JPH044058U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のターゲツトホルダー縦断面図
、第２図は従来のターゲツトホルダー縦断面図を
示す。 １……静電チヤツク電極、２……プラス端子、
３……マイナス端子、４……プラス端子用リード
線、５……マイナス端子用リード線、６……プラ
ス電極、７……マイナス電極、８……フイードス
ルー、９……絶縁膜、１０……高周波印加用電極
、１１……セラミツクチユーブ、１２……磁石、
１３……ヨーク、１４……マグネツトホルダー、
１５……ターゲツト、１６……真空容器、１７…
…サブフランジ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 対向した二つの電極を有するスパツタ装置のタ
   ーゲツトホルダー用静電チヤツクにおいて、前記
   ターゲツトホルダー用静電チヤツクの電源用マイ
   ナス端子及びリード線を、ターゲツトホルダーに
   内蔵ないぞうすることを特徴とするターゲツトホ
   ルダー。