JP2014228284A - 同軸プローブ保持機構および電気特性検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定面2aを有する保持台2と、固定面2a上に固定され同軸プローブ31を保持するプローブ保持部3と、固定面2a上に固定され、同軸プローブ32を保持するプローブ保持部4と、同軸プローブ31の外周のグランド導体31aと、同軸プローブ32の外周のグランド導体32aとを電気的に接続するグランド接続部材5とを備え、プローブ保持部3は、同軸プローブ31の先端に露出した信号線31bを、プリント配線板50に設けられた一対の配線52,53の端子52a,53aが並ぶ端子ピッチ方向に移動可能に構成され、プローブ保持部4は、同軸プローブ32の先端に露出した信号線32bを、プリント配線板50の厚さ方向の成分を有する方向に移動可能に構成されている。
【選択図】図1
Description
プリント配線板の電気特性を検査するための一対の同軸プローブを保持する同軸プローブ保持機構であって、
固定面を有する保持台と、
前記保持台の前記固定面上に固定され、第1の同軸プローブを保持する第1のプローブ保持部と、
前記保持台の前記固定面上に固定され、第2の同軸プローブを保持する第2のプローブ保持部と、
前記第1の同軸プローブの外周の第1のグランド導体と、前記第2の同軸プローブの外周の第2のグランド導体とを電気的に接続するグランド接続部材と、
を備え、
前記第1のプローブ保持部は、前記第1の同軸プローブの先端に露出した第1の信号線を、前記プリント配線板に設けられた一対の配線の端子が並ぶ端子ピッチ方向に移動可能に構成され、
前記第2のプローブ保持部は、前記第2の同軸プローブの先端に露出した第2の信号線を、前記プリント配線板の厚さ方向の成分を有する方向に移動可能に構成されている、
ことを特徴とする。
本発明の一実施形態に係る同軸プローブ保持機構1について、図1〜図4を参照して説明する。
次に、上述のプローブ保持機構1により保持された一対の同軸プローブ31,32を用いてプリント配線板50の電気特性を検査する電気特性検査装置について説明する。
2 保持台
2a 固定面
3,4 プローブ保持部
5 グランド接続部材
6,9 絶縁スペーサ
7,10 導電板
8,11 ブロック
8a,11a ガイド溝
8b スライド孔
8c バネ収納穴
9a 柱部
11b バネ収納穴
12 導電性接合材
13 保持台移動機構
13a,13b,13c リニアボールガイド
14 固定部材
15,17 ステージ
16 顕微鏡
18 固定ブロック
18a バネ収納穴
19 固定ネジ
20,21 可動ネジ
22,23 バネ
24 固定ネジ
31,32 同軸プローブ
31a,32a グランド導体
31b,32b 信号線
33 接続コネクタ
34,35 ケーブル
50 プリント配線板
51 基板
52,53 配線
52a,53a 端子
Claims (12)
- プリント配線板の電気特性を検査するための一対の同軸プローブを保持する同軸プローブ保持機構であって、
固定面を有する保持台と、
前記保持台の前記固定面上に固定され、第1の同軸プローブを保持する第1のプローブ保持部と、
前記保持台の前記固定面上に固定され、第2の同軸プローブを保持する第2のプローブ保持部と、
前記第1の同軸プローブの外周の第1のグランド導体と、前記第2の同軸プローブの外周の第2のグランド導体とを電気的に接続するグランド接続部材と、
を備え、
前記第1のプローブ保持部は、前記第1の同軸プローブの先端に露出した第1の信号線を、前記プリント配線板に設けられた一対の配線の端子が並ぶ端子ピッチ方向に移動可能に構成され、
前記第2のプローブ保持部は、前記第2の同軸プローブの先端に露出した第2の信号線を、前記プリント配線板の厚さ方向の成分を有する方向に移動可能に構成されている、
ことを特徴とする同軸プローブ保持機構。 - 前記第1のプローブ保持部は、
前記保持台の前記固定面上に固定され、絶縁性の材料からなる第1の絶縁スペーサと、
前記第1の絶縁スペーサ上に固定され、導電性の材料からなる第1の導電板と、
前記第1の導電板上を摺動可能に配置された第1のブロックと、
を有し、
前記第1のブロックの、前記第1の導電板との接触面には、前記第1の導電板とともに前記第1の同軸プローブを保持する保持空間を画成する第1のガイド溝が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の同軸プローブ保持機構。 - 前記第2のプローブ保持部は、
前記保持台の前記固定面上に固定され、絶縁性の材料からなる第2の絶縁スペーサと、
前記第2の絶縁スペーサ上に配置され、導電性の材料からなる第2の導電板と、
前記第2の導電板上に固定され、前記第2の導電板と一体になって前記保持台の前記固定面に対して垂直な方向に移動可能に配置された第2のブロックと、
を有し、
前記第2のブロックの、前記第2の導電板との接触面には、前記第2の導電板とともに前記第2の同軸プローブを保持する保持空間を画成する第2のガイド溝が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の同軸プローブ保持機構。 - 前記第1の同軸プローブが前記第1のガイド溝に収納された状態において前記第1の導電板は前記第1のグランド導体に接触し、前記第2の同軸プローブが前記第2のガイド溝に収納された状態において前記第2の導電板は前記第2のグランド導体に接触し、
前記グランド接続部材は、一端が前記第1の導電板に接続され、他端が前記第2の導電板に接続されていることを特徴とする請求項3に記載の同軸プローブ保持機構。 - 前記第1の導電板および前記第2の導電板はそれぞれ、前記第1の絶縁スペーサおよび前記第2の絶縁スペーサの端部から互いに向かい合うように突出しており、
前記グランド接続部材は弾性部材からなり、前記弾性部材の一端は、前記第1の導電板が前記第1の絶縁スペーサの端部から突出した部分に導電性接合材により固定され、前記弾性部材の他端は、前記第2の金属板が前記第2の絶縁スペーサの端部から突出した部分を押圧することを特徴とする請求項4に記載の同軸プローブ保持機構。 - 前記プリント配線板の前記一対の配線の端子と、前記第1および第2の同軸プローブとの接触領域を拡大観察するための顕微鏡をさらに備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の同軸プローブ保持機構。
- 前記グランド接続部材は、前記第1および第2の信号線が前記保持台から突出する、前記保持台の端部付近に設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の同軸プローブ保持機構。
- 前記プリント配線板は水平面内に配置され、前記保持台の前記固定面は水平面に対して所定の角度で交わる斜面であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の同軸プローブ保持機構。
