JPS61251144A - ウエハ載置用ボ−ト - Google Patents
ウエハ載置用ボ−トInfo
- Publication number
- JPS61251144A JPS61251144A JP9310385A JP9310385A JPS61251144A JP S61251144 A JPS61251144 A JP S61251144A JP 9310385 A JP9310385 A JP 9310385A JP 9310385 A JP9310385 A JP 9310385A JP S61251144 A JPS61251144 A JP S61251144A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- grooves
- support rods
- boat
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67313—Horizontal boat type carrier whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising rod-shaped elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、熱処理する際に用いられるウェハ載置用ボー
トの改良に関する。
トの改良に関する。
従来、ウェハ載置用ボートとしては、例えば第１図、第
４図及びＭ５図に示すものが知られている。ここで、第
１図は正面図、第４図は第１図を拡大して示す側面図、
第５図は第１図を拡大して示す平面図である。
４図及びＭ５図に示すものが知られている。ここで、第
１図は正面図、第４図は第１図を拡大して示す側面図、
第５図は第１図を拡大して示す平面図である。
図中の１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄは、夫々ウェハ２を支持
する石英製の゛第１の支持棒である。ここで、支持棒１
ａ、１ｂには、複数のウェハ２・・・の下部を支持する
溝３ａ、３ｂが夫々複数個設けられている。これらの溝
３ａ、３ｂの幅は、ウェハ２の板厚よりも１割増し程度
広くなっている。また、前記支持棒１ｃ、１ｄには、ウ
ェハ２を支持する溝３０．３ｄが設けられている。これ
ら溝３Ｃ１３ｄも、前記溝３ａ、３ｂと同幅となってい
る。なお、前記溝３ａ〜３ｄは、支持棒１ａ〜１ｄの長
手方向と直交する方向に平行となるように設けられてい
る。従って、ウェハ２は支持棒１ａ〜１ｄに対し垂直に
Ｍｉ段される。前記第１の支持棒１ａ、１ｂの下部には
、石英製の第２の支持棒４．４が設けられている。
する石英製の゛第１の支持棒である。ここで、支持棒１
ａ、１ｂには、複数のウェハ２・・・の下部を支持する
溝３ａ、３ｂが夫々複数個設けられている。これらの溝
３ａ、３ｂの幅は、ウェハ２の板厚よりも１割増し程度
広くなっている。また、前記支持棒１ｃ、１ｄには、ウ
ェハ２を支持する溝３０．３ｄが設けられている。これ
ら溝３Ｃ１３ｄも、前記溝３ａ、３ｂと同幅となってい
る。なお、前記溝３ａ〜３ｄは、支持棒１ａ〜１ｄの長
手方向と直交する方向に平行となるように設けられてい
る。従って、ウェハ２は支持棒１ａ〜１ｄに対し垂直に
Ｍｉ段される。前記第１の支持棒１ａ、１ｂの下部には
、石英製の第２の支持棒４．４が設けられている。
しかしながら、従来のウェハ載置用ボートによれば、第
１の支持棒１ａ〜１ｄにウェハ２の板厚に対し１割程度
広い溝３８〜３ｄを夫々設け、これら満にウェハ２を垂
直に立ててセットする構造となっているため、ボートに
ウェハ２を載置する際又はボートからウェハ２を取出す
際に溝３ａ〜３ｄの側面とウェハ２が接触し、第６図に
示す如くエツジの表面部分に傷５や汚れが入ったり、エ
ツジに欠け６が生じたりする恐れがある。
１の支持棒１ａ〜１ｄにウェハ２の板厚に対し１割程度
広い溝３８〜３ｄを夫々設け、これら満にウェハ２を垂
直に立ててセットする構造となっているため、ボートに
ウェハ２を載置する際又はボートからウェハ２を取出す
