JPH0785196B2 - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置Info
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- JPH0785196B2 JPH0785196B2 JP62231919A JP23191987A JPH0785196B2 JP H0785196 B2 JPH0785196 B2 JP H0785196B2 JP 62231919 A JP62231919 A JP 62231919A JP 23191987 A JP23191987 A JP 23191987A JP H0785196 B2 JPH0785196 B2 JP H0785196B2
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- JP
- Japan
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- probe
- electrodes
- liquid crystal
- measured
- glass substrate
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、プローブ装置に関する。
（従来の技術） 最近、ガラス基板等に形成された液晶パネル例えば液晶
テレビの普及が進んでおり、この液晶テレビの電気的テ
ストを行なうプローブ装置が要求されている。従来のプ
ローブ装置は、被測定体の電極パッド模様に対応したプ
ローブ針を設けたプローブカードを固定とし、被測定体
を載置した載置台を順次移動させることにより、被測定
体の電極パッドとプローブ針とを接続し、測定を実行し
ていた。
テレビの普及が進んでおり、この液晶テレビの電気的テ
ストを行なうプローブ装置が要求されている。従来のプ
ローブ装置は、被測定体の電極パッド模様に対応したプ
ローブ針を設けたプローブカードを固定とし、被測定体
を載置した載置台を順次移動させることにより、被測定
体の電極パッドとプローブ針とを接続し、測定を実行し
ていた。
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記したようなプローブ装置には以下に
掲げる問題点がある。
掲げる問題点がある。
まず、載置台を移動させ測定を実行する場合、被測定体
であるガラス基板は大型例えば450mm角なので、載置台
を大型にする必要があり、載置台を大型化すると、移動
スピードの低下および振動による精度の劣化、さらに移
動スペースの広範囲化という問題点があった。又、ガラ
ス基板に形成された液晶パネルは、１辺に対して多数の
電極パッド例えば1,000電極が直線状に一列に形成され
ている。この電極パッド構成に対応したプローブカード
を製造するとコストが莫大なものとなり汎用性に欠けて
いた。又、このようなプローブカードを製造したとして
も、液晶パネルの製造には誤差が生じることが多々あ
り、各プローブ針と各電極パッドを正確に接続すること
は困難であった。又、このような製造誤差にも対応した
プローブカード構成は、特公昭58-21823号公報に開示さ
れた手段があるが、このような方法で誤差修正をすると
構成が複雑となり、逆に位置合わせ時間の多大なる浪費
となってしまう。さらに、特開昭61-181143号公報に開
示されたような機構を利用して複数もしくは単数のプロ
ーブ針を液晶パネルの電極パッドに分割的に接続し測定
しても良いが、上記の載置台の大型化に対する問題点に
は対処できない。
であるガラス基板は大型例えば450mm角なので、載置台
を大型にする必要があり、載置台を大型化すると、移動
スピードの低下および振動による精度の劣化、さらに移
動スペースの広範囲化という問題点があった。又、ガラ
ス基板に形成された液晶パネルは、１辺に対して多数の
電極パッド例えば1,000電極が直線状に一列に形成され
ている。この電極パッド構成に対応したプローブカード
を製造するとコストが莫大なものとなり汎用性に欠けて
いた。又、このようなプローブカードを製造したとして
も、液晶パネルの製造には誤差が生じることが多々あ
り、各プローブ針と各電極パッドを正確に接続すること
は困難であった。又、このような製造誤差にも対応した
プローブカード構成は、特公昭58-21823号公報に開示さ
