JPH048440U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH048440U JPH048440U JP4873790U JP4873790U JPH048440U JP H048440 U JPH048440 U JP H048440U JP 4873790 U JP4873790 U JP 4873790U JP 4873790 U JP4873790 U JP 4873790U JP H048440 U JPH048440 U JP H048440U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer holder
- electrostatic chuck
- lead wire
- negative terminal
- built
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案のウエハーホルダー縦断面図、
第２図は従来のウエハーホルダー縦断面図を示す
。 １……静電チヤツク電極、２……プラス端子、
３……マイナス端子、４……プラス端子用リード
線、５……マイナス端子用リード線、６……プラ
ス電極、７……マイナス電極、８……フイードス
ルー、９……絶縁膜、１０……高周波印加用電極
、１１……セラミツクチユーブ、１２……ヒータ
ー、１３……リフレクタ、１４……ヒーターホル
ダー、１５……ウエハー、１６……真空容器、１
７……サブフランジ。
第２図は従来のウエハーホルダー縦断面図を示す
。 １……静電チヤツク電極、２……プラス端子、
３……マイナス端子、４……プラス端子用リード
線、５……マイナス端子用リード線、６……プラ
ス電極、７……マイナス電極、８……フイードス
ルー、９……絶縁膜、１０……高周波印加用電極
、１１……セラミツクチユーブ、１２……ヒータ
ー、１３……リフレクタ、１４……ヒーターホル
ダー、１５……ウエハー、１６……真空容器、１
７……サブフランジ。
Claims (1)
- 対向した二つの電極を有するスパツタ装置のウ
エハーホルダー用静電チヤツクにおいて、前記ウ
エハーホルダー用静電チヤツクの電源用マイナス
端子及びリード線を、ウエハーホルダーに内蔵す
ることを特徴とするウエハーホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4873790U JPH048440U (ja) | 1990-05-10 | 1990-05-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4873790U JPH048440U (ja) | 1990-05-10 | 1990-05-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH048440U true JPH048440U (ja) | 1992-01-27 |
Family
ID=31565822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4873790U Pending JPH048440U (ja) | 1990-05-10 | 1990-05-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH048440U (ja) |
-
1990
- 1990-05-10 JP JP4873790U patent/JPH048440U/ja active Pending