JPS62107452U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62107452U JPS62107452U JP20219585U JP20219585U JPS62107452U JP S62107452 U JPS62107452 U JP S62107452U JP 20219585 U JP20219585 U JP 20219585U JP 20219585 U JP20219585 U JP 20219585U JP S62107452 U JPS62107452 U JP S62107452U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- grooves
- wall
- expands
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図はその側面図、第３図はこの考案の他の実施
例を示す断面図、第４図は従来装置の断面図、第
５図はその側面図、第６図は従来装置の他の例を
示す断面図である。 図中、１は半導体ウエハ、２はボート、２ｂは
溝、２ｃは傾斜壁、２ｄは底部である。なお、各
図中同一符号は同一同は相当部分を示す。
２図はその側面図、第３図はこの考案の他の実施
例を示す断面図、第４図は従来装置の断面図、第
５図はその側面図、第６図は従来装置の他の例を
示す断面図である。 図中、１は半導体ウエハ、２はボート、２ｂは
溝、２ｃは傾斜壁、２ｄは底部である。なお、各
図中同一符号は同一同は相当部分を示す。
Claims (1)
- 整列された多数の溝で半導体ウエハを夫々支持
する半導体ウエハ支持ボートにおいて、上記溝の
各壁がその底部から開放方向へ拡開する傾斜壁で
夫々形成されていることを特徴とする半導体ウエ
ハ支持ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20219585U JPS62107452U (ja) | 1985-12-24 | 1985-12-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20219585U JPS62107452U (ja) | 1985-12-24 | 1985-12-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62107452U true JPS62107452U (ja) | 1987-07-09 |
Family
ID=31166349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20219585U Pending JPS62107452U (ja) | 1985-12-24 | 1985-12-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62107452U (ja) |
-
1985
- 1985-12-24 JP JP20219585U patent/JPS62107452U/ja active Pending