れた手段があるが、このような方法で誤差修正をすると
構成が複雑となり、逆に位置合わせ時間の多大なる浪費
となってしまう。さらに、特開昭61-181143号公報に開
示されたような機構を利用して複数もしくは単数のプロ
ーブ針を液晶パネルの電極パッドに分割的に接続し測定
しても良いが、上記の載置台の大型化に対する問題点に
は対処できない。
この発明は、上記点に対処してなされたもので、電極パ
ッドが多数形成された大型の被測定体の上記電極パッド
にプローブ針を正確に接続可能とし、なおかつプローブ
装置を大型化せずに対応可能とする効果を得るプローブ
装置を提供するものである。
ッドが多数形成された大型の被測定体の上記電極パッド
にプローブ針を正確に接続可能とし、なおかつプローブ
装置を大型化せずに対応可能とする効果を得るプローブ
装置を提供するものである。
（問題点を解決するための手段） この発明は、多数の電極を直線状に設けた被測定体を載
置する昇降自在な載置台と、この載置台の近傍にＸ方向
軸およびＹ方向軸を備え、前記載置台に対して支持体を
XY方向に駆動するXY駆動機構と、前記支持体に支持され
たXY方向およびＺ方向は微移動自在な微調整機構と、こ
の微調整機構に支持されたプローブユニットと、このプ
ローブユニットに設けられ前記被測定体の電極と同一ピ
ッチで直線状に配置され、前記多数の電極をその配列の
一端側から他端側に亘って複数組に分割し、分割された
各組の複数の電極毎に順次接触させることにより前記被
測定体の測定を行う複数のプローブ針とを具備したこと
を特徴とする。
置する昇降自在な載置台と、この載置台の近傍にＸ方向
軸およびＹ方向軸を備え、前記載置台に対して支持体を
XY方向に駆動するXY駆動機構と、前記支持体に支持され
たXY方向およびＺ方向は微移動自在な微調整機構と、こ
の微調整機構に支持されたプローブユニットと、このプ
ローブユニットに設けられ前記被測定体の電極と同一ピ
ッチで直線状に配置され、前記多数の電極をその配列の
一端側から他端側に亘って複数組に分割し、分割された
各組の複数の電極毎に順次接触させることにより前記被
測定体の測定を行う複数のプローブ針とを具備したこと
を特徴とする。
（作用効果） 複数のプローブ針が直線状に設けられたプローブユニッ
トをXY方向に移動し、複数のプローブ針を分割された各
組の複数の電極に移動させて順次測定することにより、
電極パッドが多数形成された大型の被測定体の上記電極
パッドにプローブ針を正確に接続可能とし、なおかつプ
ローブ装置を大型化せずに対応可能とする効果が得られ
る。
トをXY方向に移動し、複数のプローブ針を分割された各
組の複数の電極に移動させて順次測定することにより、
電極パッドが多数形成された大型の被測定体の上記電極
パッドにプローブ針を正確に接続可能とし、なおかつプ
ローブ装置を大型化せずに対応可能とする効果が得られ
る。
（実施例） 次に本発明プローブ装置の一実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
このプローブ装置（１）は第３図に示すように、被測定
体である例えばガラス基板（２）を収納する収納部
（３）、この収納部（３）からガラス基板（２）を取り
出し、このガラス基板（２）をアライメント部（４）お
よび測定部（５）へ搬送する搬送部（６）、この搬送部
（６）により搬送されたガラス基板（２）の位置決めを
行なうアライメント部（４）、このアライメント部
（４）を介して測定部（５）として、ガラス基板（２）
に形成された液晶パネル（７）の電気的特性を測定する
測定部（５）から構成されている。上記収納部（３）は
ガラス基板（２）を板厚方向に所定の間隔を設けて縦列
状に例えば25枚設置可能なガラス基板収納カセットにガ
ラス基板を収納されたものを搬入する。この搬入は、オ
ペレータがマニュアル動作により行なうか又は、ロボッ
トハンド等により自動的に行っても良い。収納部（３）
に搬入されたカセットは、載置台に載置される。この載
置台は、図示しない昇降機構により上下動可能であり、
移動量はプローブ装置のCPUにより制御されている。上
記のような収納部（３）から真空吸着ピンセット等でガ
ラス基板（２）を一枚づつ取り出し、搬送部（６）で予
備ステージに搬送する。この予備ステージは、上下動お
よびθ回転が可能であり、載置されたガラス基板（２）
を回転させ、透過型センサ例えばフォトインタラプタ等
