JPS5960574U - 熱抵抗測定装置 - Google Patents

熱抵抗測定装置

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JPS5960574U
JPS5960574U JP15651282U JP15651282U JPS5960574U JP S5960574 U JPS5960574 U JP S5960574U JP 15651282 U JP15651282 U JP 15651282U JP 15651282 U JP15651282 U JP 15651282U JP S5960574 U JPS5960574 U JP S5960574U
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JP
Japan
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thermal resistance
resistance measuring
measuring device
setting block
atmosphere setting
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Application number
JP15651282U
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English (en)
Inventor
武 大原
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来よりの熱抵抗測定回路を示す回路図、第
２図ａ及び第２図すは、その測定電流及び電圧波形図、
第３図は、この考案の一実施例を示す熱抵抗測定装置の
概略構成図である。 ２・・・・・・第１の雰囲気設定ブロック、３・・・・
・・第２の雰囲気設定ブロック、４，４・・・・・・半
導体装置、５・・・・・・高温炉、６・・・・・・第１
のプローバ、７・・・・・・低温炉、８・・・・・・第
２のプローバ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体装置に通電して特性測定を行う一定温度の第１の
    雰囲気設定ブロックと、前記第１の雰囲気設定ブロック
    より移送した半導体装置を、再び通電して特性測定を行
    う所定温度差を有する第２の雰囲気設定ブロックとを備
    えたことを特徴とする熱抵抗測定装置。
JP15651282U 1982-10-15 1982-10-15 熱抵抗測定装置 Pending JPS5960574U (ja)

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JP15651282U JPS5960574U (ja) 1982-10-15 1982-10-15 熱抵抗測定装置

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JPS5960574U true JPS5960574U (ja) 1984-04-20

Family

ID=30345324

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JP15651282U Pending JPS5960574U (ja) 1982-10-15 1982-10-15 熱抵抗測定装置

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5739364A (en) * 1980-08-20 1982-03-04 Mitsubishi Electric Corp Thermal resistance measuring method of semiconductor device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5739364A (en) * 1980-08-20 1982-03-04 Mitsubishi Electric Corp Thermal resistance measuring method of semiconductor device

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