JPS58172434U - イオン化成膜装置 - Google Patents

イオン化成膜装置

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JPS58172434U
JPS58172434U JP6867282U JP6867282U JPS58172434U JP S58172434 U JPS58172434 U JP S58172434U JP 6867282 U JP6867282 U JP 6867282U JP 6867282 U JP6867282 U JP 6867282U JP S58172434 U JPS58172434 U JP S58172434U
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JP
Japan
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anode electrode
plate
cathode
bodies
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JP6867282U
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男谷　忠義
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Original Assignee
Jeol Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は基板にカーボン膜を成膜する為のイオン化成膜
装置、第２図ａ及びｂは本考案に係るアノード電極の一
実施例を示したもの、第３図はその板状体の拡大図、第
４図は、前記実施例の動作の説明を補足する為の図であ
る。 １：被排気室、３：石英棒、４：カソードフィラメント
、５：加熱電源、６：アノード電極、７：基板、９Ａ、
　　９Ｂ：底面、Ｉ　ＯＡ、　　１０Ｂ、　　Ｉ　ＯＣ
，・・・：板状体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被排気室内に、カソードフィラメント、該フィラメント
    を囲う様にアノード電極、該アノード電極の外に基板を
    各々配置し、前記カソードとアノード電極間に負の電圧
    、前記カソードと基板間に正の電圧を各々印加し、前記
    被排気室内に炭素成分を持つ花台物のガスを導入して、
    前記基板にカーボン膜を付着させる。ようになした装置
    において、前記アノード電極を複数の断面がくの字状の
    板状体でなし、該各板状体の角が前記基板方向に向く様
    に且つ隣り合う板状体と間隔が明く様に各板状体を配置
    したことを特徴とするイオン化成膜装置。
JP6867282U 1982-05-11 1982-05-11 イオン化成膜装置 Granted JPS58172434U (ja)

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JP6867282U JPS58172434U (ja) 1982-05-11 1982-05-11 イオン化成膜装置

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JPS58172434U true JPS58172434U (ja) 1983-11-17
JPS6140767Y2 JPS6140767Y2 (ja) 1986-11-20

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ID=30078432

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