JPS5944041U - 拡散炉装置 - Google Patents
拡散炉装置Info
- Publication number
- JPS5944041U JPS5944041U JP14039782U JP14039782U JPS5944041U JP S5944041 U JPS5944041 U JP S5944041U JP 14039782 U JP14039782 U JP 14039782U JP 14039782 U JP14039782 U JP 14039782U JP S5944041 U JPS5944041 U JP S5944041U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffusion furnace
- furnace equipment
- thermocouple
- temperature controller
- zero
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の拡散炉における温度測定系を示す構成図
、第２図は本考案の実施例を示す温度測定系構成図であ
る。 １・・・ヒーター、２・・・熱電対、８・・・温度コン
トローラー、１０・・・熱電対と同質の導線、１１・・
・銅線、１２・・・零接点補償器。
、第２図は本考案の実施例を示す温度測定系構成図であ
る。 １・・・ヒーター、２・・・熱電対、８・・・温度コン
トローラー、１０・・・熱電対と同質の導線、１１・・
・銅線、１２・・・零接点補償器。
Claims (1)
- 半導体製造用拡散炉において、炉温検出用熱電対と、拡
散炉の熱影響を受けない場所に設置した零接点補償器と
、温度コントローラーとからなり、熱電対と零接点補償
器とを炉温検出用熱電対と同質の導線で結線し、零接点
補償器と温度コントローラーとを銅線で結線したことを
特徴とする拡散炉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14039782U JPS5944041U (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 拡散炉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14039782U JPS5944041U (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 拡散炉装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5944041U true JPS5944041U (ja) | 1984-03-23 |
Family
ID=30314358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14039782U Pending JPS5944041U (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 拡散炉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5944041U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5568582A (en) * | 1978-11-17 | 1980-05-23 | Kokusai Electric Co Ltd | Method of controlling temperature distribution in diffusion furnace |
-
1982
- 1982-09-16 JP JP14039782U patent/JPS5944041U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5568582A (en) * | 1978-11-17 | 1980-05-23 | Kokusai Electric Co Ltd | Method of controlling temperature distribution in diffusion furnace |
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