JPS59143039U - 加熱炉 - Google Patents

加熱炉

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Publication number
JPS59143039U
JPS59143039U JP3583283U JP3583283U JPS59143039U JP S59143039 U JPS59143039 U JP S59143039U JP 3583283 U JP3583283 U JP 3583283U JP 3583283 U JP3583283 U JP 3583283U JP S59143039 U JPS59143039 U JP S59143039U
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JP
Japan
Prior art keywords
tube
heating furnace
ventilation holes
coincide
inner tube
Prior art date
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Pending
Application number
JP3583283U
Other languages
English (en)
Inventor
小沢　英明
Original Assignee
富士通株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP3583283U priority Critical patent/JPS59143039U/ja
Publication of JPS59143039U publication Critical patent/JPS59143039U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の加熱炉の断面構造図、第２図および第３
図は本発明にかかる一実施例の断面構造図（第２図は保
温状態図、第３図は降温度状態図）、第４図はその実体
図、第５図および第６図は他の実施例の断面構造図（第
２図は保温状態図、第３図は降温度状態図）である。 図中、１は石英管、２は半導体ウェハー、３はヒータ、
４は従来の保温管、５，７は本発明にかかる外管、６．
８はその内管、１０．１１は通気孔を示している。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料を収容する管と、複数の通気孔をもった外管と、同
    じく複数の通気孔をもった内管との二重の保温管を有し
    、該外管と内管との通気孔を不一致にして該管内部を保
    温し、また外管と内管との通気孔を一致させて管内部を
    冷却する構造にしたことを特徴とする加熱炉。
JP3583283U 1983-03-11 1983-03-11 加熱炉 Pending JPS59143039U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3583283U JPS59143039U (ja) 1983-03-11 1983-03-11 加熱炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3583283U JPS59143039U (ja) 1983-03-11 1983-03-11 加熱炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59143039U true JPS59143039U (ja) 1984-09-25

Family

ID=30166519

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3583283U Pending JPS59143039U (ja) 1983-03-11 1983-03-11 加熱炉

Country Status (1)

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JP (1) JPS59143039U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6448022U (ja) * 1987-09-18 1989-03-24
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JP2012512797A (ja) * 2008-12-19 2012-06-07 コミサリア ア レネルジー アトミック エ オ ゼネルジー アルテルナティブ 側壁を介した可変熱交換を備える溶融凝固炉

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