JPS5840839U - 半導体ウエ−ハ揃え治具 - Google Patents
半導体ウエ−ハ揃え治具Info
- Publication number
- JPS5840839U JPS5840839U JP13438281U JP13438281U JPS5840839U JP S5840839 U JPS5840839 U JP S5840839U JP 13438281 U JP13438281 U JP 13438281U JP 13438281 U JP13438281 U JP 13438281U JP S5840839 U JPS5840839 U JP S5840839U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- wafer
- alignment jig
- wafer alignment
- rotating shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図および第2図はそれぞれ本考案の1実施例の斜視
図とA−A線縦断面図。第3図は本実施例の動作説明の
ためのA−A線縦断面図。 図において、1・・・・・・回転軸、2・・・・・・回
転軸を挿入する溝、3・・・・・・ウェーハ受台、4・
・・・−・・側板、5・・・・・・区切り棒、6・・・
・・・溝又は複数の孔、7・・・・・・ウェーハ、8・
・・・・・ウェーハのフラット部、9・・・・・・回転
方向、10・・・・・・ウェーハ受台の固定部。
図とA−A線縦断面図。第3図は本実施例の動作説明の
ためのA−A線縦断面図。 図において、1・・・・・・回転軸、2・・・・・・回
転軸を挿入する溝、3・・・・・・ウェーハ受台、4・
・・・−・・側板、5・・・・・・区切り棒、6・・・
・・・溝又は複数の孔、7・・・・・・ウェーハ、8・
・・・・・ウェーハのフラット部、9・・・・・・回転
方向、10・・・・・・ウェーハ受台の固定部。
Claims (1)
- 側板4を有する、複数の半導体ウェーハのオリエンテー
ションフラットを揃える治具において、該ウェーハを回
転させる回転軸1、該側板4の底部に設けた該回転軸1
を挿入する溝2と該回転軸1の外径よりや)高いウェー
ハ受台3該ウエーハを区切り支持することのできる区切
り棒5、該区切り棒5を挿入しうる該ウェーハ受台3の
上部に設けた溝又は複数の孔6、から成ることを特徴と
する半導体ウェーハオリエンテーションフラット揃え治
具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13438281U JPS5840839U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 半導体ウエ−ハ揃え治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13438281U JPS5840839U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 半導体ウエ−ハ揃え治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5840839U true JPS5840839U (ja) | 1983-03-17 |
Family
ID=29927811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13438281U Pending JPS5840839U (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 半導体ウエ−ハ揃え治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5840839U (ja) |
-
1981
- 1981-09-11 JP JP13438281U patent/JPS5840839U/ja active Pending
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