合によっては、拡散装置のプ
ロセスチャンバ内の温度が異常上昇し、装置本体まで破
壊される危険性がある。しかし、Ｐｉｎ型熱電対の破損
を考慮し、装置本体に温度インターロックを設定して、
或る温度以上になると、装置の運転を停止するように設
定すると、温度制御中にアンダーシュート、又はオーバ
ーシュートが発生した際に、プロセスが中断して作業の
生産性が低下すると共に不合格品が発生する事態を招く
ことになる。
たＰｉｎ型熱電対によりウエハ温度を測定する拡散装置
を使って、ウエハに窒化プロセス（Rapid Thermal Nitr
idation,ＲＴＮ）を施すと、高温領域では、例えば８０
０℃〜９００℃の温度領域では、ＮＨ3ガスの影響によ
りボンド部が破壊され、更に熱電対の先端の異種金属接
点が高温腐食性ガス雰囲気に直接曝されて損傷し、ウエ
ハの温度測定が不可能になるという問題があった。プロ
セス処理中にＰｉｎ型熱電対が破壊されて、温度測定が
できなくなると、ウエハの処理温度が不明であるため
に、処理中のウエハは不合格品として除外され、製品歩
留りが低下する。更に、場合によっては、拡散装置のプ
ロセスチャンバ内の温度が異常上昇し、装置本体まで破
壊される危険性がある。しかし、Ｐｉｎ型熱電対の破損
を考慮し、装置本体に温度インターロックを設定して、
或る温度以上になると、装置の運転を停止するように設
定すると、温度制御中にアンダーシュート、又はオーバ
ーシュートが発生した際に、プロセスが中断して作業の
生産性が低下すると共に不合格品が発生する事態を招く
ことになる。
【０００７】以上の事情に照らして、本発明の目的は、
高温のガス雰囲気、特に高温の腐食性ガス雰囲気でも損
傷を受けないようなＰｉｎ型熱電対を備えた温度計を提
供することである。
高温のガス雰囲気、特に高温の腐食性ガス雰囲気でも損
傷を受けないようなＰｉｎ型熱電対を備えた温度計を提
供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は、Ｐｉｎ型熱
電対の破損原因を追求した結果、Ｐｉｎ型熱電対を損傷
させる原因として、８００℃〜９００℃の高温雰囲気
と、ＮＨ3ガスという腐食性ガスの性状の２つのパラメ
ータが考えられる。そこで、本発明者は、（１）低温雰
囲気とＮＨ3ガス、（２）高温雰囲気とＮＨ3以外のガ
ス、（３）低温雰囲気とＮＨ3以外のガスとの組み合わ
せについて、Ｐｉｎ型熱電対の損傷を評価したが、結果
は全て思わしくなかった。そこで、本発明者は、熱電対
の保護管、即ち石英管の構成、形状を工夫して、高温腐
食性ガス雰囲気、例えば高温のＮＨ3ガス中でもアルミ
ナ製のボンド部が破壊されないようにすることを着想
し、実験を重ねて、本発明を完成するに到った。
電対の破損原因を追求した結果、Ｐｉｎ型熱電対を損傷
させる原因として、８００℃〜９００℃の高温雰囲気
と、ＮＨ3ガスという腐食性ガスの性状の２つのパラメ
ータが考えられる。そこで、本発明者は、（１）低温雰
囲気とＮＨ3ガス、（２）高温雰囲気とＮＨ3以外のガ
ス、（３）低温雰囲気とＮＨ3以外のガスとの組み合わ
せについて、Ｐｉｎ型熱電対の損傷を評価したが、結果
は全て思わしくなかった。そこで、本発明者は、熱電対
の保護管、即ち石英管の構成、形状を工夫して、高温腐
食性ガス雰囲気、例えば高温のＮＨ3ガス中でもアルミ
ナ製のボンド部が破壊されないようにすることを着想
し、実験を重ねて、本発明を完成するに到った。
【０００９】よって、上記目的を達成するために、本発
明に係る温度計は、Ｐｉｎ型熱電対と、Ｐｉｎ型熱電対
を内部に収容して保護する石英管と、石英管から突出し
たＰｉｎ型熱電対の先端の異種金属接点を保護する炭化
珪素部と、炭化珪素部と石英管とを接合し、かつＰｉｎ
型熱電対の異種金属接点を保護するボンド部とを備えて
いる温度計において、Ｐｉｎ型熱電対の先端の異種金属
接点より外方に、石英管の先端部を突出させ、炭化珪素
部を外方にして石英管の先端部の管内にボンド部と炭化
珪素部とを収容し、ボンド部内にＰｉｎ型熱電対の異種
