JPS59172764U - 高周波グロ−放電装置 - Google Patents
高周波グロ−放電装置Info
- Publication number
- JPS59172764U JPS59172764U JP6657483U JP6657483U JPS59172764U JP S59172764 U JPS59172764 U JP S59172764U JP 6657483 U JP6657483 U JP 6657483U JP 6657483 U JP6657483 U JP 6657483U JP S59172764 U JPS59172764 U JP S59172764U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge device
- glow discharge
- high frequency
- frequency glow
- frequency
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のグロー放電装置の模式図。第２図は本考
案を実施したグロー放電装置の模式図。 ６・・・・・・高周波印加電極、７・・・・・・対向電
極、８・・・・・・シールド板、１０・・・・・・絶縁
物。
案を実施したグロー放電装置の模式図。 ６・・・・・・高周波印加電極、７・・・・・・対向電
極、８・・・・・・シールド板、１０・・・・・・絶縁
物。
Claims (1)
- □ 高周波印加電極の背面および側面に接し且それらを
覆って金属製真空容器内壁面に向う空間内に絶縁物の充
填部分を設けたことを特徴とする高周波グロー放電装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6657483U JPS59172764U (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 高周波グロ−放電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6657483U JPS59172764U (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 高周波グロ−放電装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59172764U true JPS59172764U (ja) | 1984-11-19 |
Family
ID=30196779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6657483U Pending JPS59172764U (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 高周波グロ−放電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59172764U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01198472A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-10 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | スパツタリング装置 |
-
1983
- 1983-05-02 JP JP6657483U patent/JPS59172764U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01198472A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-10 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | スパツタリング装置 |
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