を利用して予備アライメントする。この予備アライメン
トされたガラス基板（２）を搬送部（６）例えば真空吸
着アーム等で載置台（８）に搬送する。ここでガラス基
板（２）は、載置台（８）に設けられた真空吸着機構に
より吸着固定される。この吸着固定されたガラス基板
（２）は、アライメント部（４）でCCDカメラを使った
パターン認識機構又は、レーザによる認識機構により正
確にアライメントされる。このアライメントされたガラ
ス基板（２）を測定部（５）で電気的特性試験を行な
う。上記ガラス基板（２）は最大例えば縦450mm横450mm
で、Ｘ−Ｙマトリックス配線回路やTFT技術により形成
された液晶表示駆動回路から成る例えば３インチの液晶
パネル（７）が複数形成されている。又、この液晶パネ
ル（７）の周辺の１辺には、多数の電極例えば300個の
電極パッド（９）が、同ピッチ間隔で直線状に形成され
ている。この電極が形成された対向辺には、上記300電
極に対応した電極がすべてショート状態に形成されてい
る。このような液晶パネル（７）の電気特性の測定例え
ば導通チェックを実行する。又測定部（５）は、上記液
晶パネル（７）の測定に対応する如く構成されている。
即ち、測定部（５）には、プローブ機構（10）が設けら
てたおり、次にこのプローブ機構（10）の構成を説明す
る。
体である例えばガラス基板（２）を収納する収納部
（３）、この収納部（３）からガラス基板（２）を取り
出し、このガラス基板（２）をアライメント部（４）お
よび測定部（５）へ搬送する搬送部（６）、この搬送部
（６）により搬送されたガラス基板（２）の位置決めを
行なうアライメント部（４）、このアライメント部
（４）を介して測定部（５）として、ガラス基板（２）
に形成された液晶パネル（７）の電気的特性を測定する
測定部（５）から構成されている。上記収納部（３）は
ガラス基板（２）を板厚方向に所定の間隔を設けて縦列
状に例えば25枚設置可能なガラス基板収納カセットにガ
ラス基板を収納されたものを搬入する。この搬入は、オ
ペレータがマニュアル動作により行なうか又は、ロボッ
トハンド等により自動的に行っても良い。収納部（３）
に搬入されたカセットは、載置台に載置される。この載
置台は、図示しない昇降機構により上下動可能であり、
移動量はプローブ装置のCPUにより制御されている。上
記のような収納部（３）から真空吸着ピンセット等でガ
ラス基板（２）を一枚づつ取り出し、搬送部（６）で予
備ステージに搬送する。この予備ステージは、上下動お
よびθ回転が可能であり、載置されたガラス基板（２）
を回転させ、透過型センサ例えばフォトインタラプタ等
を利用して予備アライメントする。この予備アライメン
トされたガラス基板（２）を搬送部（６）例えば真空吸
着アーム等で載置台（８）に搬送する。ここでガラス基
板（２）は、載置台（８）に設けられた真空吸着機構に
より吸着固定される。この吸着固定されたガラス基板
（２）は、アライメント部（４）でCCDカメラを使った
パターン認識機構又は、レーザによる認識機構により正
確にアライメントされる。このアライメントされたガラ
ス基板（２）を測定部（５）で電気的特性試験を行な
う。上記ガラス基板（２）は最大例えば縦450mm横450mm
で、Ｘ−Ｙマトリックス配線回路やTFT技術により形成
された液晶表示駆動回路から成る例えば３インチの液晶
パネル（７）が複数形成されている。又、この液晶パネ
ル（７）の周辺の１辺には、多数の電極例えば300個の
電極パッド（９）が、同ピッチ間隔で直線状に形成され
ている。この電極が形成された対向辺には、上記300電
極に対応した電極がすべてショート状態に形成されてい
る。このような液晶パネル（７）の電気特性の測定例え
ば導通チェックを実行する。又測定部（５）は、上記液
晶パネル（７）の測定に対応する如く構成されている。
即ち、測定部（５）には、プローブ機構（10）が設けら
てたおり、次にこのプローブ機構（10）の構成を説明す
る。
プローブ機構（10）には、第２図に示すように被測定体
である液晶パネルの測定時に、電極パッド（９）と接続
するプローブユニット（11）がアーム（12）に保持され
ている。上記プローブユニット（11）は、例えば長方形
のプリント基板（13）の長手方向に、夫々絶縁状態で所
定の間隔を設けて複数例えば30本のプローブ針（14）を
支持体（15）により位置決めされ、実装されたものであ
