JPS63105337U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63105337U JPS63105337U JP20281386U JP20281386U JPS63105337U JP S63105337 U JPS63105337 U JP S63105337U JP 20281386 U JP20281386 U JP 20281386U JP 20281386 U JP20281386 U JP 20281386U JP S63105337 U JPS63105337 U JP S63105337U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- width
- support
- groove
- support jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図は本考案に係る支持治具の斜視図、第２
図は第１図の―に沿つて見た部分拡大縦断面
図、第３図及び第４図は本考案の他の実施例を示
す第２図に対応した部分拡大縦断面図、第５図及
び第６図は従来の支持治具を示す第２図に対応し
た部分拡大縦断面図である。 符号の説明、１０……支持治具、１１……上方
支持棒材、１２……下方支持棒材、１３……凹溝
、１３ａ……底面部、１３ｂ，１３ｃ……側面部
、１４……支持台、２０，４０……（従来の）支
持治具、３０……ウエハー。
図は第１図の―に沿つて見た部分拡大縦断面
図、第３図及び第４図は本考案の他の実施例を示
す第２図に対応した部分拡大縦断面図、第５図及
び第６図は従来の支持治具を示す第２図に対応し
た部分拡大縦断面図である。 符号の説明、１０……支持治具、１１……上方
支持棒材、１２……下方支持棒材、１３……凹溝
、１３ａ……底面部、１３ｂ，１３ｃ……側面部
、１４……支持台、２０，４０……（従来の）支
持治具、３０……ウエハー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体素子の材料となるウエハーを支持する凹
溝が多数形成された複数の支持棒材が、前記各凹
溝が内方に向くように支持台を介して連結されて
なるウエハーの支持治具であつて、 下方側に位置する前記支持棒材の各凹溝の底面
部は前記ウエハーの端面の巾程度の巾を有し、か
つ前記各凹溝の側面部は前記底面部より大きな開
口を形成するように構成されているとともに、 上方側に位置する前記支持棒材の各凹溝の底面
部の巾が、前記ウエハーの挿入方向またはその反
対方向のいずれか少なくとも一方側に拡がつてい
ることを特徴とするウエハーの支持治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986202813U JPH0533014Y2 (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986202813U JPH0533014Y2 (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63105337U true JPS63105337U (ja) | 1988-07-08 |
| JPH0533014Y2 JPH0533014Y2 (ja) | 1993-08-23 |
Family
ID=31167548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986202813U Expired - Lifetime JPH0533014Y2 (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0533014Y2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5970334U (ja) * | 1982-11-01 | 1984-05-12 | 株式会社テクニスコ | 拡散治具 |
| JPS59111040U (ja) * | 1983-01-17 | 1984-07-26 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 半導体製造用治具 |
| JPS59149631U (ja) * | 1983-03-24 | 1984-10-06 | 富士電機株式会社 | シリコンウエ−ハの保持具 |
| JPS61251144A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Toshiba Corp | ウエハ載置用ボ−ト |
-
1986
- 1986-12-25 JP JP1986202813U patent/JPH0533014Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5970334U (ja) * | 1982-11-01 | 1984-05-12 | 株式会社テクニスコ | 拡散治具 |
| JPS59111040U (ja) * | 1983-01-17 | 1984-07-26 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 半導体製造用治具 |
| JPS59149631U (ja) * | 1983-03-24 | 1984-10-06 | 富士電機株式会社 | シリコンウエ−ハの保持具 |
| JPS61251144A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Toshiba Corp | ウエハ載置用ボ−ト |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0533014Y2 (ja) | 1993-08-23 |