JPS5984757U - イオンビ−ム装置 - Google Patents
イオンビ−ム装置Info
- Publication number
- JPS5984757U JPS5984757U JP18048182U JP18048182U JPS5984757U JP S5984757 U JPS5984757 U JP S5984757U JP 18048182 U JP18048182 U JP 18048182U JP 18048182 U JP18048182 U JP 18048182U JP S5984757 U JPS5984757 U JP S5984757U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion beam
- ion
- beam device
- emitter
- cooling member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はイオンビーム装置の概略を説明するだめの模式
図、第２図〜第４図は従来の不都合を説明するための図
、第５図はこの考案の一実施例の要部を示す一部断面正
面図、第６図〜第９図は上述実施例を説明するための図
である。 ６は偏向電極、′１１はコールドフィンガ、１２は取付
ブロック、１２ｂは酸ネジ部、１２Ｃ。 １４ｂはガス供給孔、１３はエミッタブロック、１５は
針状エミッタ、２０は引出電極、２９は雄ネジ部材であ
る。 「−一へ」−１ノ 第５図 ・ 廿“− Ｚｉｌｌ ５ヲｐ”４２ 第６図 １１ら− ７ 、’−ｉ’ｊｊｌ： ９足ｐ介 ば−コ ゛ 第８図 − ＪＪ：氷、ｒ：ｙｆ
図、第２図〜第４図は従来の不都合を説明するための図
、第５図はこの考案の一実施例の要部を示す一部断面正
面図、第６図〜第９図は上述実施例を説明するための図
である。 ６は偏向電極、′１１はコールドフィンガ、１２は取付
ブロック、１２ｂは酸ネジ部、１２Ｃ。 １４ｂはガス供給孔、１３はエミッタブロック、１５は
針状エミッタ、２０は引出電極、２９は雄ネジ部材であ
る。 「−一へ」−１ノ 第５図 ・ 廿“− Ｚｉｌｌ ５ヲｐ”４２ 第６図 １１ら− ７ 、’−ｉ’ｊｊｌ： ９足ｐ介 ば−コ ゛ 第８図 − ＪＪ：氷、ｒ：ｙｆ
Claims (1)
- 針状エミッタ、イオン引出電極および気体イオン源供給
手段からなるエミッタ部を冷却部材に取り付けてなるイ
オンビームガンと、このイオンビームガンより発せられ
たビームを偏向する偏向手段とが真空装置内に配されて
なるイオンビーン装置において、上記真空装置内で上記
エミッタ部が上記冷却部材と着脱可能とされたことを特
徴とするイオン、ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18048182U JPS5984757U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | イオンビ−ム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18048182U JPS5984757U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | イオンビ−ム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5984757U true JPS5984757U (ja) | 1984-06-08 |
Family
ID=30391323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18048182U Pending JPS5984757U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | イオンビ−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5984757U (ja) |
-
1982
- 1982-11-29 JP JP18048182U patent/JPS5984757U/ja active Pending
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