JPS588174U - 厚膜回路基板測定装置 - Google Patents

厚膜回路基板測定装置

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JPS588174U
JPS588174U JP10143381U JP10143381U JPS588174U JP S588174 U JPS588174 U JP S588174U JP 10143381 U JP10143381 U JP 10143381U JP 10143381 U JP10143381 U JP 10143381U JP S588174 U JPS588174 U JP S588174U
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JP
Japan
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circuit board
thick film
film circuit
measuring device
measurement
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Pending
Application number
JP10143381U
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Inventor
手嶋　實
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はサーマルヘッド厚膜回路基板の回路図、第２図
は本考案装置の一実施例の主要部を示す側、面図、第３
図は測定用探針が各測定個所に接触している時を示す説
明図である。 一１１〜１□、６・・・被測定素子、２１〜，９・・・
マトリックスのブロック、３１〜１゜１６・・・マトリ
ックスの共通側の測定個所、４１〜８４・・・マ）　Ｉ
Ｊソックス個別側の測定個所、５・・・共通側の測定ヘ
ッド、６・・・共通側の探針、７・・・厚膜回路基板、
８・・・試料台、９１〜。 ・・・個別側の探針、１０・・・個別側の測定ヘッド。 ＃ｌト ２−１！ ｍ−１− ｊ−ｓｓ　４−．３４’−６’１ −

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 厚膜回路基板上の複数の測定個所に、測定用ヘッドに支
    持された測定用探針を接触させて厚膜回路基板を電気的
    特性測定できるようにした装置において、測定装置本体
    に対して上下動する測定ヘッドと、前記ヘッドに支持さ
    れた測定用探針と、被測定厚膜回路基板を固定する測定
    装置本体に対して水平移動可能な試料台と、前記試料台
    に設けられた測定ヘッドと、電気的切換え可能な電気的
    特性を測定する測定器とから構成され、前記測定用探針
    をブロックごとの複数の測定個所に同時に接触させて測
    定を行なうことを特徴とする厚膜回路基板測定装置。
JP10143381U 1981-07-08 1981-07-08 厚膜回路基板測定装置 Pending JPS588174U (ja)

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