JPS5944770U - プラズマｃｖｄ装置 - Google Patents
プラズマｃｖｄ装置Info
- Publication number
- JPS5944770U JPS5944770U JP14053982U JP14053982U JPS5944770U JP S5944770 U JPS5944770 U JP S5944770U JP 14053982 U JP14053982 U JP 14053982U JP 14053982 U JP14053982 U JP 14053982U JP S5944770 U JPS5944770 U JP S5944770U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma cvd
- cvd apparatus
- cvd equipment
- plasma
- high frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案を説明するためのプラズマＣＶＤ装置の
模式図である。 記号の説明：１・・・真空槽、２・・・ガス供給系、３
・・・真空排気系、４・・・高周波印加電極、５・・・
基板設置電極、６・・・基板、７・・・絶縁材、８・・
・高周波電源、９・・・金属メツシュ。
模式図である。 記号の説明：１・・・真空槽、２・・・ガス供給系、３
・・・真空排気系、４・・・高周波印加電極、５・・・
基板設置電極、６・・・基板、７・・・絶縁材、８・・
・高周波電源、９・・・金属メツシュ。
Claims (1)
- 、真空槽内に高周波印加電極とア、ノード電極を配備し
、所定のカスを導入してプラズマを発生させ、薄膜を堆
積せしめるプラズマＣＶＤ装置において、前記プラズマ
の発生する空間の外周部を囲むように、金属メツシュま
たは前記ガスの流れを妨げない金属片もしくは絶縁物を
配置したことを特徴とするプラズマＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14053982U JPS5944770U (ja) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | プラズマｃｖｄ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14053982U JPS5944770U (ja) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | プラズマｃｖｄ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5944770U true JPS5944770U (ja) | 1984-03-24 |
Family
ID=30314614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14053982U Pending JPS5944770U (ja) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | プラズマｃｖｄ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5944770U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62172718A (ja) * | 1986-01-27 | 1987-07-29 | Canon Inc | 堆積膜形成装置 |
| JPH02140972U (ja) * | 1989-04-25 | 1990-11-26 |
-
1982
- 1982-09-18 JP JP14053982U patent/JPS5944770U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62172718A (ja) * | 1986-01-27 | 1987-07-29 | Canon Inc | 堆積膜形成装置 |
| JPH02140972U (ja) * | 1989-04-25 | 1990-11-26 |
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