JPS6013740U - 試料保持装置 - Google Patents

試料保持装置

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JPS6013740U
JPS6013740U JP10496483U JP10496483U JPS6013740U JP S6013740 U JPS6013740 U JP S6013740U JP 10496483 U JP10496483 U JP 10496483U JP 10496483 U JP10496483 U JP 10496483U JP S6013740 U JPS6013740 U JP S6013740U
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Japan
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sample holding
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holder
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Pending
Application number
JP10496483U
Other languages
English (en)
Inventor
小美濃　一男
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置を説明するための図であり、第２図は
本考案の一実施例装置の概略図、第３図は第２図の一実
施例装置をＡ−Ａ’面より見た平面略図である。 １：試料ホルダー、２：絶縁物質、３：電極、４：試料
、５：電源、１０：真空管、１１：電子照射系、１２：
排気管、１３：調整弁、１５：操作弁、１４゜１６：排
気ポンプ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料ホルダー上に載置される試料を荷電ビームで衝撃す
    る装置において、試料の下に絶縁体を介して電極材を配
    置し該試料と電極材との間に働くクー［１ンカにより前
    記試料ホルダー上に試料を固定する手段と、試料と絶縁
    体の間に形成される空間を排気して得られる吸引力によ
    り前記試料ホルタ−上に試料を固定する手段を設けたこ
    とを特徴とする試料保持装置。
JP10496483U 1983-07-06 1983-07-06 試料保持装置 Pending JPS6013740U (ja)

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JP10496483U JPS6013740U (ja) 1983-07-06 1983-07-06 試料保持装置

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JP10496483U JPS6013740U (ja) 1983-07-06 1983-07-06 試料保持装置

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JPS6013740U true JPS6013740U (ja) 1985-01-30

Family

ID=30246241

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JP (1) JPS6013740U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6094247A (ja) * 1983-10-31 1985-05-27 Toshiba Mach Co Ltd 静電チヤツク
JPH0267745A (ja) * 1988-09-02 1990-03-07 Canon Inc ウエハ保持方法
JP2011181940A (ja) * 2011-04-13 2011-09-15 Ulvac Japan Ltd 吸着装置の製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS609626A (ja) * 1983-06-30 1985-01-18 インタ−ナショナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−ション ピンチャック及びその製法

Patent Citations (1)

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JPS609626A (ja) * 1983-06-30 1985-01-18 インタ−ナショナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−ション ピンチャック及びその製法

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