る。このようなプローブユニット（11）は、ほぼＬ字状
に構成されたアーム（12）の先端位置に設けられた図示
しない溝に挿入し嵌合保持しているか、又は、ネジ等に
より固定保持されている。この時、プローブユニット
（11）のプリント基板（13）と被測定体であるガラス基
板（２）とは平行に配設されている。又上記プローブユ
ニット（11）を保持したアーム（12）の他端は、プロー
ブユニット（12）をＸ方向・Ｙ方向・Ｚ方向に微移動操
作可能な微調整機構（16）に接続保持されている。この
微調整機構（16）には、Ｘ方向ステージ（17）,Y方向ス
テージ（18）,Z方向ステージ（19）が夫々独立系統で順
次積設されている。これら各ステージ（17）（18）（1
9）を微移動させるため調整手段として例えば調整ネジ
が夫々設けられ、この調整ネジの締緩操作によりアーム
（12）を微移動させる構造になっている。又微移動の調
整をマニュアル操作でなく自動的に行なう場合は、夫々
のステージ（17）（18）（19）に夫々駆動機構例えばモ
ータに係合させ、累合作用等で自動的に各ステージ（1
7）（18）（19）を独立系統に微移動させても良い。上
記のようなプローブユニット（11）を保持したアーム
（12）をＸ方向・Ｙ方向・Ｚ方向に微動させる微調整機
構（16）は、方形微の支持体（20）上に積載支持されて
いる。即ち、プローブ機構（10）は、支持体（20）上に
積載支持されている。又上記プローブ機構（10）は、被
測定体を測定するに際し、被測定体と相対的にＸ方向お
よびＹ方向に移動可能である。このプローブ機構（10）
の移動は、第１図に示すように構成されている。まず、
Ｘ方向軸とＹ方向軸とを連結する係合体（21）は、Ｙ方
向回転軸（22）を介して駆動機構であるモータ（23）に
連結しており、このモータ（23）を正逆方向に選択的に
回転させることにより、係合体（21）は、Ｙ方向回転軸
（22）上を累合作用で所望するＹ方向位置にスライド移
動する。又上記係合体（21）に連結しているＸ方向回転
軸（24）は、Ｙ方向回転軸（22）と直交する如く設置さ
れている。
である液晶パネルの測定時に、電極パッド（９）と接続
するプローブユニット（11）がアーム（12）に保持され
ている。上記プローブユニット（11）は、例えば長方形
のプリント基板（13）の長手方向に、夫々絶縁状態で所
定の間隔を設けて複数例えば30本のプローブ針（14）を
支持体（15）により位置決めされ、実装されたものであ
る。このようなプローブユニット（11）は、ほぼＬ字状
に構成されたアーム（12）の先端位置に設けられた図示
しない溝に挿入し嵌合保持しているか、又は、ネジ等に
より固定保持されている。この時、プローブユニット
（11）のプリント基板（13）と被測定体であるガラス基
板（２）とは平行に配設されている。又上記プローブユ
ニット（11）を保持したアーム（12）の他端は、プロー
ブユニット（12）をＸ方向・Ｙ方向・Ｚ方向に微移動操
作可能な微調整機構（16）に接続保持されている。この
微調整機構（16）には、Ｘ方向ステージ（17）,Y方向ス
テージ（18）,Z方向ステージ（19）が夫々独立系統で順
次積設されている。これら各ステージ（17）（18）（1
9）を微移動させるため調整手段として例えば調整ネジ
が夫々設けられ、この調整ネジの締緩操作によりアーム
（12）を微移動させる構造になっている。又微移動の調
整をマニュアル操作でなく自動的に行なう場合は、夫々
のステージ（17）（18）（19）に夫々駆動機構例えばモ
ータに係合させ、累合作用等で自動的に各ステージ（1
7）（18）（19）を独立系統に微移動させても良い。上
記のようなプローブユニット（11）を保持したアーム
（12）をＸ方向・Ｙ方向・Ｚ方向に微動させる微調整機
構（16）は、方形微の支持体（20）上に積載支持されて
いる。即ち、プローブ機構（10）は、支持体（20）上に
積載支持されている。又上記プローブ機構（10）は、被
測定体を測定するに際し、被測定体と相対的にＸ方向お
よびＹ方向に移動可能である。このプローブ機構（10）
の移動は、第１図に示すように構成されている。まず、
Ｘ方向軸とＹ方向軸とを連結する係合体（21）は、Ｙ方
向回転軸（22）を介して駆動機構であるモータ（23）に
連結しており、このモータ（23）を正逆方向に選択的に
回転させることにより、係合体（21）は、Ｙ方向回転軸
