JPS60158654U - イオン源装置 - Google Patents
イオン源装置Info
- Publication number
- JPS60158654U JPS60158654U JP4715284U JP4715284U JPS60158654U JP S60158654 U JPS60158654 U JP S60158654U JP 4715284 U JP4715284 U JP 4715284U JP 4715284 U JP4715284 U JP 4715284U JP S60158654 U JPS60158654 U JP S60158654U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- source device
- ion source
- filament elements
- box
- activating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図イ９口は、それぞれ本考案の一実施例を示す装置
の正面図、及び側面図、第２図は、本考案の他の実施例
を示す装置め正面図、第３図は、従来のイオン化装置の
一例を示す正面図である。 １・・・・・・ボックス、２・・・・・・試料導入パイ
プ、３゜４．４・・・・・・フィラメント素子、６・・
・・・・通孔。
の正面図、及び側面図、第２図は、本考案の他の実施例
を示す装置め正面図、第３図は、従来のイオン化装置の
一例を示す正面図である。 １・・・・・・ボックス、２・・・・・・試料導入パイ
プ、３゜４．４・・・・・・フィラメント素子、６・・
・・・・通孔。
Claims (1)
- ボックスの外周に複数個のフィラメント素子を配設する
とともに、前記複数個のフィラメント素子の１個を外部
から選択して作動せしめる機構を設けてなるイオン源装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4715284U JPS60158654U (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | イオン源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4715284U JPS60158654U (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | イオン源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60158654U true JPS60158654U (ja) | 1985-10-22 |
Family
ID=30562220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4715284U Pending JPS60158654U (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | イオン源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60158654U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020196450A1 (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | アトナープ株式会社 | 加熱されたワイヤーによる処理を提供する装置 |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP4715284U patent/JPS60158654U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020196450A1 (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | アトナープ株式会社 | 加熱されたワイヤーによる処理を提供する装置 |
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