TWI569017B - Coaxial probe holding mechanism and electrical characteristics check device - Google Patents

Description

同軸探針保持機構及電氣特性檢查裝置

本發明係有關同軸探針保持機構及電氣特性檢査裝置。更詳細地說，本發明係有關將用來檢查印刷配線板的電氣特性之一對同軸探針予以保持之同軸探針保持機構、及利用被該同軸探針保持機構保持之一對同軸探針來檢查印刷配線板的電氣特性之電氣特性檢査裝置。

近年用於小型且高機能的電子機器之印刷配線板中，由提升傳送速度及抗噪訊性等觀點看來，會利用差動傳送線路來傳送數位訊號。因此，對於印刷配線板，會要求檢查差動傳送線路的特性阻抗(以下亦簡稱為「差動阻抗」)。舉例來說，在提升了傳送速度之新規格USB3.0中，便訂定了差動阻抗的值(90Ω)。

差動阻抗的測定，係使連接至時間區域反射(Time Domain Reflectometry)測定裝置等之一對探針接觸差動傳送線路來進行。

專利文獻1中記載一種差動探針，作為用來測定差動阻抗之差動探針，具備在基板上以一定間隔設置 之訊號線及接地線。

此外，專利文獻2中記載一種差動探針，具備2個同軸探針，並設置將各者的外部屏蔽導體予以互相電性連接之接地夾(ground clip)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2011-196821號公報

[專利文獻2]日本特開2006-329993號公報

專利文獻1記載之差動探針的端子間距為固定，因此必須對每種端子間距不同之印刷配線板準備差動探針。一般而言這類差動探針昂貴，故準備之差動探針的種類增加，會造成印刷配線板的檢査成本增加。

就這一點，依照專利文獻2記載之差動探針，係能變更端子間距，因此不必對每種端子間距不同之印刷配線板準備探針。

然而，近年來電子機器中為了輕量、薄型化而使用撓性印刷配線板之情形逐漸增加。在這樣的情形下，由於印刷配線板的撓曲等，差動傳送線路的端子高度可能會彼此不同。而多層印刷配線板的情形下，端子的正下方是否存在內層配線，也會使端子高度變化。像這樣差 動傳送線路的端子高度彼此不同的結果，可能會無法使2個探針同時分別接觸一對端子。

此外，依照專利文獻2的差動探針，當同軸 探針破損的情形下，不容易僅更換破損的同軸探針。因此，可能因破損的同軸探針的更換作業，而增加印刷配線板的檢査成本。

本發明係依據上述技術性認知而研發，目的 在於提供一種能夠構成電氣特性檢査裝置而可對於端子間距或端子高度不同的印刷配線板測定電氣特性之同軸探針保持機構、及電氣特性檢査裝置。

依本發明一個態樣之同軸探針保持機構，為將用來檢查印刷配線板的電氣特性之一對同軸探針予以保持之同軸探針保持機構，其特徵為，具備：保持台，具有固定面；第1探針保持部，被固定於前述保持台的前述固定面上，保持第1同軸探針；第2探針保持部，被固定於前述保持台的前述固定面上，保持第2同軸探針；接地連接構件，將前述第1同軸探針的外周的第1接地導體、與前述第2同軸探針的外周的第2接地導體予以電性連接；前述第1探針保持部構成為，可使在前述第1同軸探 針的先端露出之第1訊號線，朝設於前述印刷配線板之一對配線的端子所並排之端子間距方向移動，前述第2探針保持部構成為，可使在前述第2同軸探針的先端露出的第2訊號線，朝具有前述印刷配線板的厚度方向成分之方向移動。

本發明之同軸探針保持機構中，第1探針保持部構成為，可使在第1同軸探針的先端露出之第1訊號線，朝設於印刷配線板之一對配線的端子所並排之端子間距方向移動，且第2探針保持部構成為，可使在第2同軸探針的先端露出的第2訊號線，朝具有印刷配線板的厚度方向成分之方向移動。

