JPS5954923U - メタライズ装置 - Google Patents

メタライズ装置

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Publication number
JPS5954923U
JPS5954923U JP15061282U JP15061282U JPS5954923U JP S5954923 U JPS5954923 U JP S5954923U JP 15061282 U JP15061282 U JP 15061282U JP 15061282 U JP15061282 U JP 15061282U JP S5954923 U JPS5954923 U JP S5954923U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metallization
wafer
vacuum container
container
metallization equipment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15061282U
Other languages
English (en)
Inventor
小暮　直志
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP15061282U priority Critical patent/JPS5954923U/ja
Publication of JPS5954923U publication Critical patent/JPS5954923U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１の実施例を示す斜視図、第２図は
第１図の支持面を真空容器にセットした構成図、第３図
、第４図は作動説明図、第５図は本考案の第２の実施例
を示す斜視図、第６図は第５図の支持面を真空容器にセ
ットした構成図、第７図、第８図、第９図は作動説明図
である。 １．１′・・・支持面、２・・・回転軸、４・・・真空
容器、６・・・押棒。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空容器内でメタライズを行うメタライズ装置において
    、該真空容器内に、被メタライズウェハーを各面上に立
    て掛けて傾斜姿勢に支持させる２つの支持面を互いに角
    度をなして向き合せに配設し、真空容器の外部からの操
    作により各支持面上に表裏反転させてウェハーを支持さ
    せる反転機構を―えたことを特徴とするメタライズ装置
    。
JP15061282U 1982-10-04 1982-10-04 メタライズ装置 Pending JPS5954923U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15061282U JPS5954923U (ja) 1982-10-04 1982-10-04 メタライズ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15061282U JPS5954923U (ja) 1982-10-04 1982-10-04 メタライズ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5954923U true JPS5954923U (ja) 1984-04-10

Family

ID=30333994

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15061282U Pending JPS5954923U (ja) 1982-10-04 1982-10-04 メタライズ装置

Country Status (1)

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JP (1) JPS5954923U (ja)

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