JPH01121778A - プローブ装置及び液晶パネル用プローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｆ発明の目的】 （産業上の利用分野） この発明は、検査方法番こ関する。

（従来の技術） 最近、ガラス基板等に形成された液晶パネル例えば液晶
テレビの普及が進んでおり、この液晶テレビの量産工程
にお１する電気的特性の検査を正確に高速に行なうこと
が要求されている。このようなテレビ画面のように数百
、数十万−個の画素数を要求される場合１２１士電極パ
ッド数も数百以上におよぶ、このような装置の従来の検
査方法としては。

上記電極バット列を複数に分割した分の被検査体の多数
の電極パッド配列ｌこ対応したプローブ針を装着固定し
たブロービングカー下をプローブ装置に用意し、被検査
体を載置した載置台を相対的に移動させることにより、
被検査体の電極パッドとプローブ針とを接触接続し、検
査を実行していた。

（発明′が解決しようとする問題点） しかしながら、ガラス基板に形成された液晶パ　　゛ネ
ルは、１辺に対して連続した多数の電極が形成されてい
て、このような液晶パネルを製造する際には、寸法に施
いて製造誤差が生じる場合が多々ある。例えば液晶パネ
ル１辺に対して１００ｔＩＩｎ角の電極パッドを２００
．ピッチで３００電極直線状に形成する際、製造誤差が
例えば１％発生すると、液晶パネル１辺に対して約５０
０−のズレが生じる。このようにｓｏｎ、のズレが生じ
ると、電極パッドが１０〇−角なので、　プ［−ブ針を
電極パッドに接続する際あ許容範囲８１士力するにオー
バーしてしまう。

ここで、プローブ針を規格通りに装着したプローピング
カードを正−確に作製したとしても、上記液晶パネルの
製造誤差により、ブロービングカードのプ凸−ブ勲と液
晶パネルの電極パッド１こは分法ズレが生じ正確に電気
的接続をし検査することは不可能となる問題点があった
。

この発明は上記点に対処してなされたもので、連続した
多数の電極パッドが形成された被検査体に、たとえ製造
上の寸法誤差が生じても、その誤差に対応し、被検査体
の電極パッドとプローブ針を正確に電気的接続し、信頼
性の高い検査結果を得ることが可能な効果を得る検査方
法−提供するものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） この発明は、所定の間隔ごとに多数の電極が配列された
被検査体の上記各電極に対応するプローブ針列を接触し
て検査するに際し、上記プローブ針列を複数群に分割し
、各群に対応する各電極列との位置合わせを行なって検
査することを特徴とする検査方法を得るものである。

（作用効果） プローブ針列を複数群に分割し、各群に対応する客電極
列との位置合わせを行なって検査するようにしたことに
より、多数の電極パッドが形成された被検査体に、たと
え製造誤差が生じたとしても、その誤差に対応し、被検
査体の電極パッドとプローブ針を正確に接続し、信頼性
の高い検査結果を得ることが可能な効果が得られる。

特に連続した多数個（２００〜３００以上）の電極パッ
ドに接続する場合に効果的である。

（実　施　例） 次に、本発明検査方法の一実施例を被検査体として例え
ば液晶テレビなど画像表示用液晶パネルが形成されたガ
ラス基板をプローブ装置での検査に適用したものを説明
する。

例えば４５０ｍ朧角か６なる石英等のガラス基板■には
、被検査体例えば３インチの液晶パネル■が４つ形成さ
れている。この各液晶パネル■には、Ｘ−Ｙマトリック
ス配線やＴＰＴ技術により形成された液晶表示駆動回路
が形成されている。又。

液晶パネル■の各辺に、は、１辺に対して例えば３００
個の電極パッド■が形成されている。　この電極パッド
■は２例えば１０Ｇ−角で１例えば２００−ピッチで直
線状に３００個形成されている。　　　　−上記液晶パ
ネル■の電気的特性を検査するには、例えば第３図に示
すプローブ針列に）によって行なう、このプローブ載置
に）は１、被検査体例えば液晶パネル■が形成されたガ
ラス基板ωを収納する収納部■、この収納部■、からガ
ラス基板■を取り出し、このガラス基板■を、アライメ
ント部０および検査部■へ搬送する搬送部＠７、この搬
送部０により搬送されたガラス基板ωの位置、決めを行
なうアライメント部０．このアライメント部■を介して
ガラス基板■に形成された液晶パネル■の電気的特性を
検査する検査部■から構成されている。上記収納部■に
は、ガラス基板中を板厚方向に所定の間隔で設けて縦列
状に、例えば２５枚設置可能なガラス基板収納カセット
（図示せず）にガラス基板■が収納されたものが搬入さ
れる。この搬入は、オペレータがマニュアル動作により
行なうか又は、ロボットハンド等により自動的に行なっ
ても良い。