如此一來，即使是端子間距不同的印刷配線板，藉由使第1同軸探針的第1訊號線朝端子間距方向移動，仍能使第1及第2訊號線分別接觸一對配線的端子。

此外，即使是一對配線的端子的高度不同之印刷配線板的情形下，藉由使第2同軸探針的第2訊號線朝具有印刷配線板的厚度方向成分之方向移動，仍能使第1及第2訊號線分別接觸一對配線的端子。

故，按照本發明，能夠構成電氣特性檢査裝置而可對於端子間距或端子高度不同的印刷配線板測定其電氣特性。

1‧‧‧同軸探針保持機構

2‧‧‧保持台

2a‧‧‧固定面

3、4‧‧‧探針保持部

5‧‧‧接地連接構件

6、9‧‧‧絕緣間隔材

7、10‧‧‧導電板

8、11‧‧‧墊塊

8a、11a‧‧‧導引溝

8b‧‧‧滑孔

8c‧‧‧彈簧收納孔

9a‧‧‧柱部

11b‧‧‧彈簧收納孔

12‧‧‧導電性接合材

13‧‧‧保持台移動機構

13a、13b、13c‧‧‧線性滾珠導軌

14‧‧‧固定構件

15、17‧‧‧平台

16‧‧‧顯微鏡

18‧‧‧固定墊塊

18a‧‧‧彈簧收納孔

19‧‧‧固定螺絲

20、21‧‧‧可動螺絲

22、23‧‧‧彈簧

24‧‧‧固定螺絲

31、32‧‧‧同軸探針

31a、32a‧‧‧接地導體

31b、32b‧‧‧訊號線

33‧‧‧連接器

34、35‧‧‧纜線

50‧‧‧印刷配線板

51‧‧‧基板

52、53‧‧‧配線

52a、53a‧‧‧端子

[圖1]本發明一實施形態之同軸探針保持機構的俯視圖。

[圖2]本發明一實施形態之同軸探針保持機構的側面圖。

[圖3]圖1的A部的擴大俯視圖。

[圖4]圖1的A部的擴大正面圖。

[圖5]使同軸探針朝端子間距方向移動時之，圖1的A部的擴大正面圖。

[圖6]使同軸探針朝相對於保持台的固定面而言垂直的方向移動時之，圖1的A部的擴大正面圖。

[圖7]使用了本發明之同軸探針保持機構的電氣特性檢査裝置的概略構成圖。

[圖8](a)為同軸探針與接地連接構件之位置關係示意平面圖、(b)為藉由TDR測定裝置測定出的反射波波形示意圖。

以下參照圖面，說明本發明之實施形態。另，各圖中針對具有同等功能之構成要素係標注同一符號，並不再重覆詳細說明同一符號的構成要素。

(探針保持機構)

參照圖1~圖4，說明本發明一實施形態之同軸探針保持機構1。

圖1為同軸探針保持機構1及固定於平台17上之印刷配線板50的俯視圖。另，圖1中省略了顯微鏡16。圖2為同軸探針保持機構1及印刷配線板50的側面圖。圖3為將圖1的A部予以擴大之同軸探針保持機構1的俯視圖。圖4為將圖1的A部予以擴大之同軸探針保持機構1的正面圖。

同軸探針保持機構1，為將用來檢查印刷配線板50的電氣特性之一對同軸探針31、32予以保持之同軸探針保持機構。

該同軸探針保持機構1，如圖1及圖2所示，具備：保持台2、探針保持部3、探針保持部4、接地連接構件5、保持台移動機構13、固定構件14、平台15、顯微鏡16。

同軸探針31、32，如圖3所示，在訊號線31b、32b的周圍隔著介電體而設有接地導體(屏蔽導體)31a、32a。在同軸探針31、32的先端，訊號線31b、32b係露出。

