JPH0330786U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0330786U
JPH0330786U JP8870389U JP8870389U JPH0330786U JP H0330786 U JPH0330786 U JP H0330786U JP 8870389 U JP8870389 U JP 8870389U JP 8870389 U JP8870389 U JP 8870389U JP H0330786 U JPH0330786 U JP H0330786U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductors
voltage
pair
electrostatic
adsorption device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8870389U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP8870389U priority Critical patent/JPH0330786U/ja
Priority to US07/531,108 priority patent/US5173834A/en
Publication of JPH0330786U publication Critical patent/JPH0330786U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第５図は本考案による静電吸着装置
の具体的一実施例を説明するための図面であつて
、第１図および第２図夫々は分解斜視図および断
面図、第３図は電気回路図および第４図は第３図
および第５図に示されている電気回路における各
部の波形のタイムチヤート図であるとともに、第
５図は第３図の電気回路図に対応する別実施例の
電気回路図である。 １……吸着層、２……被吸着物、３ａ，３ｂ…
…カーボン電極、４……絶縁性粘着層、５……支
持シート、６……電磁リレー、７……倍電圧整流
回路、８……高圧発生指示スイツチ、９……フリ
ツプフロツプ回路、１１……放電抵抗、１２……
ワンシヨツトマルチバイブレータ、１３……リレ
ー。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 吸着層内または吸着層の一側面側に互に電気
    的に分離されて配される対の導電体を有し、この
    対の導電体の導電体間に印加される直流電圧また
    はそれと等価な電圧による静電的吸引力により前
    記吸着層の他面側に位置される被吸着物を吸着保
    持する静電吸着装置において、 (a) 前記対の導電体の導電体間に印加する直
    流電圧またはそれと等価な電圧を発生させる印加
    電圧発生手段および (b) この印加電圧発生手段からの前記対の導
    電体の導電体間に印加する直流電圧またはそれと
    等価な電圧の発生停止に応じてその対の導電体の
    導電体間を短絡する短絡手段を備えることを特徴
    とする静電吸着装置。 ２ 前記短絡手段が放電抵抗より構成されること
    を特徴とする請求項１に記載の静電吸着装置。 ３ 前記短絡手段の対の導電体の導電体間の短絡
    による前記吸着層に帯電された電荷の消滅に応じ
    てその対の導電体の導電体間への直流電圧または
    それと等価な電圧の印加極性を反転させる印加極
    性反転手段を具えることを特徴とする請求項１ま
    たは２に記載の静電吸着装置。 ４ 前記吸着層が体積電気抵抗率１０１３Ωcm以
    上（ＪＩＳ Ｋ６９１１ ５−１３項に準ずる試
    験にもとづく）の誘電材料より構成されることを
    特徴とする請求項１，２または３に記載の静電吸
    着装置。
JP8870389U 1989-06-02 1989-07-27 Pending JPH0330786U (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8870389U JPH0330786U (ja) 1989-07-27 1989-07-27
US07/531,108 US5173834A (en) 1989-06-02 1990-05-31 Electrostatic attraction apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8870389U JPH0330786U (ja) 1989-07-27 1989-07-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0330786U true JPH0330786U (ja) 1991-03-26

Family

ID=31638297

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8870389U Pending JPH0330786U (ja) 1989-06-02 1989-07-27

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0330786U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62153034A (ja) * 1985-12-25 1987-07-08 Taihei Kagaku Seihin Kk 静電保持装置
JPS62287950A (ja) * 1986-06-04 1987-12-14 Canon Inc 静電吸着装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62153034A (ja) * 1985-12-25 1987-07-08 Taihei Kagaku Seihin Kk 静電保持装置
JPS62287950A (ja) * 1986-06-04 1987-12-14 Canon Inc 静電吸着装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1329637C (en) Electrostatic holding apparatus
JPS6335092U (ja)
JPH0330786U (ja)
JPH0671944B2 (ja) 静電保持装置
IL43599A (en) Electrode construction for an electric air-conditioning installation
JPH0260496U (ja)
JPH0414489U (ja)
JPH0183750U (ja)
JPS6411542U (ja)
JPH0436235Y2 (ja)
JPH037949U (ja)
JPH037948U (ja)
JPH0425491U (ja)
JPS5951500U (ja) イオン化装置
JPH0316297U (ja)
JPH0771859B2 (ja) 静電吸着装置
JPH1187086A (ja) 静電気除去装置
US3812399A (en) Electrostatic for deionizing air and other gases
JPH01143295U (ja)
JPH0279197U (ja)
JPH0413050U (ja)
JPS6226848U (ja)
JPS6185241U (ja)
JPH0192655U (ja)
JPS63257482A (ja) 静電保持装置