金属接点を埋め込んでいることを特徴としている。
明に係る温度計は、Ｐｉｎ型熱電対と、Ｐｉｎ型熱電対
を内部に収容して保護する石英管と、石英管から突出し
たＰｉｎ型熱電対の先端の異種金属接点を保護する炭化
珪素部と、炭化珪素部と石英管とを接合し、かつＰｉｎ
型熱電対の異種金属接点を保護するボンド部とを備えて
いる温度計において、Ｐｉｎ型熱電対の先端の異種金属
接点より外方に、石英管の先端部を突出させ、炭化珪素
部を外方にして石英管の先端部の管内にボンド部と炭化
珪素部とを収容し、ボンド部内にＰｉｎ型熱電対の異種
金属接点を埋め込んでいることを特徴としている。
【００１０】本発明のボンド部は、必ずしも従来のよう
にアルミナ製の接着剤により形成される必要はなく、高
温で接合性を持続できるものである限り、その構成を問
わない。本発明では、石英管の構成は自在であって、例
えば、石英管が、石英本管と、石英本管から突出し、か
つ石英本管より径の細い石英細管とから構成され、炭化
珪素部とボンド部とは石英細管の先端部の管内に形成さ
れていても良い。好適には、石英管の基端部は、石英管
とＰｉｎ型熱電対とをアルミナ製ボンドにより封止する
封止部を備え、かつ石英管の基端部側で熱電対の形状に
沿って所定の長さにわたってＰｉｎ型熱電対を保護する
ように石英管の基端部から外方に延長する基端延長部を
備えているようにする。所定の長さとは、Ｐｉｎ型熱電
対の基端側が高温のガス雰囲気に触れないようにするこ
とができる長さで、Ｐｉｎ型熱電対の取り付け状態を考
慮して自由に設定できる長さである。また、石英管内に
炭化珪素部を形成するには、例えばＣＶＤ法により炭化
珪素部を形成する。
にアルミナ製の接着剤により形成される必要はなく、高
温で接合性を持続できるものである限り、その構成を問
わない。本発明では、石英管の構成は自在であって、例
えば、石英管が、石英本管と、石英本管から突出し、か
つ石英本管より径の細い石英細管とから構成され、炭化
珪素部とボンド部とは石英細管の先端部の管内に形成さ
れていても良い。好適には、石英管の基端部は、石英管
とＰｉｎ型熱電対とをアルミナ製ボンドにより封止する
封止部を備え、かつ石英管の基端部側で熱電対の形状に
沿って所定の長さにわたってＰｉｎ型熱電対を保護する
ように石英管の基端部から外方に延長する基端延長部を
備えているようにする。所定の長さとは、Ｐｉｎ型熱電
対の基端側が高温のガス雰囲気に触れないようにするこ
とができる長さで、Ｐｉｎ型熱電対の取り付け状態を考
慮して自由に設定できる長さである。また、石英管内に
炭化珪素部を形成するには、例えばＣＶＤ法により炭化
珪素部を形成する。
【００１１】本発明では、石英管内でＰｉｎ型熱電対を
アルミナ製ボンド部で固定し、その上を炭化珪素でキャ
ッピングする。これにより、ボンド部が石英管内に収容
されて高温腐食性ガス雰囲気、例えば高温のＮＨ3ガス
に露出しないので、ボンド部は高温腐食性ガス雰囲気か
ら保護され、従来のように破壊されるようなことはな
い。また、石英管の基端部と熱電対とをボンドにより封
止し、かつ石英管の基端部側で熱電対の形状に沿って所
定の長さにわたってＰｉｎ型熱電対を保護するように石
英管の基端部を外方に延長することにより、石英管内に
入り込む腐食性ガスの量を減少させて、Ｐｉｎ型熱電対
の損傷を防止する。
アルミナ製ボンド部で固定し、その上を炭化珪素でキャ
ッピングする。これにより、ボンド部が石英管内に収容
されて高温腐食性ガス雰囲気、例えば高温のＮＨ3ガス
に露出しないので、ボンド部は高温腐食性ガス雰囲気か
ら保護され、従来のように破壊されるようなことはな
い。また、石英管の基端部と熱電対とをボンドにより封
止し、かつ石英管の基端部側で熱電対の形状に沿って所
定の長さにわたってＰｉｎ型熱電対を保護するように石
英管の基端部を外方に延長することにより、石英管内に
入り込む腐食性ガスの量を減少させて、Ｐｉｎ型熱電対
の損傷を防止する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に、実施形態例を挙げ、添付