同軸探針31、32，如圖3所示，分別被探針保持部3、4保持而形成八字形，構成差動探針。

另，較佳是，同軸探針31、32如圖3所示，被保持成接地導體31a、32a的端部與導電板7、10的端 部於俯視時重疊。

同軸探針31、32的末端，如圖1所示，透過 連接器33連接至纜線34、35。纜線34、35，為連接至TDR測定裝置等測定裝置之纜線。

印刷配線板50，係作為檢査對象之印刷配線 板，如圖1所示，藉由真空吸附等被固定於平台17上，配置於水平面內。

該印刷配線板50，例如為具有由聚醯亞胺等 可撓性材料所構成的基板51之撓性印刷配線板。

在印刷配線板50的基板51上，如圖1所 示，設有一對配線52、53。該一對配線52、53，寬度或長度等尺寸係相同，構成差動傳送線路。此外，在一對配線52、53的端部，設有端子52a、53a。端子52a、53a間的間距，例如為0.35mm~0.5mm左右的狹窄間距。另，未必一定要於配線52、53設置端子52a、53a。

以下，詳細說明同軸探針保持機構1的各構 成要素。

保持台2，如圖2所示，具有固定面2a，透 過磁鐵式裝卸用基座等而設置於平台15上。在該固定面2a上固定著探針保持部3、4。固定面2a，如圖2所示，為相對於水平面以規定角度相交之斜面。該角度，由訊號線31b、32b與端子52a、53a之接觸性、及以顯微鏡16從上方觀察之容易性的觀點看來，較佳為30°~60°(更佳為約45°)。

如圖1所示，同軸探針31、32，藉由固定構 件14被保持於固定面2a上。在該固定構件14，設有和同軸探針31、32的直徑相應寬度的溝。固定構件14，在將同軸探針31、32容納於溝中的狀態下被固定於固定面2a上。

另，保持台2，較佳是由高剛性材料(例如鋁 等金屬)所構成。如此一來，使同軸探針31、32的先端接觸印刷配線板50的端子52a、53a後，便能保持其位置。

此外，當保持台2是由導電性材料所構成的 情形下，為了防止同軸探針31、32外周的接地導體31a、32a與保持台2電性連接，保持台2的固定面2a會被絕緣膜(未圖示)被覆。

此外，如圖1及圖2所示，探針保持機構1 亦可具備保持台移動機構13。該保持台移動機構13具有：用來使保持台2於X方向可動之線性滾珠導軌(linear ball guide)13a、及用來使保持台2於Y方向可動之線性滾珠導軌13b、及用來使保持台2於Z方向可動之線性滾珠導軌13c。

如此一來，保持台移動機構13，便能夠使保 持台2朝端子間距方向(X方向)、位於水平面內且和端子間距方向正交之方向(Y方向)及和水平面正交之方向(Z方向)移動。

另，保持台移動機構13，亦可設計成構成為 使保持台2可朝X方向、Y方向及Z方向的至少其中一個方向移動。

探針保持部3，如圖1及圖2所示，被固定於保持台2的固定面2a上，保持同軸探針31。

該探針保持部3，係構成為可使在同軸探針31先端露出的訊號線31b，朝一對配線52、53的端子52a、53a並排之端子間距方向(圖3中水平方向)移動。

探針保持部4，如圖1及圖2所示，被固定於保持台2的固定面2a上，保持同軸探針32。

該探針保持部4，係構成為可使在同軸探針32先端露出的訊號線32b，朝具有印刷配線板50的厚度方向成分之方向移動。

接地連接構件5，如圖3及圖4所示，係與同軸探針31外周的接地導體31a、及同軸探針32外周的接地導體32a電性連接。

顯微鏡16，如圖2所示，設於同軸探針保持機構1的上方。該顯微鏡16，為用來將一對配線52、53的端子52a、53a與同軸探針31、32的訊號線31b、32b之接觸區域予以放大觀察之顯微鏡。

接著，參照圖3及圖4，詳細說明探針保持部3、4的構成。

探針保持部3，具有絕緣間隔材(spacer)6、導電板7、墊塊(block)8、固定墊塊18、固定螺絲19、可動螺絲20、彈簧22。

絕緣間隔材6，為用來防止導電板7與保持台 2電性連接之間隔材。該絕緣間隔材6，由絕緣性材料(樹脂等)所構成，在保持台2的固定面2a上藉由螺固等而被固定。

導電板7，由導電性材料(鋁等)所構成，藉 由固定螺絲19被固定於絕緣間隔材6上。固定螺絲19，被插入至形成於墊塊8之貫通孔(滑孔8b)及形成於導電板7之貫通孔，而與形成於絕緣間隔材6之螺絲孔螺合。在鎖緊固定螺絲19的狀態下，導電板7被絕緣間隔材6與墊塊8夾持而固定，同軸探針31的接地導體31a與導電板7接觸。

