JPS5970334U - 拡散治具 - Google Patents

拡散治具

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Publication number
JPS5970334U
JPS5970334U JP16613182U JP16613182U JPS5970334U JP S5970334 U JPS5970334 U JP S5970334U JP 16613182 U JP16613182 U JP 16613182U JP 16613182 U JP16613182 U JP 16613182U JP S5970334 U JPS5970334 U JP S5970334U
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JP
Japan
Prior art keywords
wafer support
jig
diffusion jig
diffusion
assembling
Prior art date
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Pending
Application number
JP16613182U
Other languages
English (en)
Inventor
臣二 関家
Original Assignee
株式会社テクニスコ
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社テクニスコ filed Critical 株式会社テクニスコ
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Publication of JPS5970334U publication Critical patent/JPS5970334U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及第２図は従来の拡散治具斜視図、第３図以下本
願考案に係り、第３図は斜視図、第４図は固定体の斜視
図、第５図、第６図は説明用のウェーハ支承板と固定体
との嵌合部正面図、第７図は拡散治具側面図。 ′８・・・ウェーハ支承板、９・・・ウェーハ支承溝、
１０・・・固定体嵌合部、１１・・・固定体、ｌｌａ・
・・切欠部、１２・・・楔　ｐ、　ｐｉ、　ｐ２・・・
ウェーハ。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）ウェーハ支承溝を有する２個のウェーハ支承板を
    その広面を並行状に対向させて固定体で組立式に組立一
    体とする治具において、前記ウェーハ支承板はその各対
    向する広面を略逆ハ字状に傾斜させて成ることを特徴と
    する拡散治具。
  2. （２）前記固定体は、ウェーハ支承板の対向組立幅を広
    狭に変化させられる切欠部を形成して成ることを特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項記載の拡散治具。
JP16613182U 1982-11-01 1982-11-01 拡散治具 Pending JPS5970334U (ja)

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JP16613182U JPS5970334U (ja) 1982-11-01 1982-11-01 拡散治具

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JP16613182U JPS5970334U (ja) 1982-11-01 1982-11-01 拡散治具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5970334U true JPS5970334U (ja) 1984-05-12

Family

ID=30363785

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16613182U Pending JPS5970334U (ja) 1982-11-01 1982-11-01 拡散治具

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JP (1) JPS5970334U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63105337U (ja) * 1986-12-25 1988-07-08

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS508539U (ja) * 1973-05-22 1975-01-29
JPS5540539B1 (ja) * 1970-03-10 1980-10-18

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5540539B1 (ja) * 1970-03-10 1980-10-18
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Cited By (1)

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