図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつ詳細
に説明する。 実施形態例 本実施形態例は、本発明に係る温度計の実施形態の一例
であって、図１は本実施形態例の温度計の要部、即ちＰ
ｉｎ型熱電対部分の斜視図、図２は図１のＡ部分の拡大
斜視図であってＰｉｎ型熱電対の先端の異種金属接点の
保護態様を示し、及び図３は図１のＢ部分の石英管の基
端部の拡大斜視図である。図１から図３に示す部位のう
ち、図４と同じものには同じ符号を付し、必要のない限
り重複して説明しない。本実施形態例の温度計の要部３
０は、図１に示すように、Ｐｉｎ型熱電対１２（以下、
熱電対１２と言う）と、熱電対１２を内部に収容して保
護する石英本管１４と、石英本管１４から突出して熱電
対１２を保護し、石英本管１４より径が細い石英細管３
２と、熱電対１２の形状に沿って延在する石英本管１４
の基端延長部３４とを備えている。石英細管３２は、そ
の先端部が熱電対１２の先端の異種金属接点１３より外
方に突出し、異種金属接点１３の先で、炭化珪素部３６
を外方にして石英細管３２の先端部の管内にボンド部３
８と炭化珪素部３６とを収容している。本実施形態例で
は、ボンド部３８は、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を主成分
とする接着剤であって、石英細管３２と炭化珪素部３６
とを接合し、かつ異種金属接点１３を内部に埋め込んで
保護する機能を有する。石英本管１４の基端部は、石英
本管１４と熱電対１２とをアルミナ製ボンドにより封止
する封止部４０を備え、かつ石英本管１４の基端部側で
熱電対１２の形状に沿って所定の長さにわたって熱電対
１２を保護するように石英本管１４の基端部から外方に
延長する基端延長部３４を備えている。
図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつ詳細
に説明する。 実施形態例 本実施形態例は、本発明に係る温度計の実施形態の一例
であって、図１は本実施形態例の温度計の要部、即ちＰ
ｉｎ型熱電対部分の斜視図、図２は図１のＡ部分の拡大
斜視図であってＰｉｎ型熱電対の先端の異種金属接点の
保護態様を示し、及び図３は図１のＢ部分の石英管の基
端部の拡大斜視図である。図１から図３に示す部位のう
ち、図４と同じものには同じ符号を付し、必要のない限
り重複して説明しない。本実施形態例の温度計の要部３
０は、図１に示すように、Ｐｉｎ型熱電対１２（以下、
熱電対１２と言う）と、熱電対１２を内部に収容して保
護する石英本管１４と、石英本管１４から突出して熱電
対１２を保護し、石英本管１４より径が細い石英細管３
２と、熱電対１２の形状に沿って延在する石英本管１４
の基端延長部３４とを備えている。石英細管３２は、そ
の先端部が熱電対１２の先端の異種金属接点１３より外
方に突出し、異種金属接点１３の先で、炭化珪素部３６
を外方にして石英細管３２の先端部の管内にボンド部３
８と炭化珪素部３６とを収容している。本実施形態例で
は、ボンド部３８は、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を主成分
とする接着剤であって、石英細管３２と炭化珪素部３６
とを接合し、かつ異種金属接点１３を内部に埋め込んで
保護する機能を有する。石英本管１４の基端部は、石英
本管１４と熱電対１２とをアルミナ製ボンドにより封止
する封止部４０を備え、かつ石英本管１４の基端部側で
熱電対１２の形状に沿って所定の長さにわたって熱電対
１２を保護するように石英本管１４の基端部から外方に
延長する基端延長部３４を備えている。
【００１３】本実施形態例では、従来露出していたボン
ド部３８と炭化珪素部３６とを石英細管３２内に収容し
て高温腐食性ガス雰囲気、例えば高温のＮＨ3ガスから
ボンド部３８を遮断することにより、ボンド部３８を、
従って熱電対１２の先端の異種金属接点１３を保護して
損傷を防止している。また、石英本管１４の基端部で
