JPS5961535U - ウエ−ハ搬送装置 - Google Patents

ウエ−ハ搬送装置

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JPS5961535U
JPS5961535U JP15650982U JP15650982U JPS5961535U JP S5961535 U JPS5961535 U JP S5961535U JP 15650982 U JP15650982 U JP 15650982U JP 15650982 U JP15650982 U JP 15650982U JP S5961535 U JPS5961535 U JP S5961535U
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JP
Japan
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holding claws
wafer
transfer device
moving
wafer transfer
Prior art date
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Application number
JP15650982U
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JPS6221012Y2 (ja
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古門　竜彦
茂 武田
鈴木　増雄
尾野　正治
黒河　治重
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株式会社日立国際電気
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２図は第１
図の■−■線矢視断面図である。 ｌａ、ｌｂ・・・・・・移動台、２・・・・・・ガイド
部、３ａ。 ３ｂ・・・・・・軸、４ａ、　　４ｂ・・・・・・軸受
、５ａ、　　６ｂ・・・・・・アーム、３ａ、　　３ｂ
・・・・・・ウェーハ保持用爪、９・・・・・・軸回動
機構、１０・・・・・・ウェーハ、１１・・・・・・移
動機構、１２・・・・・・反応室内サセプタ、１３・・
・・・・切欠穴。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 移動台と、移動台に平行に支承され、互に反対方向に回
    動せしめられる二軸と、これらの軸の先端部にそれぞれ
    固定したアームと、これらのアームにそれぞれ２個づつ
    固定されたウェーハ保持用爪と、これらのウエーノ）保
    持用爪にウエーノ八をすくい上げて保持したり、ウェー
    ハ保持用爪に保持したウェーハを離脱するべく上記各軸
    を互に反対方向に同一角度回動するための軸回動機構と
    、前記移動台を移動するための移動機構とよりなるウェ
    ーハ搬送装置。
JP15650982U 1982-10-15 1982-10-15 ウエ−ハ搬送装置 Granted JPS5961535U (ja)

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JP15650982U JPS5961535U (ja) 1982-10-15 1982-10-15 ウエ−ハ搬送装置

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JP15650982U JPS5961535U (ja) 1982-10-15 1982-10-15 ウエ−ハ搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5961535U true JPS5961535U (ja) 1984-04-23
JPS6221012Y2 JPS6221012Y2 (ja) 1987-05-28

Family

ID=30345319

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15650982U Granted JPS5961535U (ja) 1982-10-15 1982-10-15 ウエ−ハ搬送装置

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Country Link
JP (1) JPS5961535U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03101247A (ja) * 1988-11-30 1991-04-26 Tokyo Electron Ltd 処理装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03101247A (ja) * 1988-11-30 1991-04-26 Tokyo Electron Ltd 処理装置

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Publication number Publication date
JPS6221012Y2 (ja) 1987-05-28

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