JPS6124469U - イオンプレ−テイング装置 - Google Patents

イオンプレ−テイング装置

Info

Publication number
JPS6124469U
JPS6124469U JP10802184U JP10802184U JPS6124469U JP S6124469 U JPS6124469 U JP S6124469U JP 10802184 U JP10802184 U JP 10802184U JP 10802184 U JP10802184 U JP 10802184U JP S6124469 U JPS6124469 U JP S6124469U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion plating
plating device
evaporation
insulating substrate
applying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10802184U
Other languages
English (en)
Inventor
朋子 今薗
廣幸 内田
Original Assignee
三菱レイヨン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 三菱レイヨン株式会社 filed Critical 三菱レイヨン株式会社
Priority to JP10802184U priority Critical patent/JPS6124469U/ja
Publication of JPS6124469U publication Critical patent/JPS6124469U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す回路図マある。 １・・・絶縁性基板、２・・・放電用コイル、３・・・
蒸発物質、４・・・電子銃フィラメント、５・・・蒸発
源、６・・・電子銃電源、７・・・イオン加速用交流電
源、訃・・イオン加速用直流電源、９・・・イオン化用
高周波電源、１０・・・イオン化用直流電源、１１・・
・排気導入管、１２・・・薄膜形成室、１３・・・膜厚
モニター。 ４ｔ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 交流電圧を原料蒸発源と絶縁性基板との間に印加して第
    １次蒸着を行わしめる手段と次いで直流電圧を原料蒸着
    源と第１次蒸着処理基板との間に印加して第２次蒸着を
    行わしめる手段とを備えたイオンプレーテイング装置。
JP10802184U 1984-07-17 1984-07-17 イオンプレ−テイング装置 Pending JPS6124469U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10802184U JPS6124469U (ja) 1984-07-17 1984-07-17 イオンプレ−テイング装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10802184U JPS6124469U (ja) 1984-07-17 1984-07-17 イオンプレ−テイング装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6124469U true JPS6124469U (ja) 1986-02-13

Family

ID=30667239

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10802184U Pending JPS6124469U (ja) 1984-07-17 1984-07-17 イオンプレ−テイング装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6124469U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6124469U (ja) イオンプレ−テイング装置
JPS59107473U (ja) イオンビ−ム照射装置
JPS5983971U (ja) イオンプレ−テイング装置
JPS60181365U (ja) イオンプレ−テイング装置
JPS59103756U (ja) 高周波プラズマ励起用電極
JPS5995157U (ja) イオンプレ−テイング装置
JPS5969964U (ja) 成膜装置
JPS6139156U (ja) 薄膜形成装置
JPS5974659U (ja) イオン注入装置のイオン発生装置
JPS60143770U (ja) 電子衝撃型蒸着装置
JPS59187136U (ja) 半導体薄膜形成装置
JPS5944770U (ja) プラズマｃｖｄ装置
JPS5986700U (ja) プラズマ装置用放電々極
JPS60185656U (ja) 高周波スパツタ装置
JPS58160309U (ja) 膜厚モニタ
JPS6147067U (ja) 被膜形成装置
JPS58154554U (ja) 高周波イオン源
JPS58101458U (ja) 質量分析装置
JPS5871958U (ja) マグネトロン
JPS60151295U (ja) 低温プラズマ発生用電極
JPS5818966U (ja) スパツタリング装置
JPS59160556U (ja) イオンプレ−テイング装置
JPS60122362U (ja) プラズマエツチング装置
JPH0413050U (ja)
JPS592132U (ja) プラズマｃｖｄ装置