（22）上を累合作用で所望するＹ方向位置にスライド移
動する。又上記係合体（21）に連結しているＸ方向回転
軸（24）は、Ｙ方向回転軸（22）と直交する如く設置さ
れている。
上記Ｘ方向回転軸（24）は、駆動機構であるモータ（2
5）に連結し、XY駆動機構を構成している。又上記Ｘ方
向回転軸（24）には、上記プローブ機構（10）を保持し
た支持体（20）が連結して取付けられている。ここで上
記モータ（25）を正逆方向に選択的に回転させることに
より、支持体（21）は、Ｘ方向回転軸（24）上を累合作
用で所望するＸ方向位置にスライド移動する。即ち、プ
ローブ機構（10）は、Ｘ方向回転軸（24）に連結したモ
ータ（25）を動作させることにより、Ｘ方向にスライド
移動可能とし、又Ｙ方向回転軸（22）に連結したモータ
（23）を動作させることにより、Ｙ方向にスライド移動
可能とする。この時、プローブ機構（10）のプローブユ
ニット（11）の図示しない外部接続端子とテスタ（26）
とは配線（27）されていて、テスタ（26）とプローブ針
（14）は電気的に導通可能状態にある。
5）に連結し、XY駆動機構を構成している。又上記Ｘ方
向回転軸（24）には、上記プローブ機構（10）を保持し
た支持体（20）が連結して取付けられている。ここで上
記モータ（25）を正逆方向に選択的に回転させることに
より、支持体（21）は、Ｘ方向回転軸（24）上を累合作
用で所望するＸ方向位置にスライド移動する。即ち、プ
ローブ機構（10）は、Ｘ方向回転軸（24）に連結したモ
ータ（25）を動作させることにより、Ｘ方向にスライド
移動可能とし、又Ｙ方向回転軸（22）に連結したモータ
（23）を動作させることにより、Ｙ方向にスライド移動
可能とする。この時、プローブ機構（10）のプローブユ
ニット（11）の図示しない外部接続端子とテスタ（26）
とは配線（27）されていて、テスタ（26）とプローブ針
（14）は電気的に導通可能状態にある。
次に上記プローブ装置（１）で被測定体であるガラス基
板（２）に形成された液晶パネル（７）を測定する動作
作用を説明する。
板（２）に形成された液晶パネル（７）を測定する動作
作用を説明する。
まずガラス基板収納部（３）からガラス基板（２）を搬
送部（６）でアライメント部（４）を介して載置台
（８）に正確に位置決め載置する。次に、この位置決め
されたガラス基板（２）に形成された液晶パネル（７）
の電気特性の測定を実行する。この測定は、載置台
（８）が予め定められた位置に固定されているため、こ
の載置台（８）に載置されたガラス基板（２）の所定の
液晶パネル（７）の電極パッドの設定対向位置にプロー
ブ機構（10）のプローブ針（14）を設定する。このプロ
ーブ針（14）の設定は、モータ（23）（25）を夫々正逆
を選択的に回転させて回転軸（22）（24）上を係合体
（21）および支持体（20）をスライド移動させて、プロ
ーブ機構（10）をＸ方向・Ｙ方向に移動させることによ
り行なう。ここでプローブ針（14）と載置台（８）を上
下方向に相対的に移動例えば載置台（８）を上昇して、
各プローブ針（14）と液晶パネル（７）の各電極パッド
（９）に接続し、この接続状態でテスタ（26）により、
液晶パネル（７）の一部分の導通チェックを行なう。こ
の時電極パッド（９）が形成された辺の対向辺に形成さ
れたすべてショート状態の電極は図示しないグランド電
極に配線されている。導通チェック終了後載置台（８）
を下降させて、各プローブ針（14）と各電極パッド
（９）を非接続状態とする。次に、Ｘ方向回転軸（24）
に連結したモータ（25）を駆動して、プローブ機構（1
0）を予め定められた移動量だけＸ方向に直線状にスラ
イド移動する。即ち、プローブ機構のプローブ針（14）
数例えば30本に対応して、プローブ針（14）数と同数の
電極パッド（９）分例えば30電極パッド（９）分だけＸ
方向にプローブ機構（10）をスライド移動する。このよ
うなスライド移動後プローブ機構（10）により、上記同
様の測定を行なう。このような動作を繰返し、液晶パネ
ル（７）の電気特性試験を分割的に行なう。液晶パネル
（７）の電極パッド（９）が300電極でプローブ機構（1
0）のプローブ針（14）が30本の場合測定動作を10回に
分割することにより１つの液晶パネル（７）の測定を行
なうことができる。
送部（６）でアライメント部（４）を介して載置台
（８）に正確に位置決め載置する。次に、この位置決め
