JPS6133432U - ウエ−ハ収納治具 - Google Patents
ウエ−ハ収納治具Info
- Publication number
- JPS6133432U JPS6133432U JP11656184U JP11656184U JPS6133432U JP S6133432 U JPS6133432 U JP S6133432U JP 11656184 U JP11656184 U JP 11656184U JP 11656184 U JP11656184 U JP 11656184U JP S6133432 U JPS6133432 U JP S6133432U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage jig
- wafer storage
- wafer
- partitions
- abstract
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【図面の簡単な説明】
第１図はウエーハ収納治具の従来例斜視図、第２区は本
考案によるウエーハ収納治具の実施例斜視図、第３図は
本考案の一実施例の各使用状態斜視図である。 １，１１・・・・・・収納治具側板、２， ３，
１２．１３・・・・・・しきり板、４．１ ４−−−−
−−ストッパー、１５……シリコンウエーハ。
考案によるウエーハ収納治具の実施例斜視図、第３図は
本考案の一実施例の各使用状態斜視図である。 １，１１・・・・・・収納治具側板、２， ３，
１２．１３・・・・・・しきり板、４．１ ４−−−−
−−ストッパー、１５……シリコンウエーハ。
Claims (1)
- 一対の側板の内側面にウエー謀一ハを保持するための仕
切りを挿入口部と中央部とに多数個ほぼ平行に形成し、
且つ、前記各仕切りごとに波形に形成したウエーハスト
ツパーを対応させて備えたことを特徴とするウエーハ収
納治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11656184U JPS6133432U (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | ウエ−ハ収納治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11656184U JPS6133432U (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | ウエ−ハ収納治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6133432U true JPS6133432U (ja) | 1986-02-28 |
Family
ID=30675500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11656184U Pending JPS6133432U (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | ウエ−ハ収納治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6133432U (ja) |
-
1984
- 1984-07-30 JP JP11656184U patent/JPS6133432U/ja active Pending
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