JPS59185836U - 半導体ウエハ支持用石英ボ−ト - Google Patents
半導体ウエハ支持用石英ボ−トInfo
- Publication number
- JPS59185836U JPS59185836U JP1088683U JP1088683U JPS59185836U JP S59185836 U JPS59185836 U JP S59185836U JP 1088683 U JP1088683 U JP 1088683U JP 1088683 U JP1088683 U JP 1088683U JP S59185836 U JPS59185836 U JP S59185836U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- semiconductor wafers
- rod
- quartz boat
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図ａは従来の石英ボートを示す平面図、第１図すは
第１図ａのＢ−Ｂ’線に沿う断面図、第２図は第１図の
石英ボートの変形状態を示す平面図、第３図ａは本発明
に係る石英ボートの一実施例を示す平面図、第３図すは
第３図ａのＢ−Ｂ′線に沿う断面図である。
第１図ａのＢ−Ｂ’線に沿う断面図、第２図は第１図の
石英ボートの変形状態を示す平面図、第３図ａは本発明
に係る石英ボートの一実施例を示す平面図、第３図すは
第３図ａのＢ−Ｂ′線に沿う断面図である。
Claims (2)
- （１）半導体ウェハを載置させるためのそれぞれ石英材
からなる２本のウェハ架台棒が平行に対向−した状態で
連結されてなり、一方のウェハ架台棒のウェハ載置部に
は架台棒長さ方向における複数個所でそれぞれウェハ架
台棒を横切る方向にウェハ支持用溝が形成されており、
他方のウェハ架台−のウェハ載置部における上記溝に対
向する位置にはウェハ支持用溝が形成されていないこと
を特徴とする半導体ウェハ支持用石英ボート。 - （２）前記ウェハ支持用溝が形成された一方のウェハ架
台棒の上記溝が形成された部分の太さと他方のウェハ架
台棒の太さとがほぼ等しいことを特徴とする前記実用新
案登録請求の範囲第１項記載の半導体ウェハ支持用石英
ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1088683U JPS59185836U (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 半導体ウエハ支持用石英ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1088683U JPS59185836U (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 半導体ウエハ支持用石英ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59185836U true JPS59185836U (ja) | 1984-12-10 |
Family
ID=30142316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1088683U Pending JPS59185836U (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 半導体ウエハ支持用石英ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59185836U (ja) |
-
1983
- 1983-01-28 JP JP1088683U patent/JPS59185836U/ja active Pending
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