JPS5961535U - ウエ−ハ搬送装置 - Google Patents
ウエ−ハ搬送装置Info
- Publication number
- JPS5961535U JPS5961535U JP15650982U JP15650982U JPS5961535U JP S5961535 U JPS5961535 U JP S5961535U JP 15650982 U JP15650982 U JP 15650982U JP 15650982 U JP15650982 U JP 15650982U JP S5961535 U JPS5961535 U JP S5961535U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding claws
- wafer
- transfer device
- moving
- wafer transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例を示す斜視図、第2図は第1
図の■−■線矢視断面図である。 la、lb・・・・・・移動台、2・・・・・・ガイド
部、3a。 3b・・・・・・軸、4a、 4b・・・・・・軸受
、5a、 6b・・・・・・アーム、3a、 3b
・・・・・・ウェーハ保持用爪、9・・・・・・軸回動
機構、10・・・・・・ウェーハ、11・・・・・・移
動機構、12・・・・・・反応室内サセプタ、13・・
・・・・切欠穴。
図の■−■線矢視断面図である。 la、lb・・・・・・移動台、2・・・・・・ガイド
部、3a。 3b・・・・・・軸、4a、 4b・・・・・・軸受
、5a、 6b・・・・・・アーム、3a、 3b
・・・・・・ウェーハ保持用爪、9・・・・・・軸回動
機構、10・・・・・・ウェーハ、11・・・・・・移
動機構、12・・・・・・反応室内サセプタ、13・・
・・・・切欠穴。
Claims (1)
- 移動台と、移動台に平行に支承され、互に反対方向に回
動せしめられる二軸と、これらの軸の先端部にそれぞれ
固定したアームと、これらのアームにそれぞれ2個づつ
固定されたウェーハ保持用爪と、これらのウエーノ)保
持用爪にウエーノ八をすくい上げて保持したり、ウェー
ハ保持用爪に保持したウェーハを離脱するべく上記各軸
を互に反対方向に同一角度回動するための軸回動機構と
、前記移動台を移動するための移動機構とよりなるウェ
ーハ搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15650982U JPS5961535U (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | ウエ−ハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15650982U JPS5961535U (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | ウエ−ハ搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5961535U true JPS5961535U (ja) | 1984-04-23 |
JPS6221012Y2 JPS6221012Y2 (ja) | 1987-05-28 |
Family
ID=30345319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15650982U Granted JPS5961535U (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | ウエ−ハ搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5961535U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03101247A (ja) * | 1988-11-30 | 1991-04-26 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
-
1982
- 1982-10-15 JP JP15650982U patent/JPS5961535U/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03101247A (ja) * | 1988-11-30 | 1991-04-26 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6221012Y2 (ja) | 1987-05-28 |
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