JPS6157867U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6157867U JPS6157867U JP14241584U JP14241584U JPS6157867U JP S6157867 U JPS6157867 U JP S6157867U JP 14241584 U JP14241584 U JP 14241584U JP 14241584 U JP14241584 U JP 14241584U JP S6157867 U JPS6157867 U JP S6157867U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- inspected
- probe needle
- card
- brought
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案プローブカードの斜視図、第２
図は第１図におけるＡ−Ａ′断面図、第３図、第
４図は電極パツドの配列状態を示す上面図である
。 １…プローブカード本体、２…取付部材、３，
３…樹脂コーテイング部、４，４…プローブ針、
６，６…導電線、９…金属板、１０，１０…螺子
。
図は第１図におけるＡ−Ａ′断面図、第３図、第
４図は電極パツドの配列状態を示す上面図である
。 １…プローブカード本体、２…取付部材、３，
３…樹脂コーテイング部、４，４…プローブ針、
６，６…導電線、９…金属板、１０，１０…螺子
。
Claims (1)
- カード本体と、この本体に取り付けられたプロ
ーグ針と、から成り、このカード本体を被検査物
に近接させることによりプローブ針をこの被検査
物の所定の箇所に接触せしめ、各プローブ針に所
定の電気信号を与えて被検査物の電気特性を計る
のに使用されるプローブカードにおいて、各プロ
ーブ針を複数のブロツク毎にまとめ、各ブロツク
毎にプローブ針と本体との位置調節を螺子機構に
よつて行い、カード本体と被検査物とを近接させ
たときプローブ針を被検査物に当接させるかさせ
ないかを上記ブロツク毎に設定することを特徴と
したプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14241584U JPS6157867U (ja) | 1984-09-20 | 1984-09-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14241584U JPS6157867U (ja) | 1984-09-20 | 1984-09-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6157867U true JPS6157867U (ja) | 1986-04-18 |
Family
ID=30700738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14241584U Pending JPS6157867U (ja) | 1984-09-20 | 1984-09-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6157867U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01121778A (ja) * | 1987-11-04 | 1989-05-15 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置及び液晶パネル用プローブ装置 |
| KR100471341B1 (ko) * | 1996-05-23 | 2005-07-21 | 제네시스 테크놀로지 가부시키가이샤 | 콘택트프로브및그것을구비한프로브장치 |
-
1984
- 1984-09-20 JP JP14241584U patent/JPS6157867U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01121778A (ja) * | 1987-11-04 | 1989-05-15 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置及び液晶パネル用プローブ装置 |
| KR100471341B1 (ko) * | 1996-05-23 | 2005-07-21 | 제네시스 테크놀로지 가부시키가이샤 | 콘택트프로브및그것을구비한프로브장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6157867U (ja) | ||
| JPS60183879U (ja) | 半導体試験装置の接触子 | |
| JPH01112480U (ja) | ||
| JPH032265U (ja) | ||
| JPS6070075U (ja) | 金属膜抵抗測定用電極 | |
| JPS6167556U (ja) | ||
| JPH0463133U (ja) | ||
| JPH0388104U (ja) | ||
| JPS6212802U (ja) | ||
| JPH0335408U (ja) | ||
| JPS58182180U (ja) | 心拍計付電子腕時計用計測アタツチメント | |
| JPS63142762U (ja) | ||
| JPS60152904U (ja) | ダイヤルゲ−ジホルダ | |
| JPH02133657U (ja) | ||
| JPH01104571U (ja) | ||
| JPH0233366U (ja) | ||
| JPS63142768U (ja) | ||
| JPS6434572U (ja) | ||
| JPH02109261U (ja) | ||
| JPS6246373U (ja) | ||
| JPS6197839U (ja) | ||
| JPS60183877U (ja) | Ｉｃハンドラの測定用ソケツト | |
| JPH0285368U (ja) | ||
| JPS6176367U (ja) | ||
| JPS6119770U (ja) | スプリングプロ−ブ |