JPS5887252U - 電子ビ−ム源 - Google Patents
電子ビ−ム源Info
- Publication number
- JPS5887252U JPS5887252U JP18387281U JP18387281U JPS5887252U JP S5887252 U JPS5887252 U JP S5887252U JP 18387281 U JP18387281 U JP 18387281U JP 18387281 U JP18387281 U JP 18387281U JP S5887252 U JPS5887252 U JP S5887252U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam source
- electron beam
- electron emitting
- emitting member
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示した電子ビーム源の熱陰
極部、第２図ａは前記熱陰極部の電子放出面を下から見
た図、第２図すは同じ電子放出面を横から見た図、第２
図Ｃは第２図すの一部拡大図である。 １：中空円筒部、２：電子放出部材、３：中心金属柱、
Ｅ：エミッション部。
極部、第２図ａは前記熱陰極部の電子放出面を下から見
た図、第２図すは同じ電子放出面を横から見た図、第２
図Ｃは第２図すの一部拡大図である。 １：中空円筒部、２：電子放出部材、３：中心金属柱、
Ｅ：エミッション部。
Claims (1)
- 平面状の電子放出面を有し、中心に行くに従って厚くな
る様な電子放出部材を有する熱陰極と、前記電子放出部
材全体に電流を流す手段とを具備したことを特徴とする
電子ビーム源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18387281U JPS5887252U (ja) | 1981-12-10 | 1981-12-10 | 電子ビ−ム源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18387281U JPS5887252U (ja) | 1981-12-10 | 1981-12-10 | 電子ビ−ム源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5887252U true JPS5887252U (ja) | 1983-06-13 |
| JPH0125403Y2 JPH0125403Y2 (ja) | 1989-07-31 |
Family
ID=29983520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18387281U Granted JPS5887252U (ja) | 1981-12-10 | 1981-12-10 | 電子ビ−ム源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5887252U (ja) |
-
1981
- 1981-12-10 JP JP18387281U patent/JPS5887252U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0125403Y2 (ja) | 1989-07-31 |
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