JPS62116547U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62116547U JPS62116547U JP324586U JP324586U JPS62116547U JP S62116547 U JPS62116547 U JP S62116547U JP 324586 U JP324586 U JP 324586U JP 324586 U JP324586 U JP 324586U JP S62116547 U JPS62116547 U JP S62116547U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage
- sides
- pair
- pieces
- guide rail
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図及び第２図はこの考案によるウエーハの
収容用具の一実施例の平面図及び正面図、第３図
は第２図の用具を結合板の一半部は破断して示す
側面図、第４図は第２図の―線における断面
図、第５図は従来のウエーハ収納用具の斜視図で
ある。 １……半導体ウエーハ、５……収納片、５ａ…
…収納溝、６……エキスパンド手段、１０，１１
……案内レール、１２……中間案内レール、１４
……結合板。なお、図中同一符号は同一又は相当
部分を示す。
収容用具の一実施例の平面図及び正面図、第３図
は第２図の用具を結合板の一半部は破断して示す
側面図、第４図は第２図の―線における断面
図、第５図は従来のウエーハ収納用具の斜視図で
ある。 １……半導体ウエーハ、５……収納片、５ａ…
…収納溝、６……エキスパンド手段、１０，１１
……案内レール、１２……中間案内レール、１４
……結合板。なお、図中同一符号は同一又は相当
部分を示す。
Claims (1)
- それぞれ縦方向に収納溝が１条宛設けられてあ
り、挿入される半導体ウエーハを両側から支持す
るように１対宛が対向し、両側に平行に配列され
た多数の収納片、これら両側の各収納片を外側で
連結し、伸縮可能に支持する両側１対のエキスパ
ンド手段、上記両側の各収納片を間隔の拡大、縮
少の案内をする上、下１対宛の案内レール手段、
及びこれら最外端の収納片と両側の案内レール手
段の対向する外端をそれぞれ結合する両端１対の
結合板を備えた半導体ウエーハの収納用具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP324586U JPS62116547U (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP324586U JPS62116547U (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62116547U true JPS62116547U (ja) | 1987-07-24 |
Family
ID=30782828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP324586U Pending JPS62116547U (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62116547U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03185718A (ja) * | 1989-12-14 | 1991-08-13 | Nec Corp | 半導体ウェハー熱処理装置 |
-
1986
- 1986-01-14 JP JP324586U patent/JPS62116547U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03185718A (ja) * | 1989-12-14 | 1991-08-13 | Nec Corp | 半導体ウェハー熱処理装置 |
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