際に溝３ａ〜３ｄの側面とウェハ２が接触し、第６図に
示す如くエツジの表面部分に傷５や汚れが入ったり、エ
ツジに欠け６が生じたりする恐れがある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ウェハを出
入する際、ウェハのエツジの表面部分に傷や汚れ又はエ
ツジの欠けを生じることの防止できるウェハ載置用ボー
トを提供することを目的とする。
入する際、ウェハのエツジの表面部分に傷や汚れ又はエ
ツジの欠けを生じることの防止できるウェハ載置用ボー
トを提供することを目的とする。
本発明は、支持棒にウェハ１枚につき夫々少なくとも３
つのストッパーを設け、ウェハ下部の少なくとも１点以
上は表面方向から前記ストッパーで支持し、かつウェハ
上部の少なくとも１点以上は裏面方向から前記ストッパ
ーで支持することを特徴とするもので、ウェハのエツジ
の表面部分の傷や汚れあるいはエツジの欠けの防止を図
ったものである。
つのストッパーを設け、ウェハ下部の少なくとも１点以
上は表面方向から前記ストッパーで支持し、かつウェハ
上部の少なくとも１点以上は裏面方向から前記ストッパ
ーで支持することを特徴とするもので、ウェハのエツジ
の表面部分の傷や汚れあるいはエツジの欠けの防止を図
ったものである。
以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図を参照して説
明する。ここで、第１図は正面図（従来と同様）、第２
図は第１図を拡大して示す側面図、第３図は第１図を拡
大して示す平面図である。なお、従来と同符号のものは
同符号を付して説明を省略する。
明する。ここで、第１図は正面図（従来と同様）、第２
図は第１図を拡大して示す側面図、第３図は第１図を拡
大して示す平面図である。なお、従来と同符号のものは
同符号を付して説明を省略する。
回申の１１ａ、１１ｂは、夫々支持棒１ａ、１ｂに設け
られたストッパーとしての階段状の溝である。これら溝
１１ａ、１１ｂの幅は、ウェハ２の厚みに比べ２倍以上
あり、ウェハ２をボートに出入する際ウェハ２は溝の側
面に触れないようになっている。ここで、１３１．１３
２．１４ｔ、１４２を溝１２ａ、１２ｂの内壁面とする
。一方、第１の支持棒１Ｃ１１ｄには、内壁面（１５１
，１５２，１６ｔ 、１６２ ）が傾斜したストッパー
としての溝１２ｃ、１２ｄが夫々設けられている。
られたストッパーとしての階段状の溝である。これら溝
１１ａ、１１ｂの幅は、ウェハ２の厚みに比べ２倍以上
あり、ウェハ２をボートに出入する際ウェハ２は溝の側
面に触れないようになっている。ここで、１３１．１３
２．１４ｔ、１４２を溝１２ａ、１２ｂの内壁面とする
。一方、第１の支持棒１Ｃ１１ｄには、内壁面（１５１
，１５２，１６ｔ 、１６２ ）が傾斜したストッパー
としての溝１２ｃ、１２ｄが夫々設けられている。
なお、第２図において、ウェハ２の裏面の端部は支持棒
１Ｃの溝１２Ｇの内壁面１５１、支持棒１ｄの溝１２ｄ
の内壁面１６１、支持棒１ａの溝１２ａの内壁面１３１
の下部分、支持棒１ｂの溝１２ｂの内壁面１２２の下部
分に接し、ウェハ２の表面の端部は支持棒１ａの溝１２
ａの内壁面１３２、支持棒１ｂのｍ１２ｂの内壁面１４
２に夫々接している。また、溝１２ａ、１２ｂと溝１２
ｃ、１２ｄとは、夫々支持棒１ａ〜１ｄの長手方向と直
交する方向に多少ずれている。
１Ｃの溝１２Ｇの内壁面１５１、支持棒１ｄの溝１２ｄ
の内壁面１６１、支持棒１ａの溝１２ａの内壁面１３１
の下部分、支持棒１ｂの溝１２ｂの内壁面１２２の下部
分に接し、ウェハ２の表面の端部は支持棒１ａの溝１２
ａの内壁面１３２、支持棒１ｂのｍ１２ｂの内壁面１４
２に夫々接している。また、溝１２ａ、１２ｂと溝１２
ｃ、１２ｄとは、夫々支持棒１ａ〜１ｄの長手方向と直
交する方向に多少ずれている。
こうした構造のウェハ載置用ボートにおいて、ウェハ２
を支持棒１ａ〜１ｄにセットするときはウェハ２を支持
棒１ａ〜１ｄに夫々略直交するように立ててウェハ２を
支持棒１ａ〜１ｄの夫々の溝１２ａ〜１２ｄに沿って挿
入し、ウェハ２が支持棒ｉａ、１ｂの溝１２ａ、１２ｂ
の階段部分まで移動したら、ウェハ２を第２図に示す如
