JPH0259476U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0259476U JPH0259476U JP13788188U JP13788188U JPH0259476U JP H0259476 U JPH0259476 U JP H0259476U JP 13788188 U JP13788188 U JP 13788188U JP 13788188 U JP13788188 U JP 13788188U JP H0259476 U JPH0259476 U JP H0259476U
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- JP
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- measuring device
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す回路図、第２
図は一実施例の測定シーケンス図、第３図は従来
の測定方法を示す回路図、第４図は従来の測定シ
ーケンス図である。 １……試料、２．１〜２．４……テスタ、３．
１〜３．４……マルチプレクサ部、４……ハンド
ラステーシヨン部。
図は一実施例の測定シーケンス図、第３図は従来
の測定方法を示す回路図、第４図は従来の測定シ
ーケンス図である。 １……試料、２．１〜２．４……テスタ、３．
１〜３．４……マルチプレクサ部、４……ハンド
ラステーシヨン部。
Claims (1)
- 半導体素子の電気的特性を測定する半導体特性
測定装置において、各測定項目毎に分離独立した
測定装置とその装置類を並列に動作させるマルチ
プレクサ部により構成したことを特徴とする半導
体特性装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13788188U JPH0259476U (ja) | 1988-10-21 | 1988-10-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13788188U JPH0259476U (ja) | 1988-10-21 | 1988-10-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0259476U true JPH0259476U (ja) | 1990-05-01 |
Family
ID=31399712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13788188U Pending JPH0259476U (ja) | 1988-10-21 | 1988-10-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0259476U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009515186A (ja) * | 2005-11-08 | 2009-04-09 | クウォリタウ・インコーポレーテッド | 自動半導体ウエハ試験のための半自動多重化システム |
-
1988
- 1988-10-21 JP JP13788188U patent/JPH0259476U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009515186A (ja) * | 2005-11-08 | 2009-04-09 | クウォリタウ・インコーポレーテッド | 自動半導体ウエハ試験のための半自動多重化システム |
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