JPS6189179U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6189179U JPS6189179U JP17348984U JP17348984U JPS6189179U JP S6189179 U JPS6189179 U JP S6189179U JP 17348984 U JP17348984 U JP 17348984U JP 17348984 U JP17348984 U JP 17348984U JP S6189179 U JPS6189179 U JP S6189179U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- semiconductor device
- device under
- temperature
- under test
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成説明図、
第２図は従来の半導体テスト装置の一例を示す構
成説明図である。 １…テストヘツド、２…被テスト半導体装置（
テストＩＣ）、３…テスト装置本体、４…外部出
力装置、５…測温素子。
第２図は従来の半導体テスト装置の一例を示す構
成説明図である。 １…テストヘツド、２…被テスト半導体装置（
テストＩＣ）、３…テスト装置本体、４…外部出
力装置、５…測温素子。
Claims (1)
- 被テスト半導体装置が装着されるテストヘツド
に被テスト半導体装置と等温になるようにして温
度素子を配置し、この測温素子の温度測定データ
を被テスト半導体装置のテストデータとともにデ
ータ処理部に加えるようにしたことを特徴とする
半導体テスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17348984U JPS6189179U (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17348984U JPS6189179U (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6189179U true JPS6189179U (ja) | 1986-06-10 |
Family
ID=30731141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17348984U Pending JPS6189179U (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6189179U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5480089A (en) * | 1977-12-09 | 1979-06-26 | Hitachi Ltd | Characteristics measuring device for semoconductor element |
-
1984
- 1984-11-15 JP JP17348984U patent/JPS6189179U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5480089A (en) * | 1977-12-09 | 1979-06-26 | Hitachi Ltd | Characteristics measuring device for semoconductor element |
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