JPS58216339A - イオンビ−ム発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はイオンビーム発生装置、特にマイクロ波イオン
源に関する。

従来のイオンビーム発生装置におけるマイクロ波イオン
源（・１、第１図で示すように、放電室１内に導入した
ガスをプラズマ化し、数ＫＶから数十ＫＶを印加した引
出し電極４．５によりイオンビーム３を引出していた。

ところがこのイオン源を数十時間使用していると、放電
室ＩＫ臨む側の引出し電極５において、プラズマ２と接
する開孔縁部分にマイクロ波放電により解離した物質が
保々に析出付着し析出物質６のために引出し電極Ｊの開
孔面積が小さくなる現象が生じる。その姑果。

引出し得るイオンビーム電流が減少しイオン源の寿命と
なる。一方、析出物質６が付着する箇所はプラズマと接
する面であり、温度の低い所に付着する傾向がある。そ
こで、従来のイオン源でも第１図に示すようＫ、引出し
電極を４と５に分割し、放電室１に直接臨む引出し電極
５の温度降下を阻止し℃いるが１分割による断熱効果は
な？不充分であり、未だ析出物質の発生を来たしている
。

したがって１本発明の目的は、引出し電極の析出物質の
堆積を防ぐことにより長寿命なマイクロ波イオン源を提
供することにある。

上記の様な目的を達成する為、本発明においては、引出
し電極を多分割し、この間に気体を含む熱絶縁性物質を
介在させるものであって、以下実施例により発明を説明
する。

第２図は本発明の一実施例によるマイクロ彼イオン源引
出し電極部を示す断面図であり、第１図と共通する構成
部分は同一番号をもって指示する。

この実施例では、プラズマ２を発生させる放電室ｌの開
口部に相互に重なり合って配設さｎる２枚の引出し電極
４．５の重なり部分に、一般に使用されている熱絶縁性
物質７を介在させている。

この結果、プラズマ２と接する内側の引出し電極５の熱
は熱絶縁性物質７があることから、外側の引出し電極４
に伝導し難くなり、常に内側の引出し電極５は高温に維
持されることになる。このため、引出し電極開孔部に付
着する析出物質の堆積速度を遅らさせイオン源の長寿命
化を図る事が出来る。

なお本発明は前記実施例に限定されない。すなわち、熱
絶縁性物質り形状は他の構造でもよい。

以上のようＫ、本発明によれば、プラズマに接する引出
し電極部分が高温に保持出来る為、引出し電極開孔部に
解離した物質が析出付着しずらくなり、イオン源の寿命
が従来に比較して約２倍以上になる。

また、イオンビームの出射孔部分が引出し電極５の高温
維持によって高温になる事により、ガス第 分子の熱解離効果が上がり、引出し得るイすンビーム電
流が増加する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のマイクロ波イオン源のプラズマよりイオ
ンビームを引出す部分の断面図であり、第２図は本発明
（（よるマイクロ波イオン源の部分断面図である。 １・−・放電室、２・・・プラズマ、３・・イオンビー
ム、４．５・・・引出し電極、６・・・析出物質、７・
・・熱絶縁性物質。 −−，り １図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、プラズマを発生させる放電室の開口部に相互に重な
   り合って配設され、かつ中央部が開口した２枚の引出し
   電極を有するイオンビーム発生装置において、前記両引
   出し電極の重なり合う部分には熱絶縁性物質が介在され
   ていることを特徴とするイオンビーム発生装置。