１く傾斜した状態から矢印Ｘの方向に移動することによ
り行う。また、第２図の状態からウェハ２を取出すとき
は、ウェハ２を傾斜した状態で傾斜方向（矢印Ｘと逆方
向）にウェハ２の最下端部が支持棒１ａ、ｌｂの溝１２
ａ、１２ｂの階段部分まで移動した後、ウェハ２を支持
棒１ａ〜１ｄ略直交する方向に立ててウェハ２を上方に
移動することにより行う。
を支持棒１ａ〜１ｄにセットするときはウェハ２を支持
棒１ａ〜１ｄに夫々略直交するように立ててウェハ２を
支持棒１ａ〜１ｄの夫々の溝１２ａ〜１２ｄに沿って挿
入し、ウェハ２が支持棒ｉａ、１ｂの溝１２ａ、１２ｂ
の階段部分まで移動したら、ウェハ２を第２図に示す如
１く傾斜した状態から矢印Ｘの方向に移動することによ
り行う。また、第２図の状態からウェハ２を取出すとき
は、ウェハ２を傾斜した状態で傾斜方向（矢印Ｘと逆方
向）にウェハ２の最下端部が支持棒１ａ、ｌｂの溝１２
ａ、１２ｂの階段部分まで移動した後、ウェハ２を支持
棒１ａ〜１ｄ略直交する方向に立ててウェハ２を上方に
移動することにより行う。
しかして、本発明によれば、支持棒１ａ〜１ｄに夫々溝
１２ａ〜１２ｄを設け、溝１２ａ、１２ｂではウェハ２
の表面の下端部をかつ溝１２ｃ、１２ｄではウェハ２の
裏面の上端部を夫々ウェハ２を傾斜して支持する構造と
なっている。従って、ウェハ２を支持棒１ａ〜１ｄにセ
ットする時は前述の如くウェハ２を略直角に立てて支持
棒１ａ、１ｂの溝の階段部分まで移動し、この後ウェハ
２を傾斜して矢印Ｘ方向に移動することにより行い、逆
にウェハ２を支持棒１ａ〜１ｄから取出すときはウェハ
２のセットのときと全く逆に行うことにより、従来のよ
うにウェハ２の表面部分に傷を付けたり、汚れ、欠けを
生じたりすることを回避できる。
１２ａ〜１２ｄを設け、溝１２ａ、１２ｂではウェハ２
の表面の下端部をかつ溝１２ｃ、１２ｄではウェハ２の
裏面の上端部を夫々ウェハ２を傾斜して支持する構造と
なっている。従って、ウェハ２を支持棒１ａ〜１ｄにセ
ットする時は前述の如くウェハ２を略直角に立てて支持
棒１ａ、１ｂの溝の階段部分まで移動し、この後ウェハ
２を傾斜して矢印Ｘ方向に移動することにより行い、逆
にウェハ２を支持棒１ａ〜１ｄから取出すときはウェハ
２のセットのときと全く逆に行うことにより、従来のよ
うにウェハ２の表面部分に傷を付けたり、汚れ、欠けを
生じたりすることを回避できる。
なお、本発明に係るウェハ載置用ボートとしては、上記
実施例のものに限らず、第７図あるいは第８図に示すよ
うな構造のものでもよい。
実施例のものに限らず、第７図あるいは第８図に示すよ
うな構造のものでもよい。
第７図は、支持棒１Ｃ１１ｄの溝１２Ｃ１１２ｄを途中
から矢印Ｙ方向にその深さが浅くなるようにしく内壁面
を２１．２２とする）、かつ支持棒１ａ、１ｂの溝１２
ａ、１２ｂを途中から矢印Ｙと反対方向にその深さが浅
くなるようにした（内壁面２３．２４とする）構造とな
っている。
から矢印Ｙ方向にその深さが浅くなるようにしく内壁面
を２１．２２とする）、かつ支持棒１ａ、１ｂの溝１２
ａ、１２ｂを途中から矢印Ｙと反対方向にその深さが浅
くなるようにした（内壁面２３．２４とする）構造とな
っている。
第８図は、ストッパーとして溝の代わりに各支持棒１ａ
〜１ｄ上に夫々突起物２５〜２８を設けた構造のもので
、突起物２５．２６でウェハの表面端部を支持し、かつ
突起物２７．２８でウェハの裏面端部を支持するもので
ある。
〜１ｄ上に夫々突起物２５〜２８を設けた構造のもので
、突起物２５．２６でウェハの表面端部を支持し、かつ
突起物２７．２８でウェハの裏面端部を支持するもので
ある。
以上詳述した如く本発明によれば、ウェハを出入する際
、ウェハのエツジ部分に傷や汚れ又はエツジの欠けを防
止できるウェハ載置用ボートを提供できるものである。
、ウェハのエツジ部分に傷や汚れ又はエツジの欠けを防
止できるウェハ載置用ボートを提供できるものである。
第１図は従来及び本発明に係るウェハ載置用ボートの正
面図、第２図は本発明に係るウェハ載置用ボートの略側
面図、第３図は同ボートの略平面図、第４図は従来のウ
ェハ載置用ボートの略側面図、第５図は同ボートの略平
