JPH01143295U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01143295U JPH01143295U JP4134688U JP4134688U JPH01143295U JP H01143295 U JPH01143295 U JP H01143295U JP 4134688 U JP4134688 U JP 4134688U JP 4134688 U JP4134688 U JP 4134688U JP H01143295 U JPH01143295 U JP H01143295U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent
- electrostatic adsorption
- voltage
- adsorption device
- transparent conductor
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
図面はこの考案の一実施例を示し、第１図は透
明静電吸着板の要部拡大縦断面図、第２図は透明
導電体の電極パターンの説明図である。 １１……透明静電吸着板、１２……透明誘導体
、１３……透明導電体、１４……透明絶縁体、１
５……透明導電膜、１６……紙。
明静電吸着板の要部拡大縦断面図、第２図は透明
導電体の電極パターンの説明図である。 １１……透明静電吸着板、１２……透明誘導体
、１３……透明導電体、１４……透明絶縁体、１
５……透明導電膜、１６……紙。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 直流電圧を印加可能な一対の電極パターンを透
明絶縁体で接着固定した透明導電体を透明誘導体
の下面に設け、透明導電体に直流電圧を印加する
ことに基づいて、透明誘導体の上面で被吸着物を
静電吸着する静電吸着装置であつて、 前記透明誘導体の上面に放電促進用の透明導電
膜を形成した 静電吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4134688U JPH0619347Y2 (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 静電吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4134688U JPH0619347Y2 (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 静電吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143295U true JPH01143295U (ja) | 1989-10-02 |
| JPH0619347Y2 JPH0619347Y2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=31267787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4134688U Expired - Lifetime JPH0619347Y2 (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 静電吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619347Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03285579A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-16 | Abisare:Kk | 透明静電吸着シート |
| JP2017106993A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 表示装置を静電吸着により固定する部材及び表示装置 |
-
1988
- 1988-03-28 JP JP4134688U patent/JPH0619347Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03285579A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-16 | Abisare:Kk | 透明静電吸着シート |
| JP2017106993A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 表示装置を静電吸着により固定する部材及び表示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0619347Y2 (ja) | 1994-05-18 |