此外，導電板7，如圖4所示，從絕緣間隔材 6的右端突出，在該突出的部分連接有接地連接構件5。

固定墊塊18，在保持台2的固定面2a，藉由 螺固等而被固定。此外，在固定墊塊18，設有彈簧收納孔18a。

墊塊8，配置成可在導電板7上朝端子間距方 向滑動(slide)。

墊塊8，透過彈簧22及可動螺絲20，而與固 定墊塊18連接。彈簧22，一方被收納於形成於墊塊8之彈簧收納孔8c，另一方被收納於固定墊塊18的彈簧收納孔18a。

此外，如圖4所示，在墊塊8的與導電板7 之接觸面，設有導引溝8a。該導引溝8a，與導電板7共 同定義出保持同軸探針31之保持空間。換言之，導電板7覆蓋墊塊8的導引溝8a，藉此形成保持空間。

在固定螺絲19被鎖緊，同軸探針31被收納於導引溝8a的狀態下，導電板7與接地導體31a接觸。亦即，導電板7與接地導體31a電性連接。

欲使墊塊8滑動，將固定螺絲19鬆開後，旋轉可動螺絲20。一旦鬆開可動螺絲20，藉由彈簧22的回復力，墊塊8會朝圖3中左側滑動。其結果，被收納於導引溝8a之同軸探針31的訊號線31b，會朝遠離訊號線32b之方向移動。

另一方面，若鎖緊可動螺絲20，則墊塊8會朝圖3中右側滑動。其結果，訊號線31b會朝接近訊號線32b之方向移動。

圖5為使同軸探針31朝端子間距方向移動時之，圖1的A部的擴大正面圖。如圖5所示，被收納於導引溝8a之同軸探針31，配合墊塊8的滑動而朝端子間距方向移動。

如上述這樣使同軸探針31的訊號線31b移動至所需位置後，鎖緊固定螺絲19以固定訊號線31b的位置。

接著，說明探針保持部4的詳細構成。

探針保持部4，具有絕緣間隔材9、導電板10、墊塊11、可動螺絲21、彈簧23。

絕緣間隔材9，為用來防止導電板10與保持 台2電性連接之間隔材。該絕緣間隔材9，由絕緣性材料(樹脂等)所構成，在保持台2的固定面2a上藉由螺固等而被固定。絕緣間隔材9，如圖4所示，和絕緣間隔材6鄰接設置。

此外，如圖3所示，在絕緣間隔材9的上面 凸設有柱部9a。該柱部9a，被插入至形成於導電板10之貫通孔，與墊塊11卡合。

導電板10，由導電性材料(鋁等)所構成， 配置於絕緣間隔材9上。

此外，導電板10，如圖4所示，從絕緣間隔材9的左端突出。像這樣，導電板7及導電板10各自從絕緣間隔材6及絕緣間隔材9的端部以彼此相向的方式突出。

如圖4所示，在導電板10的突出的部分，連接有接地連接構件5。

墊塊11，藉由固定螺絲24而被固定於導電板10上。墊塊11，係配置成和導電板10成為一體，可朝相對於保持台2的固定面2a垂直之方向移動。

如圖4所示，在墊塊11的與導電板10之接觸面，設有導引溝11a。該導引溝11a，與導電板10共同定義出保持同軸探針32之保持空間。換言之，導電板10覆蓋墊塊11的導引溝11a，藉此形成保持空間。

此外，導引溝11a，設置成和導引溝8a共同形成八字形。或是，導引溝11a亦可設置成和導引溝8a 呈略平行。

在同軸探針31被收納於導引溝11a的狀態 下，導電板10與接地導體32a接觸。亦即，導電板10與接地導體32a電性連接。

彈簧23，在設於導電板10之貫通孔及與該貫 通孔連通之彈簧收納孔11b內，以柱部9a被插入至彈簧23內的狀態收納。

欲使導電板10及墊塊11移動，則旋轉可動 螺絲21。亦即，一旦鬆開可動螺絲21，藉由彈簧23的回復力，導電板10及墊塊11會朝圖3中上側移動。其結果，被收納於導引溝11a之同軸探針32的訊號線32b，會朝遠離固定面2a之方向移動。

