JPS58138337U - ウエハ支持治具 - Google Patents

ウエハ支持治具

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Publication number
JPS58138337U
JPS58138337U JP3383582U JP3383582U JPS58138337U JP S58138337 U JPS58138337 U JP S58138337U JP 3383582 U JP3383582 U JP 3383582U JP 3383582 U JP3383582 U JP 3383582U JP S58138337 U JPS58138337 U JP S58138337U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
support jig
wafer
wafer support
groove
view
Prior art date
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Granted
Application number
JP3383582U
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English (en)
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JPS626689Y2 (ja
Inventor
小久保　明和
斉藤　喜一
和弘 杉田
Original Assignee
ソニー株式会社
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Publication date
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Priority to JP3383582U priority Critical patent/JPS58138337U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ないし第３図は従来のウェハ支持治具の一例を示
し、第１図は平面図、第２図は第１図の■−■線断面矢
視図、第３図は第１図および第２図の■−■線拡大矢視
図である。第４図ないし第６図はウェハ支持治具の他の
従来例を示し、第４図は平面図、第５図は第４図のＶ−
Ｖ線断面矢視図、第６図は第５図のＶＩ−ＶＩＸ線拡大
矢視図ある。 第７図は半導体ウェハの外形形状を示す正面図である。 第８図ないし第１４図は本考案に係るウェハ支持治具の
一実施例を示し、第８図は平面図、第９図は第８図のＩ
Ｘ−ＩＸ線断面矢視図、第１０図および第１１図は第９
図のそれぞれＸ−Ｘ線拡大矢視図およびＸＩ−ＸＩＸ線
拡大矢視図第１２図ないし第１４図はそれぞれ異なる支
持状態におけるウェハ先端の挿入深さを説明するための
図であり、各図のＡはウェハ支持状態を示す概略正面図
、各図のＢはウェハ先端の挿入深さを示す概略断面図で
ある。 ２・・・半導体ウェハ、７・・・カット部、２１・・・
ウェハ支持治具、２４．　２５．　２６・・・梁状腕部
、２７・・・Ｖ字状溝部、２８・・・Ｙ字状溝部、２８
ａ・・・Ｖ字状溝部分、２８ｂ・・・平行溝部分。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 複数枚のウェハをその主面と直角の方向に上記主面が互
    いに平行となるように配列するウェハ支持治具において
    、上記直角方向に互いに平行に延設された３本の梁状腕
    部を有し、両性側の２本の腕部の上記各ウェハを支持す
    る位置にそれぞれ断面Ｖ字状の溝部を形成し、中央の腕
    部の−に記各ウェハを支持する位置にそれぞれ断面Ｙ字
    状の溝部を形成して成るウェハ支持治具。
JP3383582U 1982-03-12 1982-03-12 ウエハ支持治具 Granted JPS58138337U (ja)

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JP3383582U JPS58138337U (ja) 1982-03-12 1982-03-12 ウエハ支持治具

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JP3383582U JPS58138337U (ja) 1982-03-12 1982-03-12 ウエハ支持治具

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Publication Number Publication Date
JPS58138337U true JPS58138337U (ja) 1983-09-17
JPS626689Y2 JPS626689Y2 (ja) 1987-02-16

Family

ID=30045361

Family Applications (1)

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JP3383582U Granted JPS58138337U (ja) 1982-03-12 1982-03-12 ウエハ支持治具

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0521444U (ja) * 1991-08-28 1993-03-19 大日本スクリーン製造株式会社 ウエハ保持ホルダ
JPH0550739U (ja) * 1991-12-04 1993-07-02 大日本スクリーン製造株式会社 ウエハ保持ホルダ

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52139758U (ja) * 1976-04-16 1977-10-22
JPS54124969A (en) * 1978-03-22 1979-09-28 Daicel Ltd Semiconductor wafer container

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JPH0550739U (ja) * 1991-12-04 1993-07-02 大日本スクリーン製造株式会社 ウエハ保持ホルダ

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JPS626689Y2 (ja) 1987-02-16

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