JPS6139156U - 薄膜形成装置 - Google Patents
薄膜形成装置Info
- Publication number
- JPS6139156U JPS6139156U JP12094384U JP12094384U JPS6139156U JP S6139156 U JPS6139156 U JP S6139156U JP 12094384 U JP12094384 U JP 12094384U JP 12094384 U JP12094384 U JP 12094384U JP S6139156 U JPS6139156 U JP S6139156U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film forming
- forming equipment
- canopy
- anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の１実施例の基本構成図、第２図は本考
案の位加電圧と基板温度の関係図である。 １・・・陰極（ターゲット）、２・・・陽極、３・・・
円筒型トラップ電極、４・・・基板ホルダー。
案の位加電圧と基板温度の関係図である。 １・・・陰極（ターゲット）、２・・・陽極、３・・・
円筒型トラップ電極、４・・・基板ホルダー。
Claims (1)
- 真空槽とその中に配置したスパッタリング用陰電極と陽
極および基板ホルダからなる系において基板ホルダ側、
陽極上に電子を捕捉するためのひさしの付いた円筒状の
トラップ電極を配置することおよびドラツプ電極に２０
〜３５Ｖの十電位を印加することを特徴とする薄膜形成
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12094384U JPS6139156U (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | 薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12094384U JPS6139156U (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | 薄膜形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139156U true JPS6139156U (ja) | 1986-03-12 |
Family
ID=30679740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12094384U Pending JPS6139156U (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | 薄膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6139156U (ja) |
-
1984
- 1984-08-08 JP JP12094384U patent/JPS6139156U/ja active Pending
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