另一方面，若鎖緊可動螺絲21，則導電板10 及墊塊11會朝圖3中下側移動。其結果，訊號線32b會朝接近固定面2a之方向移動。

圖6為使同軸探針32朝相對於固定面2a而 言垂直的方向移動時之，圖1的A部的擴大正面圖。如圖6所示，被收納於導引溝11a之同軸探針32，配合導電板10及墊塊11的移動而朝相對於固定面2a而言垂直的方向移動。

接著，說明接地連接構件5的詳細構成。

接地連接構件5，由彈性構件(板彈簧等)所構成。又，如圖4所示，彈性構件的一端，藉由導電性接合材(銲料等)12而被固定於導電板7從絕緣間隔材6 的端部突出之部分。此外，彈性構件的另一端，推壓金屬板10從絕緣間隔材9的端部突出之部分。如此一來，即使導電板10及墊塊11朝相對於固定面2a而言垂直的方向移動的情形下，仍能維持導電板7與導電板10之電性連接。

另，接地連接構件5的另一端，如圖4所 示，為了減低接觸電阻，較佳是與導電板10以平面接觸。

此外，接地連接構件5，由減低接觸電阻及防 鏽的觀點看來，較佳為在銅等所構成之金屬板的表面施以金鍍覆。

另，接地連接構件5，如圖3所示，較佳是設 於訊號線31b、32b從保持台2突出之，保持台2的端部附近。舉例來說，接地連接構件5，較佳是設於從同軸探針31、32的接地導體31a、32a的端部起算1mm以內之位置。

像這樣讓將同軸探針31、32的接地導體 31a、32a彼此電性連接之接地連接構件5的位置，接近同軸探針31、32與印刷配線板50之接觸位置，藉此，能夠使藉由TDR測定而得到之波形的尖波(spike，參照圖8後文說明之)減小。其結果，能夠正確且容易地讀取印刷配線板50的特性阻抗(一對配線52、53的差動阻抗)之值。

按照以上說明之本實施形態之探針保持機 構，在一對同軸探針31、32的接地導體31a、32a藉由接地連接構件5而電性連接的狀態下，同軸探針31的訊號線31b可朝端子間距方向移動，同軸探針32的訊號線32b能夠朝相對於保持台2的固定面2a而言垂直的方向移動。

故，即使是端子間距不同的印刷配線板，藉 由使同軸探針31的訊號線31b朝端子間距方向移動，仍能使訊號線31b、32b分別接觸端子52a、53a。

此外，即使印刷配線板50的端子52a、53a 的高度不同的情形下，藉由使同軸探針32的訊號線32b朝具有印刷配線板50的厚度方向成分之方向移動，仍能使訊號線31b、32b追蹤端子52a、53a的高低差而分別接觸端子52a、53a。

故，按照本實施形態之探針保持機構，能夠 構成電氣特性檢査裝置而可對於端子間距或端子高度不同的印刷配線板測定其電氣特性。

又，按照本實施形態之同軸探針保持機構， 能夠使用相對價廉的同軸探針31、32來作為測定探針，且當同軸探針破損的情形下能夠容易地僅更換該同軸探針。其結果，能夠抑制印刷配線板的檢査成本。

此外，本實施形態之同軸探針保持機構中， 藉由具備顯微鏡16，能夠將同軸探針31、32與端子52a、53a之接觸區域予以擴大觀察。因此，即使端子52a、53a為微細的情形下，仍能使訊號線31b、32b容易 地接觸端子52a、53a。其結果，即使端子為微細的情形下，仍能測定印刷配線板的電氣特性。

(電氣特性檢査裝置)