収納部■に搬入されたカセットは、図示しない載置台に
載置される。この載置台は１図示しない昇降機構により
上下移動可能である。この移動量は、プローブ装置１（
２）のＣＰＵにより制御される。上記のような収納部■
から搬出入４ｍ例えば真空吸着ピンセット等でガラス基
板のをｉ枚づつ取り出し、搬送部■で予備ステージに搬
送する。この予備ステージは、上下動およびθ回転が可
能であり、載置されたガラス基板のを回転させ、反射型
センサ例えばフォトインタラプタ等を利用して予備アラ
イメントする。この予備アライメントされたガラス基板
■を搬送部■例えば真空吸着アーム等でガラス基板■を
載置台■に搬送する。ここでガラス基板■は、載置台０
に設けられた真空吸着機構により吸着固定される。この
吸着固定されたガラス基板■↓よ、アライメント部■で
ＣＯＤカメラを使ったパターン認識機構又は、レーザ照
明による予め定められた位置合せパターン−を用いて認
識機構により正確にアライメントされる。このアライメ
ントされたガラス基板■は、検査部■で電気的特性検査
が行なわれる。検査部■には、所定の位置即ち、載置台
■に載置されたガラス基板■上方の対向位置にプローブ
機構（１０）が設置されている。

このプローブ機構（１０）の構成は、第１図及び第２図
に示すように、被検査体である液晶パネル■の検査時に
、液晶パネル■の電極パッド■と接続するプローブ保持
体としてプローブユニット（１１）がアーム（１２）に
保持されている。上記プローブユニット（１１）は、例
えば長方形のプリント基板（１３）の長手方向に、夫々
絶縁状態で所定の間隔を設けて。

複数例えば１５本のプローブ針（１４）を支持体（１５
）により、プリント基板（１３）から下方向に所定の角
度を設けて１位置決めされ、実装されたものである。

このようなプローブユニット（１１）は、プリント基板
（１３）と平行に構成されたアーム（１２）に保持され
ている。この保持は、アーム（１２）の先端が、プロー
ブユニット（１１）のプリント基板（１３）に設けられ
た図示しない溝に嵌合し、ネジ等により固定されたもの
である。この時、プローブユニット（１１）のプリント
基板（１３）とガラス基板■は、平行に配設されている
。又、上記プローブユニット（１１）を保持したアーム
（１２）の他端は、プローブユニット（１１）を横方向
に微移動操作可能なスライドレール（１６）に接続保持
されている。このスライドレール（１６）には、上記同
様のプローブユニット（１１）が複数接続保持されてい
る。このプローブユニット（１１）の数は、被検査体の
１辺の電極パッド数に対応した数のプローブ針（１４）
を確保した数である。

この実施例の場合、被検査体である液晶パネル■の１辺
には、この電極パッド■形成されているので、複数個の
被検査体の単位例えば１５本のプローブ針（１４）を保
持したプローブユニット（１１）が２０機構スライドレ
ール（１６）に接続保持されている。又、各プローブユ
ニット（１１）は、夫々同間隔を設けて保持されていて
、この゛間隔を調整することも可能とされている。この
調整は、まず液晶パネル■の電極パッド０間距離を検知
する。どの検知は、プローブ機構（１０）上方に設けら
れたＴＶカメラ（１７）により、液晶パネル■の１辺に
形成された列状の電極パッド■の両端が撮像され、この
撮像信号から両端間の距離が位置検出装置（１８）によ
り算出され、この算出結果から各電極パッド間隔が導出
される。この導かれた各電極パッド■の位置情報は各プ
ローブユニット間隔調整駆動制御機構（１９）に入力さ
れる。この駆動制御機構（１９）で、予め記憶されたプ
ローブユニット（１１）の形態を参照し、このプローブ
ユニット（１１）の形態にみあった各プローブユニット
（１１）間の最適値が算出される。この算出された値は
、各プローブユニット間隔調整駆動装置（２０）に入力
され、各プローブユニット間隔は調整される。この調整
は、各プローブユニット（１１）をスライドレール（１
６）内でスライドさせ、各プローブユニット（１１）毎
の間隔を微調整して、被検査体の各電極パッド■に各プ
ローブユニット（１１）の各プローブ針（１４）が正確
に接続可能なようにする。上記のようなプローブ機構（
１０）は２系統設置され、液晶パネル■の対向する辺に
形成された電極パッド０列に同時に接続可能とされてい
る。

