JPS59111040U - 半導体製造用治具 - Google Patents
半導体製造用治具Info
- Publication number
- JPS59111040U JPS59111040U JP493983U JP493983U JPS59111040U JP S59111040 U JPS59111040 U JP S59111040U JP 493983 U JP493983 U JP 493983U JP 493983 U JP493983 U JP 493983U JP S59111040 U JPS59111040 U JP S59111040U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- semiconductor manufacturing
- large number
- thick bar
- bars
- Prior art date
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- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の半導体製造用治具の一例の斜視図である
。第２図は第１図の治具の要部拡大断面図である。第３
図はこの考案の一実施例の半導体製造用治具の要部拡大
断面図である。 ６・・・基材となる太い棒材（丸棒）、７・・・細い棒
材（丸棒）、８・・・溝。
。第２図は第１図の治具の要部拡大断面図である。第３
図はこの考案の一実施例の半導体製造用治具の要部拡大
断面図である。 ６・・・基材となる太い棒材（丸棒）、７・・・細い棒
材（丸棒）、８・・・溝。
Claims (1)
- 耐熱材料で形成され多数のウェーハを所定のピッチで支
持する半導体製造用治具において、基材となる太い棒材
ｐ上にこれと交差する方向に多数の細い棒材を固着して
、前記細い棒材間にウェーハ支持用の溝を形成したこと
を特徴とする半導体製造用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP493983U JPS59111040U (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 半導体製造用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP493983U JPS59111040U (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 半導体製造用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59111040U true JPS59111040U (ja) | 1984-07-26 |
Family
ID=30136538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP493983U Pending JPS59111040U (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 半導体製造用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59111040U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63105337U (ja) * | 1986-12-25 | 1988-07-08 |
-
1983
- 1983-01-17 JP JP493983U patent/JPS59111040U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63105337U (ja) * | 1986-12-25 | 1988-07-08 |
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