されたガラス基板（２）に形成された液晶パネル（７）
の電気特性の測定を実行する。この測定は、載置台
（８）が予め定められた位置に固定されているため、こ
の載置台（８）に載置されたガラス基板（２）の所定の
液晶パネル（７）の電極パッドの設定対向位置にプロー
ブ機構（10）のプローブ針（14）を設定する。このプロ
ーブ針（14）の設定は、モータ（23）（25）を夫々正逆
を選択的に回転させて回転軸（22）（24）上を係合体
（21）および支持体（20）をスライド移動させて、プロ
ーブ機構（10）をＸ方向・Ｙ方向に移動させることによ
り行なう。ここでプローブ針（14）と載置台（８）を上
下方向に相対的に移動例えば載置台（８）を上昇して、
各プローブ針（14）と液晶パネル（７）の各電極パッド
（９）に接続し、この接続状態でテスタ（26）により、
液晶パネル（７）の一部分の導通チェックを行なう。こ
の時電極パッド（９）が形成された辺の対向辺に形成さ
れたすべてショート状態の電極は図示しないグランド電
極に配線されている。導通チェック終了後載置台（８）
を下降させて、各プローブ針（14）と各電極パッド
（９）を非接続状態とする。次に、Ｘ方向回転軸（24）
に連結したモータ（25）を駆動して、プローブ機構（1
0）を予め定められた移動量だけＸ方向に直線状にスラ
イド移動する。即ち、プローブ機構のプローブ針（14）
数例えば30本に対応して、プローブ針（14）数と同数の
電極パッド（９）分例えば30電極パッド（９）分だけＸ
方向にプローブ機構（10）をスライド移動する。このよ
うなスライド移動後プローブ機構（10）により、上記同
様の測定を行なう。このような動作を繰返し、液晶パネ
ル（７）の電気特性試験を分割的に行なう。液晶パネル
（７）の電極パッド（９）が300電極でプローブ機構（1
0）のプローブ針（14）が30本の場合測定動作を10回に
分割することにより１つの液晶パネル（７）の測定を行
なうことができる。
上記のように、プローブ機構（10）をＸ方向に直線状に
移動して、液晶パネル（７）に直線状に設けられた電極
パッド（９）列方向に沿って、順次液晶パネル（７）の
電気特性試験例えば導通チェックを分割的に繰返し行な
い。又、ガラス基板（２）に設けられた他の液晶パネル
（７）を測定するには、プローブ機構（10）をＹ方向に
移動して行なう。上記のように構成したことにより、電
極パッドが多数形成された大型基板の上記各電極パッド
にプローブ針を正確に接続可能とし、なおかつプローブ
装置を大型化せずに対応可能とする。
移動して、液晶パネル（７）に直線状に設けられた電極
パッド（９）列方向に沿って、順次液晶パネル（７）の
電気特性試験例えば導通チェックを分割的に繰返し行な
い。又、ガラス基板（２）に設けられた他の液晶パネル
（７）を測定するには、プローブ機構（10）をＹ方向に
移動して行なう。上記のように構成したことにより、電
極パッドが多数形成された大型基板の上記各電極パッド
にプローブ針を正確に接続可能とし、なおかつプローブ
装置を大型化せずに対応可能とする。
この発明は、上記実施例に限定するものではなく夫々の
測定状況に応じた構成にすれば良い。例えば上記の実施
例においては、被測定体を自動搬送位置決めおよびプロ
ーブ機構の自動微調整，自動スライドをプローブ装置の
CPUで自動制御する装置であり、このプローブ装置は、
いわゆる量産品に対応している。又実験用などのプロー
ブ装置例えばマニュアルプローブにおいては、上記同様
のプローブ機構をスライド移動するに際し、プローブ機
構をスライドレール等のガイドレールに設置し、マニュ
アル操作により移動させても良い。さらに、このような
マニュアルプローブの場合、被測定体の収納部や搬送部
およびアライメント部を必要としないので量産品のプロ
ーブ装置に比べてかなり小型化が実現できる。
測定状況に応じた構成にすれば良い。例えば上記の実施
例においては、被測定体を自動搬送位置決めおよびプロ
ーブ機構の自動微調整，自動スライドをプローブ装置の
CPUで自動制御する装置であり、このプローブ装置は、
いわゆる量産品に対応している。又実験用などのプロー
ブ装置例えばマニュアルプローブにおいては、上記同様
のプローブ機構をスライド移動するに際し、プローブ機
構をスライドレール等のガイドレールに設置し、マニュ
アル操作により移動させても良い。さらに、このような
マニュアルプローブの場合、被測定体の収納部や搬送部
