JPH0413050U - - Google Patents
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- JPH0413050U JPH0413050U JP5051190U JP5051190U JPH0413050U JP H0413050 U JPH0413050 U JP H0413050U JP 5051190 U JP5051190 U JP 5051190U JP 5051190 U JP5051190 U JP 5051190U JP H0413050 U JPH0413050 U JP H0413050U
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- high frequency
- electrodes
- electrode
- electrostatic chuck
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- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の実施例を示す図である。第２
図は従来の例を示す図である。 １……ウエハー、２……絶縁物、３……静電吸
着用の正電極、４……静電吸着用の負電極、５…
…絶縁物、６……高周波印加用の電極、７……カ
バー、８……固定台、９……チヤンバー、１０…
…静電吸着用の直流電源、１１……ローパスフイ
ルター、１２……高周波電源、１３……整合回路
、１４……ターゲツト、１５……ターゲツト用サ
セプタ。
図は従来の例を示す図である。 １……ウエハー、２……絶縁物、３……静電吸
着用の正電極、４……静電吸着用の負電極、５…
…絶縁物、６……高周波印加用の電極、７……カ
バー、８……固定台、９……チヤンバー、１０…
…静電吸着用の直流電源、１１……ローパスフイ
ルター、１２……高周波電源、１３……整合回路
、１４……ターゲツト、１５……ターゲツト用サ
セプタ。
Claims (1)
- 電極間に吸着用の電流電圧を印加するための電
源と、一方の電極表面に絶縁物を被着して誘電体
を構成し、前記誘電体上に配置されたウエハーを
、静電気力により吸着する、少なくとも一対の静
電吸着用電極と、高周波電源に接続された高周波
印可用の電極とからなるスパツタ用静電チヤツク
式サセプタにおいて、チヤツク電極および高周波
電極の周囲に交換可能な非金属製のカバーを取り
付ける事を特徴とするスパツタ用静電チヤツク式
サセプタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5051190U JPH0413050U (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5051190U JPH0413050U (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0413050U true JPH0413050U (ja) | 1992-02-03 |
Family
ID=31569121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5051190U Pending JPH0413050U (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0413050U (ja) |
-
1990
- 1990-05-14 JP JP5051190U patent/JPH0413050U/ja active Pending
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