も、封止部４０により石英本管１４と熱電対１２とを封
止し、かつ石英本管１４の基端部に基端延長部３４を設
けることにより、アルミナ製ボンドからなる封止部４０
及び熱電対１２が高温腐食性ガス雰囲気に露出するのを
防止し、保護している。
ド部３８と炭化珪素部３６とを石英細管３２内に収容し
て高温腐食性ガス雰囲気、例えば高温のＮＨ3ガスから
ボンド部３８を遮断することにより、ボンド部３８を、
従って熱電対１２の先端の異種金属接点１３を保護して
損傷を防止している。また、石英本管１４の基端部で
も、封止部４０により石英本管１４と熱電対１２とを封
止し、かつ石英本管１４の基端部に基端延長部３４を設
けることにより、アルミナ製ボンドからなる封止部４０
及び熱電対１２が高温腐食性ガス雰囲気に露出するのを
防止し、保護している。
【００１４】本実施形態例では、炭化珪素部３６をＣＶ
Ｄ技術により形成することにより、高温腐食性ガス雰囲
気、例えば高温のＮＨ3ガスからボンド部３８を遮断す
る炭化珪素部３６を石英細管３２内に容易に形成するこ
とができる。
Ｄ技術により形成することにより、高温腐食性ガス雰囲
気、例えば高温のＮＨ3ガスからボンド部３８を遮断す
る炭化珪素部３６を石英細管３２内に容易に形成するこ
とができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、Ｐｉｎ型熱電対と、Ｐ
ｉｎ型熱電対を内部に収容して保護する石英管とからな
る熱電対部を有する温度計において、石英管の先端部を
Ｐｉｎ型熱電対の先端の異種金属接点より外方に突出さ
せ、Ｐｉｎ型熱電対の先端の異種金属接点の先で、炭化
珪素部を外方にして石英管内にボンド部と炭化珪素部と
を収容している。これにより、ボンド部が石英管内に収
容されて高温腐食性ガス雰囲気、例えば高温のＮＨ3ガ
スから遮断されるので、ボンド部、従って熱電対の先端
の異種金属接点は高温腐食性ガス雰囲気から保護され、
従来のように破壊されるようなことはない。本発明に係
る温度計をウエハ処理装置に設けることにより、ウエハ
温度を確実に計測して処理効率を向上させることができ
る。
ｉｎ型熱電対を内部に収容して保護する石英管とからな
る熱電対部を有する温度計において、石英管の先端部を
Ｐｉｎ型熱電対の先端の異種金属接点より外方に突出さ
せ、Ｐｉｎ型熱電対の先端の異種金属接点の先で、炭化
珪素部を外方にして石英管内にボンド部と炭化珪素部と
を収容している。これにより、ボンド部が石英管内に収
容されて高温腐食性ガス雰囲気、例えば高温のＮＨ3ガ
スから遮断されるので、ボンド部、従って熱電対の先端
の異種金属接点は高温腐食性ガス雰囲気から保護され、
従来のように破壊されるようなことはない。本発明に係
る温度計をウエハ処理装置に設けることにより、ウエハ
温度を確実に計測して処理効率を向上させることができ
る。
【図１】本実施形態例の温度計の要部、即ちＰｉｎ型熱
電対部分の斜視図である。
電対部分の斜視図である。
【図２】図１のＡ部分の拡大斜視図であって、Ｐｉｎ型
熱電対の先端の異種金属接点の保護態様を示す。
熱電対の先端の異種金属接点の保護態様を示す。
【図３】図１のＢ部分の石英管の基端部の拡大斜視図で
ある。
ある。
【図４】
１０……Ｐｉｎ型熱電対からなる温度計の要部、１２…
…Ｐｉｎ型熱電対、１４……石英本管、１６……石英細
管、１８……炭化珪素部、２０……ボンド部、２２……
基端ボンド部、３０……実施形態例の温度計の要部、３
２……石英細管、３４……基端延長部、３６……炭化珪
素部、３８……ボンド部、４０……封止部。
…Ｐｉｎ型熱電対、１４……石英本管、１６……石英細
管、１８……炭化珪素部、２０……ボンド部、２２……
基端ボンド部、３０……実施形態例の温度計の要部、３
２……石英細管、３４……基端延長部、３６……炭化珪
素部、３８……ボンド部、４０……封止部。
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｐｉｎ型熱電対と、Ｐｉｎ型熱電対を内