次に、上記プローブ装置に）でガラス基板■に形成され
た被検査体である液晶パネル■の検査をする方法を説明
する。

まず、ガラス基板収納部■からガラス基板ωを、搬送部
■で予備アライメント後、載置台■に搬送し、載置する
。載置したガラス基板■をアライメント部■で正確にア
ライメント後、検査部■に設置する。ここで、載置台（
２）を移動して、ＴＶカメラ（１７）により、液晶パネ
ル■に形成された電極パッド■を上記プローブ針群の分
割単位で撮像する。

この撮像出力から位置検出装置（１８）で各電極パッド
■間隔を算出する。この各電極パッド■の位置情報を各
プローブユニット間隔調整駆動制御機構（１９）に入力
する。そして、この駆動制御機構（１９）から算出され
た、各ブローブユニッ上間の最適値を各プローブユニッ
ト間隔調整駆動装置（２０）に入力し、各プローブユニ
ット間隔を調整する。この調整後、プローブ機構（ｌＯ
）と載置台■を近接する如く相対的に移動例えば載置台
■を上昇して、各プローブユニット（１１）に装着され
た各プローブ針（１４）と液晶パネル■に形成された電
極パッド■を接続する。この接続状態で、テスタにより
液晶パネル■の電気的特性の検査例えばオープン／ショ
ート・チエツクを実行する。この検査後、載置台■を下
降して、接続状態を解除する。次に載置台■を移動して
、他の液晶パネル■を検査位置に設置する。ここで上記
と同様の検査動作を繰返し、ガラス基板■に形成された
総ての液晶パネル■の検査を行なう、検査終了後、ガラ
ス基板■を搬送部■で元の収納位置に搬送する。

上述したように、少なくとも２つの基板に分配させて設
けられたプローブ針の位置の調整をした後に各基板に装
着されたプローブ針を被検査体の電極に接続させて検査
するようにしたことにより、被検査体の製造時に起きた
誤差にも対応可能とする１例えば１００−角の電極が２
００−ピッチで３００電極形成されていた際、製造誤差
が１％ある場合約６００−のズレとなり、　これはプロ
ーブ針３本分のズレに相当し許容範囲外となるが、プロ
ーブ保持体を２０分割した場合、各ブロックのズレは、
　３０゜となり、　これは電極が１００．角なので許容
範囲となり正確に検査可能である。

この発明は、上記実施例ｉ限定されるものではない０次
に、他の実施例を説明する１例えば第４図に示すように
１図示しないプローブ針を複数本装着したプローブユニ
ット（ｚｌ）を被検査体の電極パッド数に対応した数だ
け設ける。この各プローブユニット（２１）は、扇状に
設けられた各アーム（２２）の先端に保持されている。

又、各アーム（２２）の極端は、予め定められた位置に
設けられた中心軸（２３）を中心に回転自在に取付けら
れている。ここで、間隔調整ブロック（２４）を調整す
ることにより、アーム（２２）を動かし各プローブユニ
ット（２１）間の間隔を調整することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明するための被検査体を
検査するための機構の説明図、第２図は第１図の側面図
、第３図は第１図の被検査体を検査するプローブ装置の
概略図、第４図は第１図の他の実施例の説明図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 所定の間隔ごとに多数の電極が配列された被検査体の上
   記各電極に対応するプローブ針列を接触して検査するに
   際し、上記プローブ針列を複数群に分割し、各群に対応
   する各電極列との位置合わせを行って検査することを特
   徴とする検査方法。