JPS60143770U - 電子衝撃型蒸着装置 - Google Patents

電子衝撃型蒸着装置

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JPS60143770U
JPS60143770U JP3241184U JP3241184U JPS60143770U JP S60143770 U JPS60143770 U JP S60143770U JP 3241184 U JP3241184 U JP 3241184U JP 3241184 U JP3241184 U JP 3241184U JP S60143770 U JPS60143770 U JP S60143770U
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JP
Japan
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electron impact
evaporation equipment
vapor deposition
vapor
impact evaporation
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JP3241184U
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俊敬 鳥飼
尾鍋　研太郎
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日本電気株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
示１図は従来装置、第２図は本考案の装置の概略図であ
る。 図において１は蒸着源カバー、１′は小孔、２はフィラ
メント、３ａ、３ｂはフィラメントの固定電極、４は蒸
着金属、５はしやへい板、６は固定治具、７はフィラメ
ント加熱電源、８は高圧電　−源、９は被ふく絶縁物質
である。第３図は蒸着時間に対する蒸着膜厚の一例で３
１は従来の場合、３２は本考案の場合を示している。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 容器内に蒸着源と試料保持手段とを少なくとも備え、−
    前記蒸着源が、蒸着金属を保持した陽極と、熱電子放出
    用の）イラメントとを少なくとも備えている電子衝撃型
    蒸着装置において、前記蒸着金属の先端領域を除いた部
    分を絶縁物質で被覆しであることを特徴とする電子衝撃
    型蒸着装置。
JP3241184U 1984-03-07 1984-03-07 電子衝撃型蒸着装置 Granted JPS60143770U (ja)

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JPS60143770U true JPS60143770U (ja) 1985-09-24
JPH0238925Y2 JPH0238925Y2 (ja) 1990-10-19

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