JPS5821949U - イオン源装置 - Google Patents

イオン源装置

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JPS5821949U
JPS5821949U JP11640881U JP11640881U JPS5821949U JP S5821949 U JPS5821949 U JP S5821949U JP 11640881 U JP11640881 U JP 11640881U JP 11640881 U JP11640881 U JP 11640881U JP S5821949 U JPS5821949 U JP S5821949U
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JP
Japan
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ion source
source device
arc chamber
source extraction
extraction electrode
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JP11640881U
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English (en)
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JPS6321879Y2 (ja
Inventor
勝男 内藤
青木　正彦
Original Assignee
日新ハイボルテ−ジ株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図Ａ、　Ｂはフリ゛−マン型イオン源装置の断面図
およびＡ図ｘ−ｘ’における正面図である。 第２図Ａ、　Ｂは本考案の一実施例の断面図およびＡ図
Ｙ−Ｙ’における正面図である。 １・・・・・・アークチャンバー、２・・・・・・フィ
ラメント、３・・・・・・引出スリット、４・・・・・
・引出電極、５・・・・・・減速電極、６・・・・・・
ガス導入孔、７・・・・・・アークチャンバー、８・・
・・・・フィラメント、９・・・・・・引出スリット、
１０・・・・・・引出電極、１１・・・・・・減速電極
、１２・・・・・・ガス導入孔、１３・・・・・・絶縁
体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. アークチャンバー内室に複数條のフィラメントが配置さ
    れ、同内壁に複数の絶縁体が固定され、複数條のイオン
    源引出スリットが備えられるアークチャンバーに対する
    イオン源引出電極系に適当な曲率を持たせてな為イオン
    源装置。
JP11640881U 1981-08-04 1981-08-04 イオン源装置 Granted JPS5821949U (ja)

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JP11640881U JPS5821949U (ja) 1981-08-04 1981-08-04 イオン源装置

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JP11640881U JPS5821949U (ja) 1981-08-04 1981-08-04 イオン源装置

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Publication Number Publication Date
JPS5821949U true JPS5821949U (ja) 1983-02-10
JPS6321879Y2 JPS6321879Y2 (ja) 1988-06-16

Family

ID=29910630

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JP (1) JPS5821949U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60105154A (ja) * 1983-08-15 1985-06-10 アプライド　マテリアルズ　インコ−ポレ−テツド イオン注入装置
JPS61151952A (ja) * 1984-12-26 1986-07-10 Ulvac Corp 集束ビ−ム発生用イオン源引出しスリツト装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5255598U (ja) * 1975-10-20 1977-04-21
JPS5254899A (en) * 1975-10-29 1977-05-04 Hitachi Ltd Ion accelation device

Patent Citations (2)

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JPS6321879Y2 (ja) 1988-06-16

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