面図、第６図は従来のボートによるウェハの傷、欠は等
を説明するための平面図、第７図及び第８図は本発明の
他の実施例に係るウェハ載置用ボートの略平面図である
。 １ａ〜１ｄ１４・・・支持棒、２・・・ウェハ、１２ａ
〜１２ｄ−・・溝、 １３ｒ 、１３２．１４ｔ 、１４２．１５１．１５２
．１６１．１６２．２１〜２４・・・内壁面、２５〜２
８・・・突起物。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 ＄１＊図 第 ７ 図
面図、第２図は本発明に係るウェハ載置用ボートの略側
面図、第３図は同ボートの略平面図、第４図は従来のウ
ェハ載置用ボートの略側面図、第５図は同ボートの略平
面図、第６図は従来のボートによるウェハの傷、欠は等
を説明するための平面図、第７図及び第８図は本発明の
他の実施例に係るウェハ載置用ボートの略平面図である
。 １ａ〜１ｄ１４・・・支持棒、２・・・ウェハ、１２ａ
〜１２ｄ−・・溝、 １３ｒ 、１３２．１４ｔ 、１４２．１５１．１５２
．１６１．１６２．２１〜２４・・・内壁面、２５〜２
８・・・突起物。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 ＄１＊図 第 ７ 図
Claims (2)
- （１）ウェハを複数の支持棒に傾斜して載置するウェハ
載置用ボートにおいて、前記支持棒にウェハ１枚につき
少なくとも３つのストッパーを設け、ウェハ下部の少な
くとも１点以上は表面方向から前記ストッパーで支持し
、かつウェハ上部の少なくとも１点以上は裏面方向から
前記ストッパーで支持することを特徴とするウェハ載置
用ボート。 - （２）ストッパーがウェハの板厚の２倍以上の幅を持つ
溝、あるいは突起物であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のウェハ載置用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9310385A JPS61251144A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ウエハ載置用ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9310385A JPS61251144A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ウエハ載置用ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61251144A true JPS61251144A (ja) | 1986-11-08 |
Family
ID=14073184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9310385A Pending JPS61251144A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ウエハ載置用ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61251144A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63105337U (ja) * | 1986-12-25 | 1988-07-08 |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP9310385A patent/JPS61251144A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63105337U (ja) * | 1986-12-25 | 1988-07-08 | ||
| JPH0533014Y2 (ja) * | 1986-12-25 | 1993-08-23 |
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