JPS605100U - ホロ−カソ−ド放電型プラズマ発生装置 - Google Patents

ホロ−カソ−ド放電型プラズマ発生装置

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JPS605100U
JPS605100U JP9689283U JP9689283U JPS605100U JP S605100 U JPS605100 U JP S605100U JP 9689283 U JP9689283 U JP 9689283U JP 9689283 U JP9689283 U JP 9689283U JP S605100 U JPS605100 U JP S605100U
Authority
JP
Japan
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hollow cathode
discharge type
plasma generator
type plasma
cathode discharge
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JP9689283U
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JPH0115120Y2 (ja
Inventor
中沢　博之
Original Assignee
日本電子株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のホローカソード放電型プラズマ発生装置
の概略図、第２図は該プラズマ発生装置による被排気室
内のプラズマ密度分布を示したもの、第３図ａ、　　ｂ
は本考案のホローカソード放電型プラズマ発生装置のホ
ローカソードの一実施例を示したもの、第４図は該カソ
ードを用いたプラズマ発生装置、第５図は該装置による
被排気室内のプラズマ密度分布を示したもの、第６図〜
１０図は本考案のホローカソードの他の実施例を示した
ものである。 １：被排気室、５：ターゲット、６：直流高電圧源、　
　　゛７：内カソード、８：外力ソード、９：タップネ
ジ、１０：ガス導入孔、１１：ガス移送孔、１２．１３
：ホロー発生孔。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被排気室内に配置された中空陰極内に高密度のプラズマ
    を発生させ、被排気室内に該プラズマを拡散させる様に
    なした装置において、前記中空陰極から被排気室内に拡
    散し始めようとするプラズマが少なくとも略リング状に
    形成される様に中空陰極を構成したホローカソード放電
    型プラズマ発生装置。
JP9689283U 1983-06-23 1983-06-23 ホロ−カソ−ド放電型プラズマ発生装置 Granted JPS605100U (ja)

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Publication Number Publication Date
JPS605100U true JPS605100U (ja) 1985-01-14
JPH0115120Y2 JPH0115120Y2 (ja) 1989-05-08

Family

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JP9689283U Granted JPS605100U (ja) 1983-06-23 1983-06-23 ホロ−カソ−ド放電型プラズマ発生装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013030478A (ja) * 2011-06-24 2013-02-07 Saga Univ プラズマ処理装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013030478A (ja) * 2011-06-24 2013-02-07 Saga Univ プラズマ処理装置

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JPH0115120Y2 (ja) 1989-05-08

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