JPS5821879U - 電子回路試験装置 - Google Patents

電子回路試験装置

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JPS5821879U
JPS5821879U JP11694581U JP11694581U JPS5821879U JP S5821879 U JPS5821879 U JP S5821879U JP 11694581 U JP11694581 U JP 11694581U JP 11694581 U JP11694581 U JP 11694581U JP S5821879 U JPS5821879 U JP S5821879U
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JP
Japan
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electronic circuit
circuit testing
testing equipment
head
probing
Prior art date
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Pending
Application number
JP11694581U
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English (en)
Inventor
博文 井上
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２図はプロ
ービング・ヘッドの実施例を示す斜視図である。なお図
において１はプロービング・ヘッド、２はヘッド取り付
はアーム、３はアーム・スライド部、４は被試験物、５
は回転テーブル、６　、はコントローラ、７はプローブ
、８はプローブ往復移動用モータ、９はプローブ取り付
は可動部である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ２本のプローブ間隔を任意に設定可能なプロービング・
    ヘッドをもち、該ヘッドと被試験物の相対位置関係を変
    える機構をもつことを特徴とする電子回路試験装置。
JP11694581U 1981-08-05 1981-08-05 電子回路試験装置 Pending JPS5821879U (ja)

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JPS5821879U true JPS5821879U (ja) 1983-02-10

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6183966A (ja) * 1984-10-01 1986-04-28 Olympus Optical Co Ltd 電子回路基板の検査装置
JPS63110649A (ja) * 1986-10-28 1988-05-16 Tokyo Electron Ltd プローブ装置及びプロービング方法
JPH01121778A (ja) * 1987-11-04 1989-05-15 Tokyo Electron Ltd プローブ装置及び液晶パネル用プローブ装置
JP2014228284A (ja) * 2013-05-17 2014-12-08 日本メクトロン株式会社 同軸プローブ保持機構および電気特性検査装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS63110649A (ja) * 1986-10-28 1988-05-16 Tokyo Electron Ltd プローブ装置及びプロービング方法
JPH01121778A (ja) * 1987-11-04 1989-05-15 Tokyo Electron Ltd プローブ装置及び液晶パネル用プローブ装置
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