JPS5983030U - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS5983030U JPS5983030U JP17962782U JP17962782U JPS5983030U JP S5983030 U JPS5983030 U JP S5983030U JP 17962782 U JP17962782 U JP 17962782U JP 17962782 U JP17962782 U JP 17962782U JP S5983030 U JPS5983030 U JP S5983030U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- semiconductor manufacturing
- manufacturing equipment
- travels
- Prior art date
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- Pending
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- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は一般的な炉芯管の側断面図、第２図乃至第４図
は本考案の各実施例を示す要部側断面図である。 １・・・・・・炉芯管、３・・・・・・半導体ウェーハ
、４・・・・・・内容物（ボート）、７・・・・・・炉
芯管、８・・・・・・光学検出装置、９・・・・・・投
光器、１０・・・・・・受光器。
は本考案の各実施例を示す要部側断面図である。 １・・・・・・炉芯管、３・・・・・・半導体ウェーハ
、４・・・・・・内容物（ボート）、７・・・・・・炉
芯管、８・・・・・・光学検出装置、９・・・・・・投
光器、１０・・・・・・受光器。
Claims (1)
- 半導体ウェーハ熱処理用炉芯管の長さ方向の中途部分に
、炉芯管内を径方向に進行する光路を設けるとともに、
炉芯管外に投光器及び受光器を配設して、炉芯管内に搬
入された内容物を定位置で光学的に検知する光学検出装
置を装備させたことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17962782U JPS5983030U (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17962782U JPS5983030U (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983030U true JPS5983030U (ja) | 1984-06-05 |
Family
ID=30389690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17962782U Pending JPS5983030U (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983030U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63133620A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-06 | Nec Kyushu Ltd | 拡散炉装置 |
-
1982
- 1982-11-26 JP JP17962782U patent/JPS5983030U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63133620A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-06 | Nec Kyushu Ltd | 拡散炉装置 |
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