JPS5883459U - イオンプレ−テイング装置における陰極部 - Google Patents
イオンプレ−テイング装置における陰極部Info
- Publication number
- JPS5883459U JPS5883459U JP17979181U JP17979181U JPS5883459U JP S5883459 U JPS5883459 U JP S5883459U JP 17979181 U JP17979181 U JP 17979181U JP 17979181 U JP17979181 U JP 17979181U JP S5883459 U JPS5883459 U JP S5883459U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- initial discharge
- ion plating
- cathode part
- plating equipment
- Prior art date
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面はこの考案の一実施例を示す一部欠截断面図である
。 １・・・・・・真空容器、２・・・・・・初期放電用陰
極、３・・・・・・初期放電用陽極、５・・・・・・ラ
ンタン合金を素材とした補助陰極又は熱源。
。 １・・・・・・真空容器、２・・・・・・初期放電用陰
極、３・・・・・・初期放電用陽極、５・・・・・・ラ
ンタン合金を素材とした補助陰極又は熱源。
Claims (1)
- 真空容器内に初期放電用陰極を設け、該陰極付近に初期
放電用陽極を設けたイオンブレーティング装置において
、初期放電用陰極に遊嵌し、かつ、該陰極の先端部を稍
露出させる筒状体を設け、該筒状体の内周にランタン合
金を素材とした補助陰極あるいは熱源を設けたことを特
徴とするイオンブレーティング装置における陰極部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17979181U JPS5883459U (ja) | 1981-12-01 | 1981-12-01 | イオンプレ−テイング装置における陰極部 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17979181U JPS5883459U (ja) | 1981-12-01 | 1981-12-01 | イオンプレ−テイング装置における陰極部 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5883459U true JPS5883459U (ja) | 1983-06-06 |
Family
ID=29975802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17979181U Pending JPS5883459U (ja) | 1981-12-01 | 1981-12-01 | イオンプレ−テイング装置における陰極部 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5883459U (ja) |
-
1981
- 1981-12-01 JP JP17979181U patent/JPS5883459U/ja active Pending
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