接著，說明利用被上述探針保持機構1保持之一對同軸探針31、32，來檢查印刷配線板50的電氣特性之電氣特性檢査裝置。

圖7(a)，(b)皆揭示本發明一實施形態 之電氣特性檢査裝置的概略構成圖。圖7(a)揭示藉由TDR測定裝置測定一對配線52、53的差動阻抗之電氣特性檢査裝置。圖7(b)揭示藉由網路分析器(network analyzer)測定一對配線52、53的S參數之電氣特性檢査裝置。

圖7(a)所示電氣特性檢査裝置中，同軸探 針31、32被同軸探針保持機構1保持，與同軸探針31、32的末端連接之纜線34、35，係連接至TDR測定裝置。

以該電氣特性檢査裝置進行特性阻抗的測定 方法之一例，如下所述。

首先，以顯微鏡16一面進行觀察，一面旋轉 保持台移動機構13的線性滾珠導軌13a、13b來調整保持台2的XY面內的位置，使同軸探針31、32的先端接近端子52a、53a。

當達到能夠以顯微鏡16觀察同軸探針31、32 的先端與端子52a、53a的狀態後，旋轉可動螺絲20使訊 號線31b朝端子間距方向移動，藉此使訊號線31b、32b的間距符合端子52a、53a的間距。

接著，旋轉保持台移動機構13的線性滾珠導 軌13c使保持台2朝Z方向移動，使訊號線31b、32b分別接觸端子52a、53a。

如果端子52a、53a的高度不同導致訊號線 31b、32b無法同時接觸端子52a、53a的情形下，旋轉可動螺絲21使訊號線32b朝具有印刷配線板50的厚度方向成分之方向移動，藉此使訊號線31b、32b的高低差符合端子52a、53a的高低差。

如上述這樣，使同軸探針31的訊號線31b接 觸端子52a，且使同軸探針32的訊號線32b接觸端子53a。

接著，TDR測定裝置對訊號線31b輸出第1 脈衝訊號，對訊號線32b輸出和第1脈衝訊號反相之第2脈衝訊號。然後，TDR測定裝置測定第1脈衝訊號及第2脈衝訊號的反射波，藉此檢查一對配線52、53的差動阻抗。

圖8(b)揭示藉由TDR測定裝置測定出的反 射波的波形。如圖8(a)所示，接地連接構件5設於從同軸探針31、32的接地導體31a、32a的端部起算1mm之位置，因此反射波的波形的尖波(圖8(b)中箭頭所指部分)相對較小。

圖7(b)所示電氣特性檢査裝置，具備2組 同軸探針保持機構1。又，2組同軸探針31、32被各自的同軸探針保持機構1保持，與同軸探針31、32連接之纜線34、35，係連接至網路分析器。藉由這樣的構成，便能測定設於印刷配線板50之電路網的S參數。

另，亦可設計成具備3組以上的同軸探針保 持機構1，來測定n端子對電路網(n為3以上的整數)的S參數。

凡為所屬技術領域者，依據上述記載或可思及本發明之追加效果或各種變形，但本發明之態樣並不限定於上述實施形態。在不脫離由申請專利範圍規定之內容及其均等範圍所推導出之本發明的概念性思想與要旨的範圍內，可做各種追加、變更及部分刪除。

1‧‧‧同軸探針保持機構

2‧‧‧保持台

3、4‧‧‧探針保持部

13‧‧‧保持台移動機構

13a、13b、13c‧‧‧線性滾珠導軌

14‧‧‧固定構件

15、17‧‧‧平台

31、32‧‧‧同軸探針

33‧‧‧連接器

34、35‧‧‧纜線

50‧‧‧印刷配線板

51‧‧‧基板

52、53‧‧‧配線

52a、53a‧‧‧端子

Claims (11)

