JPS5969965U - グロ−放電発生装置 - Google Patents
グロ−放電発生装置Info
- Publication number
- JPS5969965U JPS5969965U JP16684582U JP16684582U JPS5969965U JP S5969965 U JPS5969965 U JP S5969965U JP 16684582 U JP16684582 U JP 16684582U JP 16684582 U JP16684582 U JP 16684582U JP S5969965 U JPS5969965 U JP S5969965U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glow discharge
- discharge generator
- high frequency
- frequency electrode
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はグロー放電発生装置の一例として示した高周波
イオンブレーティング装置の概略図、第２図は本考案の
一実施例を示した高周波イオンブレーティング装置の概
略図である。 １・・・・・・排気室、４・・・・・・高周波電極、８
・・・・・・高周波電源、１３・・・・・・比較回路。
イオンブレーティング装置の概略図、第２図は本考案の
一実施例を示した高周波イオンブレーティング装置の概
略図である。 １・・・・・・排気室、４・・・・・・高周波電極、８
・・・・・・高周波電源、１３・・・・・・比較回路。
Claims (1)
- 排気室内に高周波電極を配置し、該室内に高周波グロー
放電を発生出来る様になし、前記高周波電極の電位の直
流成分を検出する様になしたグロー放電発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16684582U JPS5969965U (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | グロ−放電発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16684582U JPS5969965U (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | グロ−放電発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5969965U true JPS5969965U (ja) | 1984-05-12 |
Family
ID=30365178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16684582U Pending JPS5969965U (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | グロ−放電発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5969965U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5231985A (en) * | 1975-09-08 | 1977-03-10 | Ulvac Corp | Apparatus of detecting generation of glow electric discharge and indic ating alignment state |
| JPS55145171A (en) * | 1979-04-28 | 1980-11-12 | Tokuda Seisakusho Ltd | Arc-breaking method of glow discharge device using high frequency electric supply source and its apparatus |
| JPS5941475A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-07 | Ulvac Corp | 放電処理装置における放電状態監視装置 |
-
1982
- 1982-11-02 JP JP16684582U patent/JPS5969965U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5231985A (en) * | 1975-09-08 | 1977-03-10 | Ulvac Corp | Apparatus of detecting generation of glow electric discharge and indic ating alignment state |
| JPS55145171A (en) * | 1979-04-28 | 1980-11-12 | Tokuda Seisakusho Ltd | Arc-breaking method of glow discharge device using high frequency electric supply source and its apparatus |
| JPS5941475A (ja) * | 1982-09-02 | 1984-03-07 | Ulvac Corp | 放電処理装置における放電状態監視装置 |
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