- 前記端子ピッチ方向、水平面内にあり前記端子ピッチ方向に直交する方向および水平面に直交する方向のうち少なくともいずれかの方向に、前記保持台を移動可能に構成された保持台移動機構をさらに備えることを特徴とする請求項8に記載の同軸プローブ保持機構。
- 請求項1〜9のいずれかに記載された同軸プローブ保持機構により保持された前記第1および第2の同軸プローブを用いて、前記プリント配線板の電気特性を検査することを特徴とする電気特性検査装置。
- 前記プリント配線板に設けられた前記一対の配線の一方の端子に前記第1の信号線を接触させ、他方の端子に前記第2の信号線を接触させ、TDR測定装置は、前記第1の信号線に第1のパルス信号を出力し、前記第2の信号線に前記第1のパルス信号と逆相の第2のパルス信号を出力し、前記第1および第2のパルス信号の反射波を測定することにより、前記一対の配線の特性インピーダンスを検査することを特徴とする請求項10に記載の電気特性検査装置。
- 前記同軸プローブ保持機構を複数組備え、前記プリント配線板に設けられた回路網のSパラメータを検査することを特徴とする請求項10に記載の電気特性検査装置。
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Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5821879U (ja) * | 1981-08-05 | 1983-02-10 | 日本電気株式会社 | 電子回路試験装置 |
JPS6183966A (ja) * | 1984-10-01 | 1986-04-28 | Olympus Optical Co Ltd | 電子回路基板の検査装置 |
JPS63129869U (ja) * | 1987-02-18 | 1988-08-24 | ||
JPH04188080A (ja) * | 1990-11-21 | 1992-07-06 | Mitsubishi Electric Corp | 同軸プローブニードル |
JPH06258344A (ja) * | 1993-03-05 | 1994-09-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | プローブを用いた高周波測定方法及び高周波プローバ |
JP2002357630A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-13 | Hioki Ee Corp | プローブ装置および回路基板検査装置 |
JP2003004766A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-01-08 | Seiko Epson Corp | プローブ支持体及びプローブユニット |
JP2006329993A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Tektronix Inc | 差動測定プローブ |
JP2006329992A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Tektronix Inc | 差動測定プローブ |
JP2008267077A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Murakoshi Mfg Corp | 軸受装置 |
JP2009103625A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Fujitsu Ltd | プローブ装置 |
JP2010078596A (ja) * | 2008-09-23 | 2010-04-08 | Tektronix Inc | プローブ・アセンブリ |
JP2012132777A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Fujitsu Ltd | プローブ装置及びプローブ測定方法 |
-
2013
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5821879U (ja) * | 1981-08-05 | 1983-02-10 | 日本電気株式会社 | 電子回路試験装置 |
JPS6183966A (ja) * | 1984-10-01 | 1986-04-28 | Olympus Optical Co Ltd | 電子回路基板の検査装置 |
JPS63129869U (ja) * | 1987-02-18 | 1988-08-24 | ||
JPH04188080A (ja) * | 1990-11-21 | 1992-07-06 | Mitsubishi Electric Corp | 同軸プローブニードル |
JPH06258344A (ja) * | 1993-03-05 | 1994-09-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | プローブを用いた高周波測定方法及び高周波プローバ |
JP2002357630A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-13 | Hioki Ee Corp | プローブ装置および回路基板検査装置 |
JP2003004766A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-01-08 | Seiko Epson Corp | プローブ支持体及びプローブユニット |
JP2006329993A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Tektronix Inc | 差動測定プローブ |
JP2006329992A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Tektronix Inc | 差動測定プローブ |
JP2008267077A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Murakoshi Mfg Corp | 軸受装置 |
JP2009103625A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Fujitsu Ltd | プローブ装置 |
JP2010078596A (ja) * | 2008-09-23 | 2010-04-08 | Tektronix Inc | プローブ・アセンブリ |
JP2012132777A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Fujitsu Ltd | プローブ装置及びプローブ測定方法 |
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