JPS6081651U - 半導体ウエハ支持治具 - Google Patents
半導体ウエハ支持治具Info
- Publication number
- JPS6081651U JPS6081651U JP17394483U JP17394483U JPS6081651U JP S6081651 U JPS6081651 U JP S6081651U JP 17394483 U JP17394483 U JP 17394483U JP 17394483 U JP17394483 U JP 17394483U JP S6081651 U JPS6081651 U JP S6081651U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slits
- semiconductor wafer
- wafer support
- support jig
- opposite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はクロススリットタイプのウェハ支持治具の平面
図、第２図は従来のはしご形スリットタ −イブのウェ
ハ支持治具の平面図、第３図は本考案の一実施例の平面
図である。 １：縦桁、３：横桁、４：ウェハ位置、２１゜２２ニス
リツト。
図、第２図は従来のはしご形スリットタ −イブのウェ
ハ支持治具の平面図、第３図は本考案の一実施例の平面
図である。 １：縦桁、３：横桁、４：ウェハ位置、２１゜２２ニス
リツト。
Claims (1)
- 平行に位置する２本の縦桁に直角に固着される複数の横
桁を備え、隣接する横桁に対向して切られたスリットに
ウェハの縁部が挿入可能なものにおいて、端部の横桁を
除く各横桁が一側に隣接する横桁のスリットに対向する
スリットと他側に隣接する横桁のスリットに対向するス
リットが長手方向に交互に等間隔で位置することを特徴
とする半導体ウェハ支持治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17394483U JPS6081651U (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | 半導体ウエハ支持治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17394483U JPS6081651U (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | 半導体ウエハ支持治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6081651U true JPS6081651U (ja) | 1985-06-06 |
Family
ID=30378805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17394483U Pending JPS6081651U (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | 半導体ウエハ支持治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6081651U (ja) |
-
1983
- 1983-11-10 JP JP17394483U patent/JPS6081651U/ja active Pending
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