およびアライメント部を必要としないので量産品のプロ
ーブ装置に比べてかなり小型化が実現できる。
第１図は本発明の一実施例を説明するための測定動作説
明図、第２図は第１図のプローブ機構の拡大図、第３図
は第１図の測定におけるプローブ装置の図である。 １……プローブ装置、７……液晶パネル 10……プローブ機構、11……プローブユニット 16……微調整機構、20……支持体 22,24……回転軸、23,25……モータ
明図、第２図は第１図のプローブ機構の拡大図、第３図
は第１図の測定におけるプローブ装置の図である。 １……プローブ装置、７……液晶パネル 10……プローブ機構、11……プローブユニット 16……微調整機構、20……支持体 22,24……回転軸、23,25……モータ
Claims (1)
- 【請求項１】多数の電極を直線状に設けた被測定体を載
置する昇降自在な載置台と、この載置台の近傍にＸ方向
軸およびＹ方向軸を備え、前記載置台に対して支持体を
XY方向に駆動するXY駆動機構と、前記支持体に支持され
たXY方向およびＺ方向に微移動自在な微調整機構と、こ
の微調整機構に支持されたプローブユニットと、このプ
ローブユニットに設けられ前記被測定体の電極と同一ピ
ッチで直線状に配置され、前記多数の電極をその配列の
一端側から他端側に亘って複数組に分割し、分割された
各組の複数の電極毎に順次接触させることにより前記被
測定体の測定を行う複数のプローブ針とを具備したこと
を特徴とするプローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62231919A JPH0785196B2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62231919A JPH0785196B2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 | プローブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6473392A JPS6473392A (en) | 1989-03-17 |
| JPH0785196B2 true JPH0785196B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=16931115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62231919A Expired - Lifetime JPH0785196B2 (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 | プローブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785196B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3937692B2 (ja) * | 2000-06-15 | 2007-06-27 | セイコーエプソン株式会社 | アレイ基板の検査方法、アレイ基板の製造方法、アレイ基板及び電気光学装置 |
| CN117907793B (zh) * | 2023-11-14 | 2024-07-05 | 江苏金一辰电子科技有限公司 | 一种充电桩控制主板加工用主板测试装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59155769A (ja) * | 1983-02-25 | 1984-09-04 | Seiko Epson Corp | 電子デイバイスの検査装置 |
| JPS61181143A (ja) * | 1985-02-06 | 1986-08-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プロ−ブマニユピレ−タ |
-
1987
- 1987-09-14 JP JP62231919A patent/JPH0785196B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6473392A (en) | 1989-03-17 |
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