1. 一種同軸探針保持機構，為將用來檢查印刷配線板的電氣特性之一對同軸探針予以保持之同軸探針保持機構，其特徵為，具備：保持台，具有固定面；第1探針保持部，被固定於前述保持台的前述固定面上，保持第1同軸探針；第2探針保持部，被固定於前述保持台的前述固定面上，保持第2同軸探針；接地連接構件，將前述第1同軸探針的外周的第1接地導體、與前述第2同軸探針的外周的第2接地導體予以電性連接；前述第1探針保持部構成為，可使在前述第1同軸探針的先端露出之第1訊號線，朝設於前述印刷配線板之一對配線的端子所並排之端子間距方向移動，前述第2探針保持部構成為，可使在前述第2同軸探針的先端露出的第2訊號線，朝具有前述印刷配線板的厚度方向成分之方向移動，前述第1探針保持部，具有：第1絕緣間隔材，被固定於前述保持台的前述固定面上，由絕緣性材料所構成；第1導電板，被固定於前述第1絕緣間隔材上，由導電性材料所構成；第1墊塊，配置成可在前述第1導電板上滑動； 在前述第1墊塊的與前述第1導電板之接觸面，設有第1導引溝，其和前述第1導電板共同定義出保持前述第1同軸探針之保持空間。
2. 如申請專利範圍第1項所述之同軸探針保持機構，其中，前述第2探針保持部，具有：第2絕緣間隔材，被固定於前述保持台的前述固定面上，由絕緣性材料所構成；第2導電板，被配置於前述第2絕緣間隔材上，由導電性材料所構成；第2墊塊，被固定於前述第2導電板上，和前述第2導電板成為一體，配置成可朝相對於前述保持台的前述固定面而言垂直之方向移動；在前述第2墊塊的與前述第2導電板之接觸面，設有第2導引溝，其和前述第2導電板共同定義出保持前述第2同軸探針之保持空間。
3. 如申請專利範圍第2項所述之同軸探針保持機構，其中，在前述第1同軸探針被收納於前述第1導引溝的狀態下，前述第1導電板與前述第1接地導體接觸，在前述第2同軸探針被收納於前述第2導引溝的狀態下，前述第2導電板與前述第2接地導體接觸，前述接地連接構件，一端與前述第1導電板連接，另一端與前述第2導電板連接。
4. 如申請專利範圍第3項所述之同軸探針保持機構，其中，前述第1導電板及前述第2導電板各自從前述第1 絕緣間隔材及前述第2絕緣間隔材的端部以彼此相向的方式突出，前述接地連接構件由彈性構件所構成，前述彈性構件的一端，藉由導電性接合材而被固定於前述第1導電板從前述第1絕緣間隔材的端部突出之部分，前述彈性構件的另一端，推壓前述第2導電板從前述第2絕緣間隔材的端部突出之部分。
5. 如申請專利範圍第1項所述之同軸探針保持機構，其中，更具備顯微鏡，用來將前述印刷配線板的前述一對配線的端子與前述第1及第2同軸探針之接觸區域予以擴大觀察。
6. 如申請專利範圍第1項所述之同軸探針保持機構，其中，前述接地連接構件，設於前述第1及第2訊號線從前述保持台突出之，前述保持台的端部附近。
7. 如申請專利範圍第1項所述之同軸探針保持機構，其中，前述印刷配線板配置於水平面內，前述保持台的前述固定面為相對於水平面而言以規定角度相交之斜面。
8. 如申請專利範圍第7項所述之同軸探針保持機構，其中，更具備保持台移動機構，其構成為可使前述保持台朝前述端子間距方向、位於水平面內而與前述端子間距方向正交之方向、及與水平面正交之方向當中的至少其中一個方向移動。
9. 一種電氣特性檢査裝置，其特徵為：利用被申請專利範圍第1~8項任一項所述之同軸探針保持機構保持之 前述第1及第2同軸探針，檢查前述印刷配線板的電氣特性。
10. 如申請專利範圍第9項所述之電氣特性檢査裝置，其中，使前述第1訊號線接觸設於前述印刷配線板之前述一對配線的一方的端子，使前述第2訊號線接觸另一方的端子，TDR測定裝置係對前述第1訊號線輸出第1脈衝訊號，對前述第2訊號線輸出和前述第1脈衝訊號反相之第2脈衝訊號，並測定前述第1及第2脈衝訊號的反射波，藉此檢查前述一對配線的特性阻抗。
11. 如申請專利範圍第9項所述之電氣特性檢査裝置，其中，具備複數組前述同軸探針保持機構，檢查設於前述印刷配線板之電路網的S參數。