JPS5888169U - パタ−ン抵抗値測定装置 - Google Patents
パタ−ン抵抗値測定装置Info
- Publication number
- JPS5888169U JPS5888169U JP18359981U JP18359981U JPS5888169U JP S5888169 U JPS5888169 U JP S5888169U JP 18359981 U JP18359981 U JP 18359981U JP 18359981 U JP18359981 U JP 18359981U JP S5888169 U JPS5888169 U JP S5888169U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- cylinder
- base
- measurement device
- resistance measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来機構を示す斜視図、第２図は測定するセラ
ミック基板を示す図、第３図は抵抗値測定部の側面図、
第４図は従来機構の測定順序を示 −す図、第５図は本
考案によるパターン抵抗値測定装置の一実施例を示す斜
視図、第６図は本考案による機構での測定順序を示す図
である。 ２・・・・・・テーブル、６・・・・・・セラミック基
板、１３・・・・・・エアシリンダー、１４・・・・・
・電極部。
ミック基板を示す図、第３図は抵抗値測定部の側面図、
第４図は従来機構の測定順序を示 −す図、第５図は本
考案によるパターン抵抗値測定装置の一実施例を示す斜
視図、第６図は本考案による機構での測定順序を示す図
である。 ２・・・・・・テーブル、６・・・・・・セラミック基
板、１３・・・・・・エアシリンダー、１４・・・・・
・電極部。
Claims (1)
- ベース上に直立した背板があり、その背板の上部に、ベ
ースに平行な板があり、その板にエアシリンダが取りつ
けられ、シリンダの先端が電極部につながっており、電
極部はガイドポールでガイドされ、シリンダによって上
下へ移動し、電極は複数個有しており、電極部下方のベ
ース上には抵抗値を測定する基板をのせるテーブルがあ
り、そのテーブルにはベースの下側に取り付けられたエ
アシリンダの先端に取り付けられた板が接続していて、
テーブル上にはベース上に直立した板によってガイドさ
れているもう一方の電極を有することを特徴とするパタ
ーン抵抗値測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18359981U JPS5888169U (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | パタ−ン抵抗値測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18359981U JPS5888169U (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | パタ−ン抵抗値測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5888169U true JPS5888169U (ja) | 1983-06-15 |
Family
ID=29983007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18359981U Pending JPS5888169U (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | パタ−ン抵抗値測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5888169U (ja) |
-
1981
- 1981-12-11 JP JP18359981U patent/JPS5888169U/ja active Pending
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