部に収容して保護する石英管と、石英管から突出したＰ
ｉｎ型熱電対の先端の異種金属接点を保護する炭化珪素
部と、炭化珪素部と石英管とを接合し、かつＰｉｎ型熱
電対の異種金属接点を保護するボンド部とを備えている
温度計において、 Ｐｉｎ型熱電対の先端の異種金属接点より外方に、石英
管の先端部を突出させ、炭化珪素部を外方にして石英管
の先端部の管内にボンド部と炭化珪素部とを収容し、ボ
ンド部内にＰｉｎ型熱電対の異種金属接点を埋め込んで
いることを特徴とする温度計。 - 【請求項２】 石英管が、石英本管と、石英本管から突
出し、かつ石英本管より径の細い石英細管とから構成さ
れ、炭化珪素部とボンド部とは石英細管の先端部の管内
に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の温
度計。 - 【請求項３】 石英管の基端部は、石英管とＰｉｎ型熱
電対とをアルミナ製ボンドにより封止する封止部を備
え、かつ石英管の基端部側で熱電対の形状に沿って所定
の長さにわたってＰｉｎ型熱電対を保護するように石英
管の基端部から外方に延長する基端延長部を備えている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の温度計。 - 【請求項４】 炭化珪素部がＣＶＤ法により形成されて
いることを特徴とする請求項１又は２に記載の温度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31667897A JPH11148872A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | 温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31667897A JPH11148872A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | 温度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11148872A true JPH11148872A (ja) | 1999-06-02 |
Family
ID=18079699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31667897A Pending JPH11148872A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | 温度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11148872A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104748878A (zh) * | 2013-12-25 | 2015-07-01 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种水系统温度测试工装 |
| WO2023067995A1 (ja) * | 2021-10-21 | 2023-04-27 | 株式会社フルヤ金属 | 熱電対構造 |
-
1997
- 1997-11-18 JP JP31667897A patent/JPH11148872A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104748878A (zh) * | 2013-12-25 | 2015-07-01 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种水系统温度测试工装 |
| WO2023067995A1 (ja) * | 2021-10-21 | 2023-04-27 | 株式会社フルヤ金属 | 熱電対構造 |
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