JPS5844836U - 半導体製造治具 - Google Patents

半導体製造治具

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Publication number
JPS5844836U
JPS5844836U JP14066481U JP14066481U JPS5844836U JP S5844836 U JPS5844836 U JP S5844836U JP 14066481 U JP14066481 U JP 14066481U JP 14066481 U JP14066481 U JP 14066481U JP S5844836 U JPS5844836 U JP S5844836U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor manufacturing
manufacturing jig
support rods
jig
semiconductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP14066481U
Other languages
English (en)
Inventor
田中　克道
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 filed Critical 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウェハーを炉心管に挿入した状態を示す略図、
第２図はマザーボートに従来のキャリヤボートを載置し
た状態を示す略図、第３図はこの考案に係る半導体製造
治具の平面図、第４図は正面図、第５図は第３図Ｉ−Ｉ
線の断面図、第６図はこの考案に係るハンドリング治具
の平面図である。 １０・・・・・・半導体製造治具、１１．　１２．　１
３・・・・・・ウェハー支持棒、１４・・・・・・凹溝
、１５．１５・・・・・・支持棒、１７・・・・・・ハ
ンドリング治具、２０゜２０・・・・・・挿入枠。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 所定枚数の半導体ウェハーを支持する半導体製造治具に
    於いて、当該半導体製造治具を、半導体ウェハーと嵌合
    する所定個数の凹溝を有する複数本のウェハー支持棒と
    、ウェハー支持棒の両側に位置する一対の支持棒とを含
    んで構成し、当該支持棒を中空状に形成し、この半導体
    製造治具の移送を、上記した中空状の支持棒と嵌合する
    挿入枠を有するハンドリング治具にて行なうようにした
    ことを特徴とする半導体製造治具。
JP14066481U 1981-09-21 1981-09-21 半導体製造治具 Pending JPS5844836U (ja)

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JP14066481U JPS5844836U (ja) 1981-09-21 1981-09-21 半導体製造治具

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JP14066481U JPS5844836U (ja) 1981-09-21 1981-09-21 半導体製造治具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5844836U true JPS5844836U (ja) 1983-03-25

Family

ID=29933814

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14066481U Pending JPS5844836U (ja) 1981-09-21 1981-09-21 半導体製造治具

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0239526A (ja) * 1988-07-29 1990-02-08 Shin Etsu Handotai Co Ltd ウエーハ搬送装置
JPH0223442U (ja) * 1988-07-29 1990-02-16
JPH0254924A (ja) * 1988-08-19 1990-02-23 Shinetsu Sekiei Kk 半導体ウエーハ積載治具

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5737826A (en) * 1980-08-16 1982-03-02 Heraeus Schott Quarzschmelze Carrier enclosure for semiconductor disc

Patent Citations (1)

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